一种新型MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种新型MEMS麦克风，包括外壳和线路板，所述外壳与线路板围成内腔，所述内腔内设有MEMS传感器，所述外壳或线路板上设有音孔，所述内腔与音孔连通的部分设有吸粘部。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，在内腔设置吸粘部，可以吸附进音孔的部分异物，从而减小落在MEMS传感器上的异物比例。

A New Type of MEMS Microphone

【技术实现步骤摘要】
一种新型MEMS麦克风
本技术涉及电声
具体地说，是涉及一种新型MEMS麦克风。
技术介绍
随着MEMS麦克风在消费类电子（包括Phone，PC，Pad及便携设备等）越来越广泛地使用，MEMS传感器是MEMS麦克风的重要组成部分，这种微机电结构对异物非常敏感，异物污染导致MEMS麦克风性能下降或者失效的案例经常发生，给终端客户带来很多困扰，是目前制约MEMS麦克风封装及导致MEMS麦克风失效的主要因素。为解决异物问题，目前主流方式为在MEMS麦克风外壳上贴防尘网，外壳贴防尘网的方式存在如下缺陷：（1）对于防尘网的要求比较高：回流后不能溢胶、不能发生形变。（2）防尘网会对产品的SNR和频响产生一定影响。（3）贴网和测试过程因为要保证防尘网的质量，所以效率较低，浪费多，需要投入专用设备。（4）贴网后产品原有包装料带不能使用，需设计专用包装料带。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述传统技术的不足之处，提供一种新型MEMS麦克风，减小落在MEMS传感器上的异物比例，成本投入少。本技术的目的是通过以下技术措施来达到的：一种新型MEMS麦克风，包括外壳和线路板，所述外壳与线路板围成内腔，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型MEMS麦克风，包括外壳（1）和线路板（3），所述外壳（1）与线路板（3）围成内腔，所述内腔内设有MEMS传感器（2），其特征在于：所述外壳（1）或线路板（3）上设有音孔（5），所述内腔与音孔（5）连通的部分设有吸粘部（7）。

【技术特征摘要】
1.一种新型MEMS麦克风，包括外壳（1）和线路板（3），所述外壳（1）与线路板（3）围成内腔，所述内腔内设有MEMS传感器（2），其特征在于：所述外壳（1）或线路板（3）上设有音孔（5），所述内腔与音孔（5）连通的部分设有吸粘部（7）。2.根据权利要求1所述的新型MEMS麦克风，其特征在于：所述吸粘部（7）设置于外壳（1）内侧或线路板（3）内侧。3.根据权利要求2所述的新型MEMS麦克风，其特征在于：所述吸粘部（7）沿音孔（5）周圈设置。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李雪梅，张继栋，张丽美，
申请(专利权)人：共达电声股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37