一种侧开孔的MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术公开一种侧开孔的MEMS麦克风，涉及电声转换技术领域。所述麦克风包括由基板和壳体围成的具有容纳腔的外部封装，以及位于容纳腔内且结合固定在所述基板顶面的MEMS芯片；所述麦克风包括有竖向设置的侧壁，所述侧壁上包括有将容纳腔与外界连通的声孔；所述麦克风还包括有位于容纳腔内且与所述声孔对应设置的挡墙，声音由声孔流入后绕过所述挡墙作用于MEMS芯片。本实用新型专利技术提供的MEMS麦克风，可以解决PCB分板时进杂质、污染内部芯片的技术问题。

A Microphone with Side Holes

【技术实现步骤摘要】
一种侧开孔的MEMS麦克风
本技术涉及电声转换
更具体地，涉及一种侧开孔的MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS(微型机电系统)麦克风是一种基于MEMS技术制作出来的声电转换器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越多广泛地运用到诸如手机、平板电脑、相机、助听器、智能玩具以及监听装置等电子设备上。MEMS麦克风通常包括有MEMS芯片以及与之电连接的ASIC(ApplicationSpecificIntegratedCircuit，功能集成电路)芯片，其中MEMS芯片包括衬底以及固定在衬底上的振膜和背极，振膜和背极构成了电容器并集成在硅晶片上，声音由声孔进入麦克风并且作用在MEMS芯片振膜上，通过振膜的振动，改变振膜与背极之间的距离，从而将声音信号转换为电信号。SMT称为表面贴装或表面安装技术，是目前电子组装行业里流行的一种安装工艺。在SMT生产中，印刷电路板(PCB)的分板是生产制程中必不可少的重要环节。PCB分板是将一整块大的印刷电路板根据设计要求分成不同的小电路板或者将废弃板边切割弃掉，将所需的PBC板卡留用。根据S本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种侧开孔的MEMS麦克风，所述麦克风包括由基板和壳体围成的具有容纳腔的外部封装，以及位于容纳腔内且结合固定在所述基板顶面的MEMS芯片；所述外部封装包括有竖向设置的侧壁，所述侧壁上包括有将容纳腔与外界连通的声孔；其特征在于，所述麦克风还包括有位于容纳腔内且与所述声孔对应设置的挡墙，声音由声孔流入后绕过所述挡墙作用于MEMS芯片。

【技术特征摘要】
1.一种侧开孔的MEMS麦克风，所述麦克风包括由基板和壳体围成的具有容纳腔的外部封装，以及位于容纳腔内且结合固定在所述基板顶面的MEMS芯片；所述外部封装包括有竖向设置的侧壁，所述侧壁上包括有将容纳腔与外界连通的声孔；其特征在于，所述麦克风还包括有位于容纳腔内且与所述声孔对应设置的挡墙，声音由声孔流入后绕过所述挡墙作用于MEMS芯片。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述挡墙结合固定在所述基板的顶面上且位于所述MEMS芯片与所述声孔之间。3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述声孔位于所述挡墙在所述侧壁上的投影范围内。4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述挡墙的高度大于或等于所述MEMS芯片的高度。5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：党茂强，马路聪，田昕，
申请(专利权)人：歌尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37