下载一种侧开孔的MEMS麦克风的技术资料

文档序号:21544601

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本实用新型公开一种侧开孔的MEMS麦克风,涉及电声转换技术领域。所述麦克风包括由基板和壳体围成的具有容纳腔的外部封装,以及位于容纳腔内且结合固定在所述基板顶面的MEMS芯片;所述麦克风包括有竖向设置的侧壁,所述侧壁上包括有将容纳腔与外界连通...
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