一种硅片喷腐机用夹具制造技术

本实用新型专利技术公开一种硅片喷腐机用夹具，包括夹具本体，夹具本体中部开设有放置槽，放置槽的槽壁上均匀间隔开设有多个出水孔，且放置槽中部开设有进水孔，放置槽中部间隔开设有固定孔，固定孔位于进水孔外侧，本实用新型专利技术解决了现有技术中芯片腐蚀时夹持不方便，腐蚀效果差的技术问题。

A fixture for silicon wafer spraying machine

【技术实现步骤摘要】
一种硅片喷腐机用夹具
本技术涉及芯片夹具
，尤其涉及一种硅片喷腐机用夹具。
技术介绍
硅片腐蚀是利用氢氧化钠对多晶硅腐蚀作用，去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取反射率较低的表面织构，在操作时，将硅片放置在夹具上，与喷腐机相互配合，完成腐蚀钝化操作，现有的夹具都是通过多点固定的方式，这样很容易在夹爪处形成腐蚀斑，影响硅片表面的外观属性，夹爪固定后，取硅片容易破坏夹爪，影响夹具的使用寿命。授权公告号为：CN205376488U的技术公开了一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，包括端面圆板、连接柱和转轴，端面圆板呈两块并排同轴布置，两块端面圆板之间通过连接柱相连，连接柱上连接有支撑圆板，支撑圆板之间绕着圆周边缘位置穿接有若干根夹持转轴，夹持转轴的两端均安装有小齿轮，端面圆板中间的转轴一端穿过端面圆板后与主动齿轮相连，另一端穿过端面圆板和支撑圆板之间的大齿轮与支撑圆板转动相连，主动齿轮与周围的小齿轮均相啮合。该专利能够使原来只能加工6寸硅片的设备可以加工8寸的硅片，消灭了原夹具使用产生的硅片边缘色差，但是该专利结构比较复杂，安装步骤繁琐。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅片喷腐机用夹具，解决了现有技术中的芯片腐蚀时夹持不方便，腐蚀效果差的技术问题。一种硅片喷腐机用夹具，包括夹具本体，所述夹具本体中部开设有放置槽，所述放置槽的槽壁上均匀间隔开设有多个出水孔，且放置槽中部开设有进水孔，所述放置槽中部间隔开设有固定孔，所述固定孔位于进水孔外侧。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进：进一步地，所述夹具本体为圆柱状，采用本步的有益效果是便于对其进行固定，也便于夹具本体的加工成型。进一步地，所述放置槽为圆形槽，且放置槽的槽壁上设置有台阶，采用本步的有益效果是通过放置槽便于硅片的放置，同时台阶能够起到支撑作用。进一步地，所述固定孔的数目至少为三个，采用本步的有益效果是三点固定，这样保证结构的稳定性。进一步地，所述进水孔的直径大于所述出水孔的直径，采用本步的有益效果是减缓出水速度，这样能够保证水流充分漫过硅片表面，从而有效地提高腐蚀效果。本技术的有益效果：1.本技术提供一种硅片喷腐机用夹具，通过中部进水孔进水，四周出水孔进行出水，这样形成水流循环，提高腐蚀钝化效果。2.本技术中的进水孔的直径大于出水孔的直径，这样能够有效减缓水流速度，保证水流漫过硅片，提高腐蚀效果。3.本技术是将硅片盛放至放置槽内，利用槽对硅片进行限位，这样保证腐蚀的全面性，提高腐蚀效果。4.本技术结构简单，操作方便，且腐蚀效果好。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术具体实施例所述的一种硅片喷腐机用夹具的结构示意图；图2为本技术具体实施例所述的一种硅片喷腐机用夹具的主视图；附图标记：1-夹具本体；2-放置槽；3-出水孔；4-进水孔；5-固定孔；6-台阶。具体实施方式下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例：如图1-2所示，本技术所提供的一种硅片喷腐机用夹具，包括夹具本体1，所述夹具本体1中部开设有放置槽2，所述放置槽2的槽壁上均匀间隔开设有多个出水孔3，且放置槽2中部开设有进水孔4，所述放置槽2中部间隔开设有固定孔5，所述固定孔5位于进水孔4外侧；本技术是用于盛放硅片，和喷腐机相互配合，完成硅片的腐蚀处理；水流从中部的进水孔4进入，然后逐渐漫过硅片，从出水孔3流出，以此形成水流循环，出水孔4是均匀开设在放置槽2的槽壁，这样形成水流冲洗；固定孔5是用于固定本技术。其中，所述夹具本体1为圆柱状，便于对其进行固定，也便于夹具本体的加工成型，本技术需要与喷腐机相互配合，圆柱型，也便于本技术的安装。其中，所述放置槽2为圆形槽，且放置槽2的槽壁上设置有台阶6，通过放置槽2便于硅片的放置，同时台阶6能够起到支撑作用。其中，所述固定孔4的数目至少为三个，三点固定，且均匀分布，这样保证安装结构的稳定性。其中，所述进水孔4的直径大于所述出水孔3的直径，减缓出水速度，这样能够保证水流充分漫过硅片表面，从而有效地提高腐蚀效果。本技术与喷腐机相互配合，将其通过固定孔安装孔，盛放硅片，利用放置槽2进行限位，从而在腐蚀加工时，能够提高腐蚀效果；其中进水孔4在中部，出水孔3沿圆周方向分布，这样水流能够进入，然后从出水孔出去，完成水流循环，形成水流冲洗，水流的出水孔3是均匀分布，这样水流是从四周出去，这样提高水流冲洗效果。本技术的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本技术的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本技术的权利要求和说明书的范围当中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片喷腐机用夹具，其特征在于，包括夹具本体，所述夹具本体中部开设有放置槽，所述放置槽的槽壁上均匀间隔开设有多个出水孔，且放置槽中部开设有进水孔，所述放置槽中部间隔开设有固定孔，所述固定孔位于进水孔外侧。

【技术特征摘要】
1.一种硅片喷腐机用夹具，其特征在于，包括夹具本体，所述夹具本体中部开设有放置槽，所述放置槽的槽壁上均匀间隔开设有多个出水孔，且放置槽中部开设有进水孔，所述放置槽中部间隔开设有固定孔，所述固定孔位于进水孔外侧。2.根据权利要求1所述的一种硅片喷腐机用夹具，其特征在于，所述夹具本体为圆柱状...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾标琴，高占成，徐爱民，
申请(专利权)人：江苏润奥电子制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32