一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置，包括上支撑板、下支撑板、立柱和调节压紧机构，上支撑板和下支撑板之间连接有立柱，且上支撑板和下支撑板之间形成夹紧腔，夹紧腔内部设置有多层夹持片，调节压紧机构安装在上支撑板上且对夹持片进行压紧，本实用新型专利技术解决了现有技术中芯片腐蚀时夹持不方便，腐蚀效率低的技术问题。

A Removable Soaking Corrosion Clamping Device

【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置
本技术涉及芯片夹持装置
，尤其涉及一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置。
技术介绍
现有的腐蚀夹具通常是通过夹具进行夹持，然后进行腐蚀操作，大多都是通过夹爪固定，这样才腐蚀时，通常只能对单一的芯片的进行处理，加工效率很慢。授权公告号为：CN202202021U的技术公开了一种用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上，该专利公开用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，可方便地调整压框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便将片架装配在支撑框上，但是该专利结构不够简化，而且不能很好的提高加工效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置，解决了现有技术中的芯片腐蚀时夹持不方便，腐蚀效率低的技术问题。一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置，包括上支撑板、下支撑板、立柱和调节压紧机构，所述上支撑板和下支撑板之间连接有立柱，且上支撑板和下支撑板之间形成夹紧腔，所述夹紧腔内部设置有多层夹持片，所述调节压紧机构安装在上支撑板上且对夹持片进行压紧。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进：进一步地，所述调节压紧机构包括调节螺栓和手柄，所述调节螺栓穿过上支撑板，且调节螺栓与上支撑板螺纹连接，所述调节螺栓上端安装有手柄，采用本步的有益效果是通过手柄带动调节螺栓运动，使得调节螺栓相对于上支撑板上下运动。进一步地，所述调节压紧机构还包括压块，所述压块位于所述调节螺栓下端，采用本步的有益效果是调节螺栓运动时，能够抵住压块向下运动，从而完成芯片的夹持。进一步地，所述夹持片的底面设置有圆形台阶，采用本步的有益效果便于夹紧芯片。进一步地，它还包括挡块，所述挡块为半圆筒状，且挡块内部设置有所述夹持片，采用本步的有益效果是通过设置挡块对夹持片进行支撑，这样夹持片不会发生位移，同时也能够保证夹持片处于同心位置。本技术的有益效果：1.本技术提供一种浸泡夹持装置，用于将芯片夹住，浸入到腐蚀槽中，可以实现双面腐蚀。2.本技术设置有压块，压块可以有多个，这样可以调节压紧机构的压紧高度，也就是调节夹持片的数目，即加工的芯片数目。3.本技术设置有挡块，挡块为半圆筒状，用于与夹持片相配合，夹持片为圆盘状，这样夹持片的外缘可以抵住挡块的内壁，从而保证夹持片处于同心位置。4.本技术结构简单，装卸方便，且加工效率高。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术具体实施例所述的一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置的示意图；图2为本技术具体实施例所述的一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置的挡块的俯视图；图3为本技术具体实施例所述的一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置的夹持片的俯视图；附图标记：1-上支撑板；2-下支撑板；3-立柱；4-调节压紧机构；5-夹紧腔；6-夹持片；7-挡块；401-调节螺栓；402-手柄；403-压块；601-圆形台阶。具体实施方式下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例：如图1-3所示，本技术所提供的一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置，包括上支撑板1、下支撑板2、立柱3和调节压紧机构4，所述上支撑板1和下支撑板2之间连接有立柱3，且上支撑板1和下支撑板2之间形成夹紧腔5，所述夹紧腔5内部设置有多层夹持片6，所述调节压紧机构4安装在上支撑板1上且对夹持片6进行压紧；上支撑板1和下支撑板2之间是通过立柱固定，它们之间留有的空隙作为夹紧腔5，将芯片放置在多层夹持片6内部，而调节压紧机构4抵住夹持片6，最后一起放入腐蚀槽内进行进入腐蚀，可以一次腐蚀多个。其中，所述调节压紧机构4包括调节螺栓401和手柄402，所述调节螺栓401穿过上支撑板1，且调节螺栓401与上支撑板1螺纹连接，所述调节螺栓401上端安装有手柄402，通过手柄带动调节螺栓401运动，使得调节螺栓相对于上支撑板上下运动，这样可以调节夹持片的松紧度，完成组装，而手柄可以是圆盘状，这样便于员工操作。其中，所述调节压紧机构4还包括压块403，所述压块403位于所述调节螺栓401下端，调节螺栓运动时，能够抵住压块向下运动，从而完成夹持片的夹紧，同时压块可以是多块，这样调节螺栓401移动的位置就可以得到限制。其中，所述夹持片6的底面设置有圆形台阶601，夹持片6为圆盘状，这样便于夹紧芯片。其中，它还包括挡块7，所述挡块7为半圆筒状，且挡块7内部设置有所述夹持片6，通过设置挡块7对夹持片6进行支撑，这样夹持片6不会发生位移，同时也能够保证夹持片处于同心位置。本技术的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本技术的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置，其特征在于，包括上支撑板、下支撑板、立柱和调节压紧机构，所述上支撑板和下支撑板之间连接有立柱，且上支撑板和下支撑板之间形成夹紧腔，所述夹紧腔内部设置有多层夹持片，所述调节压紧机构安装在上支撑板上且对夹持片进行压紧。

【技术特征摘要】
1.一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置，其特征在于，包括上支撑板、下支撑板、立柱和调节压紧机构，所述上支撑板和下支撑板之间连接有立柱，且上支撑板和下支撑板之间形成夹紧腔，所述夹紧腔内部设置有多层夹持片，所述调节压紧机构安装在上支撑板上且对夹持片进行压紧。2.根据权利要求1所述的一种可拆卸式浸泡腐蚀夹持装置，其特征在于，所述调节压紧机构包括调节螺栓和手柄，所述调节螺栓穿过上支撑板，且调节螺栓与上支...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾标琴，高占成，徐爱民，
申请(专利权)人：江苏润奥电子制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32