双腔式双金属膜热驱动微型泵制造技术

本实用新型专利技术属于微电子机械系统领域，包括由单晶硅膜、金属铝膜和位于二者之间的多晶硅加热电阻以及作为电隔离介质的二氧化硅所组成的复合膜片，单晶硅膜具有入口、出口阀门，阀门由单晶硅悬臂梁阀片和单晶硅环形阀座中央通孔结合而成，复合膜片与阀门间构成密闭的泵腔，泵腔为设置在复合膜片的上、下两侧的双腔结构。本实用新型专利技术充分利用膜片受热变形的能量，降低热泵工作过程中的机械能损失，最大限度的提高微泵的流量和泵送效率。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种双腔式热驱动微型泵，包括由单晶硅膜、金属铝膜和位于二者之间的多晶硅加热电阻以及作为电隔离介质的二氧化硅所组成的复合膜片，该单晶硅膜具有入口阀门和出口阀门，该阀门由单晶硅悬臂梁阀片和单晶硅环形阀座中央通孔结合而成，所说的复合膜片与阀门间构成密闭的泵腔；其特征在于，所说的泵腔为双腔结构，该双腔对称设置在所说复合膜片的上、下两侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡桅林，徐宁，过增元，戴诗亮，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]