一种用于二氧化碳发泡机的联动机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室，所述发泡室的一侧通过支架设置有电机，所述电机的一端设置有第一旋转杆，所述第一旋转杆的一端贯穿电机的外侧表面到达电机的内部，所述第一旋转杆的另一端贯穿发泡室的侧面到达发泡室的内部，所述第一旋转杆的外侧表面通过插销设置有偏角齿轮，所述第一旋转杆的外侧表面设置有滚动轴承，所述第一旋转杆的一端顶端设置有咬合盘，所述咬合盘的侧面设置有通孔；发泡机新增了联动机构，在使用时能够通过一台电机设备控制多个发泡室的运行，能够使得多个发泡室并在一起运行，减少设备的占地面积，在生产时减少了设备成本投入，同时提升了经济效应。

A Linkage Mechanism for Carbon Dioxide Foaming Machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于二氧化碳发泡机的联动机构
本技术属于发泡机
，具体涉及一种用于二氧化碳发泡机的联动机构。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。目前的晶圆尺寸一般为8英寸晶圆，12英寸晶圆，目前的晶圆在生过程中会会用到二氧化碳发泡机，目前的发泡机在使用过程中一台设备需要一台电机，各个设备之间不能够联动，且各个设备分开放置占地面积大，生产过程中经济投入大，针对目前的发泡机使用过程中所暴露的问题，有必要对发泡机的结构进行重新改进并优化，为此我们提出一种用于二氧化碳发泡机的联动机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，以解决上述
技术介绍
中提出的发泡机使用时各个设备之间不能够联动，生产设备的经济投入大的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室，所述发泡室的一侧通过支架设置有电机，所述电机的一端设置有第一旋转杆，所述第一旋转杆的一端贯穿电机的外侧表面到达电机的内部，所述第一旋转杆的另一端贯穿发泡室的侧面到达发泡室的内部，所述第一旋转杆的外侧表面通过插销设置有偏角齿轮B，所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室（2），其特征在于：所述发泡室（2）的一侧通过支架设置有电机（1），所述电机（1）的一端设置有第一旋转杆（3），所述第一旋转杆（3）的一端贯穿电机（1）的外侧表面到达电机（1）的内部，所述第一旋转杆（3）的另一端贯穿发泡室（2）的侧面到达发泡室（2）的内部，所述第一旋转杆（3）的外侧表面通过插销设置有偏角齿轮B（4），所述第一旋转杆（3）的外侧表面设置有滚动轴承（5），所述第一旋转杆（3）的一端顶端设置有咬合盘（6），所述咬合盘（6）的侧面设置有通孔（8），所述通孔（8）的内部设置有第一固定螺栓（9），所述咬合盘（6）的另一端设置有第二旋转杆（1...

【技术特征摘要】
1.一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室（2），其特征在于：所述发泡室（2）的一侧通过支架设置有电机（1），所述电机（1）的一端设置有第一旋转杆（3），所述第一旋转杆（3）的一端贯穿电机（1）的外侧表面到达电机（1）的内部，所述第一旋转杆（3）的另一端贯穿发泡室（2）的侧面到达发泡室（2）的内部，所述第一旋转杆（3）的外侧表面通过插销设置有偏角齿轮B（4），所述第一旋转杆（3）的外侧表面设置有滚动轴承（5），所述第一旋转杆（3）的一端顶端设置有咬合盘（6），所述咬合盘（6）的侧面设置有通孔（8），所述通孔（8）的内部设置有第一固定螺栓（9），所述咬合盘（6）的另一端设置有第二旋转杆（14），所述第二旋转杆（14）通过咬合盘（6）和第一固定螺栓（9）与第一旋转杆（3）连接固定,所述第一旋转杆（3）与第二旋转杆（14）的下方均设置有发泡桨叶（7）...

【专利技术属性】
技术研发人员：张乔栋，张慧，陈业，孙健，袁泉，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32