升华泵泵体制造技术

本实用新型专利技术涉及获得高真空的吸附抽吸泵的泵体。泵体由泵底、本体部分和接头组成、本体部分为波纹管异型不锈钢型材制成，壁厚仅０。６－１毫米，与泵底和接头焊接成一整体。本实用新型专利技术的新结构，经试验结果，不需冷却装置，就能达到设计要求，必要时，也可增设风扇，进行强制通风，以提高冷却效果，本设计大大简化了升华泵泵体的结构，便于制造和降低成本。（*该技术在1997年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本技术涉及获得高真空的吸附抽吸泵的泵体。升华泵是一种吸气剂泵，这种泵是将钛金属加热，使其升华后，沉积到泵体内表面上，形成一层钛膜来吸附气体而达到抽气目的。钛升华泵工作压力范围为10－3～10－10Torr，起动压力较高，一般为10－2Torr。它在配有前级泵后，可组成无油超高真空机组，其抽吸真空泵可高达10－11～10－12Torr。广泛应用于高能物理研究工作中。升华泵泵体一般都按设计手册进行设计，机械工程手册第77篇(泵、真空泵)第14章给出了升华泵泵体的结构，它由不锈钢制成，由泵底、本体和接头部分组成，并设有冷却水套，一般用水来冷却本体部份，根据需要也可用液氮冷却，以吸收加热钛升华时放出的热量。泵体需有良好的刚度，壁厚一般达3毫米。这种泵体的结构比较复杂；另外，由于不锈钢的导热性能很差，虽然外壁进行冷却，但内壁上的温度仍然较高，影响泵的抽吸能力。本技术的目的是设计一种结构简单，散热性能良好的泵体，从而能达到高的真空度。本技术的目的是通过一种刚度好，且内壁沉积钛膜的面积和外壁散热面积均大得多的波纹管作泵体的主体部分来实现的，它与泵底和接头部分焊接成一整体，不需要冷却装置，就能达到设计本文档来自技高网...

【技术保护点】
升华泵泵体，它由不锈钢制成，由泵底、本体和接头组成，其特征是本体部分为波纹管型材结构，与泵底、接头焊接成一整体。

【技术特征摘要】
1.升华泵泵体，它由不锈钢制成，由泵底、本体和接头组成，其特征是本体部分为波纹管型材结构，与泵底、接头焊接成一整体。2.根据权利要求1所说的升华...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑主安，
申请(专利权)人：上海真空泵厂，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]