可锁止的晶圆片放置架制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种可锁止的晶圆片放置架。本发明专利技术的晶圆片放置架，包括：放置架本体和第一机械抽头，放置架本体的左右侧板上对应设有多组放置槽，用于水平放置晶圆片，放置架本体的左侧板上设有竖直的第一滑槽，第一机械抽头设有多组与放置槽对应的多组第一进入槽，第一机械抽头可移动的设置在第一滑槽内。本发明专利技术的晶圆片放置架，第一机械抽头上升时，第一进入槽与放置槽相互连通，晶圆片可放入和取出放置架本体；第一机械抽头在重力作用下下降时，第一进入槽与放置槽相互错开，放置架本体内的晶圆片被第一机械抽头阻挡锁止，晶圆片不会从放置架本体内滑出，保证晶圆片不被损坏。

Lockable wafer holder

【技术实现步骤摘要】
可锁止的晶圆片放置架
本专利技术实施例涉及半导体
，具体涉及一种可锁止的晶圆片放置架。
技术介绍
半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。封装过程为：来自晶圆前道工艺的晶圆通过划片工艺后被切割为小的晶片(Die)，然后将切割好的晶片用导电银胶贴装到相应的基板架(引线框架)的小岛上，再利用超细的金属(金银铜铝)导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘(BondPad)连接到基板的相应引脚(Lead)，并构成所要求的电路。生产过程中的晶圆片放置时，放置在晶圆片放置架上。晶圆片放置架上设有多个放置槽(格层)，晶圆片水平放置在放置架两侧对应的放置槽上。本申请的专利技术人发现，现有技术中的晶圆片放置架，放置架在搬运、移动时，放置架内的晶圆片容易从放置架上滑落，造成晶圆片的损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可锁止的晶圆片放置架，使放置架在搬运和移动时，放置架内的晶圆片不会从放置架上滑落。本专利技术实施例提供一种可锁止的晶圆片放置架，包括：放置架本体和第一机械抽头；所述放置架本体包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片；所述第一侧板上设有竖直的第一滑槽；所述第一机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第一进入槽；所述第一机械抽头可移动的设置在所述第一滑槽内，且所述第一机械抽头下降时，所述第一进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第一机械抽头上升时，所述第一进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放。在一种可行的方案中，还包括：第一联锁机构和第一防刮伤治具；所述第一联锁机构设置在所述第一侧板的上部，用于触发时带动所述第一机械抽头上升；所述第一防刮伤治具用于放置在所述第一侧板上，并使所述第一防刮伤治具位于所述第一侧板的前端；所述第一防刮伤治具上设有多组第一校准槽，所述第一校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度；所述多组第一校准槽与所述多组放置槽对应，且第一校准槽的底面与对应的放置槽的底面位于同一平面，所述第一校准槽用于供晶圆片插入；且所述第一防刮伤治具放置在所述第一侧板上时，触发所述第一联锁机构，使所述第一机械抽头上升。在一种可行的方案中，所述第一机械抽头的顶部设有第一挡条；所述第一联锁机构包括：第一左固定块、第一右固定块、第一转轴和第一活动块；所述第一左固定块和所述第一右固定块分别设置在所述第一机械抽头的左右两侧；所述第一转轴的一端与所述第一左固定块连接，所述第一转轴的另一端与所述第一右固定块连接；所述第一活动块可转动的设置在所述第一转轴上，所述第一活动块与所述第一挡条相抵持；且所述第一防刮伤治具放置时，触发所述第一活动块转动，所述第一活动块转动时带动所述第一机械抽头上升。在一种可行的方案中，所述第一防刮伤治具设有第一连接部，所述第一连接部设有与所述第一侧板的顶端适配的第一U型槽，所述第一U型槽用于与所述第一侧板的顶端卡接。在一种可行的方案中，所述第一连接部上设有第一矩形孔，所述第一矩形孔用于供所述第一机械抽头穿过，且所述第一防刮伤治具放置时，所述第一连接部抵持所述第一活动块，使所述第一活动块转动。在一种可行的方案中，所述第一转轴为丝杆，所述第一转轴的两端呈台阶形；所述第一活动块设有内螺纹，所述第一活动块啮合在所述丝杆上，使所述第一活动块与所述第一转轴可转动连接；所述第一左固定块和所述第一右固定块设有安装孔，分别供所述第一转轴的左右两端插入。在一种可行的方案中，所述第一左固定块和所述第一右固定块上设有第一固定孔；所述第一侧板上设有第一螺纹孔，使所述第一左固定块和所述第一右固定块通过固定螺栓与所述第一侧板连接。在一种可行的方案中，还包括：第二机械抽头、第二联锁机构和第二防刮伤治具；所述第二侧板上设有竖直的第二滑槽；所述第二机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第二进入槽；所述第二机械抽头可移动的设置在所述第二滑槽内，且所述第二机械抽头下降时，所述第二进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第二机械抽头上升时，所述第二进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放；所述第二联锁机构设置在所述第二侧板的上部，用于触发时带动所述第二机械抽头上升；所述第二防刮伤治具用于放置在所述第二侧板上，并使所述第二防刮伤治具位于所述第二侧板的前端；所述第二防刮伤治具上设有多组第二校准槽，所述第二校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度；对应的一组第一校准槽与第二校准槽位于同一高度，用于供晶圆片插入；且所述第一防刮伤治具和所述第二防刮伤治具分别放置在所述第一侧板和第二侧板上时，分别触发所述第一联锁机构和第二联锁机构，使所述第一机械抽头和所述第二机械抽头同时上升。在一种可行的方案中，所述第一校准槽和所述第二校准槽的前端呈向外扩张的喇叭状。在一种可行的方案中，所述第一防刮伤治具和所述第二防刮伤治具的材质为特氟龙。基于上述方案可知，本专利技术的可锁止的晶圆片放置架，通过设置放置架本体和第一机械抽头，放置架本体的左右侧板上设有多组放置槽，对应的每组放置槽位于相同高度，用于放置一片晶圆片，并使晶圆片水平放置。放置架本体的第一侧板上设有竖直的第一滑槽，第一机械抽头可移动的设置在第一滑槽内。第一机械抽头上设有多组第一进入槽，第一机械抽头上的多组第一进入槽与放置架本体上的多组放置槽对应。本专利技术的可锁止的晶圆片放置架，使用时通过顶针或扳手等工具使第一机械抽头上升，第一机械抽头上的第一进入槽与放置架本体上的放置槽相互连通，放置架本体上的放置槽开放，晶圆片可放入和取出放置架本体；然后第一机械抽头在自身重力作用下下降，第一机械抽头上的第一进入槽与放置架本体上的放置槽相互错开，第一机械抽头使放置架本体上的放置槽阻断，放置在放置架本体内的晶圆片被第一机械抽头阻挡锁止，放置架本体在搬运移动时晶圆片不会从放置架本体内滑出，保证晶圆片不被损坏。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例中的可锁止的晶圆片放置架的放置架本体的示意图；图2为本专利技术实施例中的可锁止的晶圆片放置架的第一侧板的立体示意图；图3为本专利技术实施例中的图2中的A处的放大图；图4为本专利技术实施例中的可锁止的晶圆片放置架的第一机械抽头下降时状态示意图；图5为本专利技术实施例中的可锁止的晶圆片放置架的第一机械抽头上升时状态示意图；图6为本专利技术实施例中的可锁止的晶圆片放置架的第一防刮伤治具和第二防刮伤治具放置时的示意图；图7为本专利技术实施例中的可锁止的晶圆片放置架的使用状态示意图；图8为本专利技术对比例中的晶圆片斜插的示意图；图9为本专利技术实施例中的可锁止的晶圆片放置架的防斜插效果图。图中标号：1、放置架本体；11、顶板；12、底板；13、第一侧板；131、第一滑槽；14、第二侧板；2、第一机械抽头；21、第一进入槽；22、第一挡条；3、晶圆片；4、第一联锁机构；41、第一左固定块；42、第一右固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，包括：放置架本体和第一机械抽头；所述放置架本体包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片；所述第一侧板上设有竖直的第一滑槽；所述第一机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第一进入槽；所述第一机械抽头可移动的设置在所述第一滑槽内，且所述第一机械抽头下降时，所述第一进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第一机械抽头上升时，所述第一进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放。

【技术特征摘要】
1.一种可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，包括：放置架本体和第一机械抽头；所述放置架本体包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片；所述第一侧板上设有竖直的第一滑槽；所述第一机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第一进入槽；所述第一机械抽头可移动的设置在所述第一滑槽内，且所述第一机械抽头下降时，所述第一进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第一机械抽头上升时，所述第一进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放。2.根据权利要求1所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，还包括：第一联锁机构和第一防刮伤治具；所述第一联锁机构设置在所述第一侧板的上部，用于触发时带动所述第一机械抽头上升；所述第一防刮伤治具用于放置在所述第一侧板上，并使所述第一防刮伤治具位于所述第一侧板的前端；所述第一防刮伤治具上设有多组第一校准槽，所述第一校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度；所述多组第一校准槽与所述多组放置槽对应，且第一校准槽的底面与对应的放置槽的底面位于同一平面，所述第一校准槽用于供晶圆片插入；且所述第一防刮伤治具放置在所述第一侧板上时，触发所述第一联锁机构，使所述第一机械抽头上升。3.根据权利要求2所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一机械抽头的顶部设有第一挡条；所述第一联锁机构包括：第一左固定块、第一右固定块、第一转轴和第一活动块；所述第一左固定块和所述第一右固定块分别设置在所述第一机械抽头的左右两侧；所述第一转轴的一端与所述第一左固定块连接，所述第一转轴的另一端与所述第一右固定块连接；所述第一活动块可转动的设置在所述第一转轴上，且所述第一活动块与所述第一挡条相抵持；且所述第一防刮伤治具放置时，触发所述第一活动块转动，所述第一活动块转动时带动所述第一机械抽头上升。4.根据权利要求3所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一防刮伤治具设有第一连接部，所述第一连接部设有与所述第一侧板的顶端适配的第一U型槽，所述第一U型槽用于与所述第一侧板的顶端卡接。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢秩生，杨纯利，
申请(专利权)人：紫光宏茂微电子上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31