一种化学气相沉积催化反应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种化学气相沉积催化反应装置，包括反应器本体，所述反应器本体的一端顶端设置有排气管道，所述反应器本体的一端延伸至排气管道的顶端并与排气管道的顶端相连接，所述反应器本体的内部与排气管道的内部相连通，所述反应器本体的内壁均匀铺设有隔热陶瓷，所述隔热陶瓷的外侧表面与反应器本体的内侧表面相接触；反应器顶端设置有密封盖，密封盖与反应器通过合页固定连接，反应器密封圈的外侧表面增设有耐热橡胶密封套，能够保持设备良好的密封性，密封盖通过电磁铁与反应器相吸合，在使用时工作人员不需要使用螺栓进行密封，提升了工作人员的工作效率。

A Catalytic Reaction Device for Chemical Vapor Deposition

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积催化反应装置
本技术涉及化学气相沉积催化反应设备
，具体为一种化学气相沉积催化反应装置。
技术介绍
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。目前的化学气相沉积催化反应装置在进行时多使用封管气流法，这种反应方式是将一定量的反应物质和集体放置于反应器的两边，将反应器中抽成真空，再向其中注入部分输运气体，然后再次密封，之后对内部进行加热并反应。目前的封管气流法在使用时每次生产都需要重复的打开和闭合反应器，目前的密封盖都采用螺栓固定，导致密封盖开合闭合间隔时间较长，生产效率低，再就是目前的反应装置使用时热量逃逸量大，热能利用率不高，能源浪费较为严重，针对目前的化学气相沉积催化反应设备使用过程中所暴露的问题，有必要对目前的装置进行结构上的改进并优化，为此我们提出一种化学气相沉积催化反应装置。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种化学气相沉积催化反应装置，具备密封盖开合速度快，设备热能利用率高的优点，解决了密封盖开合闭合间隔时间较长，生产效率低，再就是目前的反应装置使用时热量逃逸量大，热能利用率不高，能源浪费较为严重的问题。为实现上述密封盖开合速度快，设备热能利用率高的目的，本技术提供如下技术方案：一种化学气相沉积催化反应装置，包括反应器本体，所述反应器本体的一端顶端设置有排气管道，所述反应器本体的一端延伸至排气管道的顶端并与排气管道的顶端相连接，所述反应器本体的内部与排气管道的内部相连通，所述反应器本体的内壁均匀铺设有隔热陶瓷，所述隔热陶瓷的外侧表面与反应器本体的内侧表面相接触，所述隔热陶瓷的内侧表面均匀缠绕设置有加热电阻丝，所述加热电阻丝的两端顶端都通过焊接连接有电缆，且所述加热电阻丝的顶端与电缆相连接，所述电缆的一端顶端贯穿反应器本体的内侧表面到达反应器本体的外部，所述加热电阻丝的一侧设置有反应器内部密封板，所述反应器内部密封板的外侧表面与加热电阻丝相接触，所述反应器内部密封板的一端顶端与排气管道的内壁延伸为一体结构。优选的，反应器内部密封板的内侧表面开设有凹槽，且所述凹槽的数量有两条，所述凹槽的内侧表面设置有滚珠，且所述滚珠均匀放置在凹槽的内侧表面。优选的，反应器本体的内部设置有支撑架，所述支撑架的底端与凹槽的内侧表面相接触，所述支撑架的底端内侧表面与滚珠的侧表面相接触。优选的，支撑架的上方设置有支撑板，所述支撑板的下表面对称设置有两个支撑架，且所述支撑板的下表面与支撑架的顶端为一体结构，所述支撑板的上表面均匀设置有衬底。优选的，反应器本体的一端设置有密封圈，所述密封圈的外侧表面通过注塑设置有耐热橡胶密封套，所述耐热橡胶密封套的内部均匀设置有磁性吸和片，所述磁性吸和片的一端顶端与反应器本体的侧表面相接触，所述磁性吸和片的另一侧贯穿耐热橡胶密封套的侧表面到达耐热橡胶密封套的外部。优选的，反应器本体的一侧设置有密封盖，所述密封盖背离所述反应器本体的一侧设置有导气管，且所述导气管的一端贯穿密封盖的外侧表面到达密封盖的另一侧，所述导气管的内部与反应器本体的内部相连通。优选的，反应器本体的一侧表面通过螺栓固定有合页，所述合页的一侧与密封盖相连接，所述密封盖的内侧表面均匀设置有盲孔，所述盲孔的内部都设置有电磁铁，所述电磁铁的一侧表面与磁性吸和片的侧表面通过磁吸力相吸合。与现有技术相比，本技术提供了一种化学气相沉积催化反应装置，具备以下有益效果：(1)反应器顶端设置有密封盖，密封盖与反应器通过合页固定连接，反应器密封圈的外侧表面增设有耐热橡胶密封套，能够保持设备良好的密封性，密封盖通过电磁铁与反应器相吸合，在使用时工作人员不需要使用螺栓进行密封，提升了工作人员的工作效率。(2)反应器的内部设置有隔热陶瓷，在使用过程中减少热量逃逸到环境中的速率，提升设备热量的利用率，减少热量不必要的损耗，反应器的内壁设置有凹槽，且凹槽的内侧表面均匀设置有滚珠，能够减少支撑架与凹槽运动时的摩擦力，使得工作人员更好进行换料操作。附图说明图1为本技术的外观结构示意图；图2为本技术的内部结构示意图；图3为本技术的反应器侧视结构示意图；图4为本技术的反应器局部结构示意图；图5为本技术的反应器连接结构示意图；图6为本技术的局部放大示意图。图中：1、反应器本体；2、电缆；3、密封盖；4、导气管；5、排气管道；6、隔热陶瓷；7、加热电阻丝；8、反应器内部密封板；9、凹槽；10、支撑板；11、衬底；12、合页；13、密封圈；14、耐热橡胶密封套；15、磁性吸和片；16、支撑架；17、滚珠；18、电磁铁。具体实施方式结合图1-6，一种化学气相沉积催化反应装置，包括反应器本体1，反应器本体1的一端顶端设有排气管道5，反应器本体1的一端延伸至排气管道5的顶端并与排气管道5的顶端相连接，反应器本体1的内部与排气管道5的内部相连通，反应器本体1的内壁通过压铸设有隔热陶瓷6，隔热陶瓷6因为其物理性质具有耐热性能，且能够有效的减少热量通过率，隔热陶瓷6的外侧表面与反应器本体1的内侧表面相接触，隔热陶瓷6的内侧表面均匀缠绕设有加热电阻丝7，加热电阻丝7的两端顶端都通过焊接设有电缆2，且加热电阻丝7的顶端与电缆2相连接，电缆2的一端顶端贯穿反应器本体1的内侧表面到达反应器本体1的外部，加热电阻丝7的一侧设有反应器内部密封板8，反应器内部密封板8的外侧表面与加热电阻丝7相接触，反应器内部密封板8的一端顶端与排气管道5的内壁延伸为一体结构。进一步的，反应器内部密封板8的内侧表面开设有凹槽9，且凹槽9的数量有两条，凹槽9的内侧表面设有滚珠17，且滚珠17均匀放置在凹槽9的内侧表面，被实施例中的滚珠17在使用过程中能够有效的减少支撑架16与凹槽9的摩擦力，便于支撑架16的动作灵敏，反应器本体1的内部设有支撑架16，支撑架16的底端与凹槽9的内侧表面相接触，支撑架16的底端内侧表面与滚珠17的侧表面相接触，支撑架16的上方设有支撑板10，支撑板10的下表面对称设有两个支撑架16，且支撑板10的下表面与支撑架16的顶端为一体结构，支撑板10的上表面均匀设有衬底11，支撑架16对称设计使得设备结构保持在高强度，设备在使用时能够保持稳定，反应器本体1的一端设有密封圈13，密封圈13的外侧表面通过注塑设有耐热橡胶密封套14，耐热橡胶密封圈的材质为硼硅橡胶，硼硅橡胶因其物理性质能够减少热量的通过率，耐热橡胶密封套14的内部均匀设有磁性吸和片15，磁性吸和片15的一端顶端与反应器本体1的侧表面相接触，磁性吸和片15的另一侧贯穿耐热橡胶密封套14的侧表面到达耐热橡胶密封套14的外部，耐热橡胶密封套14在使用过程中能够保持反应器本体1与密封盖3的密封，反应器本体1的一侧设有密封盖3，密封盖3背离反应器本体1的一侧设有导气管4，且导气管4的一端贯穿密封盖3的外侧表面到达密封盖3的另一侧，导气管4的内部与反应器本体1的内部相连通，导气管4在使用时能够对反应器本体1的内部进行换气，使得设备内部持续进行反应，反应器本体1的一侧表面通过螺栓设有合页12，合页12的一侧与密封盖3相连接，密封盖3的内侧表面均匀设有盲孔，盲孔的内部都设有电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积催化反应装置，包括反应器本体(1)，其特征在于：所述反应器本体(1)的一端顶端设置有排气管道(5)，所述反应器本体(1)的一端延伸至排气管道(5)的顶端并与排气管道(5)的顶端相连接，所述反应器本体(1)的内部与排气管道(5)的内部相连通，所述反应器本体(1)的内壁均匀铺设有隔热陶瓷(6)，所述隔热陶瓷(6)的外侧表面与反应器本体(1)的内侧表面相接触，所述隔热陶瓷(6)的内侧表面均匀缠绕设置有加热电阻丝(7)，所述加热电阻丝(7)的两端顶端都通过焊接连接有电缆(2)，且所述加热电阻丝(7)的顶端与电缆(2)相连接，所述电缆(2)的一端顶端贯穿反应器本体(1)的内侧表面到达反应器本体(1)的外部，所述加热电阻丝(7)的一侧设置有反应器内部密封板(8)，所述反应器内部密封板(8)的外侧表面与加热电阻丝(7)相接触，所述反应器内部密封板(8)的一端顶端与排气管道(5)的内壁延伸为一体结构。

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积催化反应装置，包括反应器本体(1)，其特征在于：所述反应器本体(1)的一端顶端设置有排气管道(5)，所述反应器本体(1)的一端延伸至排气管道(5)的顶端并与排气管道(5)的顶端相连接，所述反应器本体(1)的内部与排气管道(5)的内部相连通，所述反应器本体(1)的内壁均匀铺设有隔热陶瓷(6)，所述隔热陶瓷(6)的外侧表面与反应器本体(1)的内侧表面相接触，所述隔热陶瓷(6)的内侧表面均匀缠绕设置有加热电阻丝(7)，所述加热电阻丝(7)的两端顶端都通过焊接连接有电缆(2)，且所述加热电阻丝(7)的顶端与电缆(2)相连接，所述电缆(2)的一端顶端贯穿反应器本体(1)的内侧表面到达反应器本体(1)的外部，所述加热电阻丝(7)的一侧设置有反应器内部密封板(8)，所述反应器内部密封板(8)的外侧表面与加热电阻丝(7)相接触，所述反应器内部密封板(8)的一端顶端与排气管道(5)的内壁延伸为一体结构。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积催化反应装置，其特征在于：所述反应器内部密封板(8)的内侧表面开设有凹槽(9)，且所述凹槽(9)的数量有两条，所述凹槽(9)的内侧表面设置有滚珠(17)，且所述滚珠(17)均匀放置在凹槽(9)的内侧表面。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积催化反应装置，其特征在于：所述反应器本体(1)的内部设置有支撑架(16)，所述支撑架(16)的底端与凹槽(9)的内侧表面相接触，所述支撑架(16)的底端内侧表面与滚珠(17)的侧表面相接触。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖学才，方明喜，常强，
申请(专利权)人：爱利彼半导体设备中国有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32