一种光谱诊断辅助装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光谱诊断辅助装置，涉及超低压等离子喷涂的光谱诊断技术领域。该装置用于配合光学发射光谱仪监测超低压等离子喷涂装置的等离子射流特性。其包括移动定位机构和光路采集机构。移动定位机构设置于超低压等离子喷涂装置，用于进行定位作业，光路采集机构设置于移动定位机构，用于当移动定位机构定位后，采集并监测等离子喷涂装置的等离子射流。该光谱诊断辅助装置可实现多位置、多角度测量，通过透镜与挡光板选择可实现主动选择光的方向及采集量，还可通过Abel转换实现空间分辨率的测量。同时通过配合发射光谱仪(OES)使用，可实现OES在VLPPS上的在线诊断，既可指导开发新型工艺又可以监控涂层质量与设备运转状态。

An Auxiliary Device for Spectral Diagnosis

【技术实现步骤摘要】
一种光谱诊断辅助装置
本专利技术涉及超低压等离子喷涂的光谱诊断
，具体而言，涉及一种光谱诊断辅助装置。
技术介绍
随着热喷涂涂层的应用越来越广泛，对热喷涂工作过程实现在线诊断的需求变得越来越迫切，主要有两个好处：一是加快新的工艺开发，二是监控加工过程以确保质量可靠和生产可持续。超低压等离子喷涂(VLPPS)，是一类基于低压等离子喷涂(LPPS)发展而来的拥有更高真空度的等离子喷涂技术，包括真空等离子喷涂(VPS)、低压等离子喷涂－薄膜技术(LPPS-TF)、等离子喷涂－物理气相沉积(PS-PVD)和等离子喷涂－化学气相沉积(PS-CVD)，在功能涂层制备方面具有广泛的应用。由于工作压力低，且一般工作功率较高，超低压等离子喷涂(VLPPS)的射流相比最长可达3m，直径可达200～400mm，且射流亮度和温度比传统等离子喷涂射高很多，此外如果喷涂粉末足够细的话甚至可以实现粉末大量气化。这些特点使得传统的等离子喷涂诊断方式，如DPV-2000、焓探针法等等并不适用于超低压等离子喷涂射流特性的诊断。因此，操作简便、选择性好、灵敏度和准确度高对等离子体本身无干扰，能实现原位诊断的光谱分析本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光谱诊断辅助装置，用于配合光学发射光谱仪监测超低压等离子喷涂装置的等离子射流特性，其特征在于，包括：移动定位机构和光路采集机构，所述移动定位机构设置于所述超低压等离子喷涂装置，且用于进行定位作业，所述光路采集机构设置于所述移动定位机构，且用于当所述移动定位机构定位后，采集并监测所述等离子喷涂装置的等离子射流。

【技术特征摘要】
1.一种光谱诊断辅助装置，用于配合光学发射光谱仪监测超低压等离子喷涂装置的等离子射流特性，其特征在于，包括：移动定位机构和光路采集机构，所述移动定位机构设置于所述超低压等离子喷涂装置，且用于进行定位作业，所述光路采集机构设置于所述移动定位机构，且用于当所述移动定位机构定位后，采集并监测所述等离子喷涂装置的等离子射流。2.根据权利要求1所述的光谱诊断辅助装置，其特征在于：所述移动定位机构包括驱动组件、连接组件及激光器，所述驱动组件设置于所述超低压等离子喷涂装置，所述驱动组件与所述连接组件传动连接，所述激光器设置于所述连接组件，所述驱动组件用于驱动所述连接组件带动所述激光器移动，以使所述激光器发出的激光与所述超低压等离子喷涂装置的喷涂激光器发出的激光相交汇，以进行定位。3.根据权利要求2所述的光谱诊断辅助装置，其特征在于：所述驱动组件包括垂直设置的第一支架和第二支架，所述第一支架与所述超低压等离子喷涂装置固定连接，所述第二支架与所述第一支架连接，所述连接组件包括第一连接板和第二连接板，所述第一连接板活动地设置于所述第二支架，所述第二连接板设置于所述第一连接板，所述激光器设置于所述第二连接板。4.根据权利要求3所述的光谱诊断辅助装置，其特征在于：所述第一支架和所述第二支架内均开设有滑槽，所述第二支架的滑槽内设置有可沿所述第二支架长...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓子谦，毛杰，张岩，刘敏，张小锋，牛少鹏，邓春明，邓畅光，杨焜，宋琛，
申请(专利权)人：广东省新材料研究所，
类型：发明
国别省市：广东,44