一种调节针座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种调节针座，包括安装座，用于与使用的设备固定安装；第一驱动部，固定于安装座；第一调节螺杆，两端分别轴承连接于安装座，与第一驱动部的输出轴同步带连接，第一驱动部能够驱动所述第一调节螺杆旋转；所述第一调节螺杆一端连接有手动调节部；第一调节螺杆旋转进给方向为Z向；第一调节部，与第一调节螺杆螺接，平行于第一调节螺杆旋转进给的方向为Z向；第一调节部与安装座滑轨连接，第一调节部相对于安装座沿滑轨限定后的滑动方向为Z向；所述第一调节部连接有第一探针部和第二探针部。

【技术实现步骤摘要】
一种调节针座
本技术涉及一种调节针座。
技术介绍
现有的半导体测试设备为了提升测试效率，往往需要同时多芯测试。多芯测试场合需要考虑多个探针部安装位置，由于探针部的体积已经比较小，不能继续减小探针部，而且改变探针部的尺寸会造成已有的探针部报废，浪费资源。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出一种不用改变已有探针部就能满足多芯测试要求的调节针座。本技术的技术方案为：一种调节针座，包括，安装座，用于与使用的设备固定安装；第一驱动部，固定于安装座；第一调节螺杆，两端分别轴承连接于安装座，与第一驱动部的输出轴同步带连接，第一驱动部能够驱动所述第一调节螺杆旋转；所述第一调节螺杆一端连接有手动调节部；第一调节螺杆旋转进给方向为Z向；第一调节部，与第一调节螺杆螺接，平行于第一调节螺杆旋转进给的方向为Z向；第一调节部与安装座滑轨连接，第一调节部相对于安装座沿滑轨限定后的滑动方向为Z向；所述第一调节部连接有第一探针部和第二探针部。进一步的，所述第一探针部包括第一X向调节部和第一Y向调节部；所述第二探针部包括次级Z向调节部、第二X向调节部和第二Y向调节部。进一步的，Z向、X向和Y向两两相互垂直，即X向垂直于Y向，Y向垂直于Z向，Z向垂直于X向。进一步的，所述第一X向调节部、第一Y向调节部、次级Z向调节部、第二X向调节部和第二Y向调节部均采用螺杆滑块结构。进一步的，所述安装座固定有第一检测器和第二检测器；所述第一调节部固定有检测片，所述检测片位于第一检测器和第二检测器之间。进一步的，所述Z向垂直于放料平面。进一步的，所述安装座远离探针。本技术的有益效果在于：将现有多个探针部安装在第一调节部上，所述第一调节部由第一驱动部带动Z向运动；第一驱动部安装于安装座上；安装座固定于设备，从而实现将多个探针部安装，减少多个探针部分别安装占用的空间。附图说明图1为本技术调节针座示意图；图2为第一调节部安装结构示意图。具体实施方式为便于本领域技术人员理解本技术的技术方案，下面将本技术的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。如图1和图2所示，一种用于半导体测试设备的调节针座100包括：安装座20，用于与使用的设备固定安装；第一驱动部21，固定于安装座20；带动探针沿Z方向进给或退位，实现对多个晶粒连续测试；第一调节螺杆30，两端分别轴承连接于安装座20，满足第一调节螺杆30旋转运动，与第一驱动部21的输出轴同步带连接，第一驱动部21能够驱动所述第一调节螺杆30旋转；所述第一调节螺杆30一端连接有手动调节部31；第一调节螺杆30旋转进给方向为Z向；第一调节部40，与第一调节螺杆30螺接，平行于第一调节螺杆30旋转进给的方向为Z向；第一调节部40与安装座20滑轨连接，第一调节部40相对于安装座20沿滑轨限定后的滑动方向为Z向，从而实现第一调节螺杆30的旋转运动带动第一调节部40沿Z向的进给，最终实现第一驱动部21带动第一调节部40沿Z向进给；所述第一调节部40连接有第一探针部51和第二探针部52；从而满足将多个探针部（包括第一探针部51和第二探针部52）固定于第一调节部40，只需要将安装座20固定于设备，减小安装多个探针部占用的空间；当设备测试的晶圆尺寸一定时，设备所能提供的用于安装探针部的空间有限，通过将多个探针部共用一个安装座的方式，满足多个探针部的安装使用要求；同时所述第一驱动部21和/或手动调节部31能够用于多个探针部中其中一个探针部的Z向调节。如图1和图2所示，所述第一探针部51包括第一X向调节部和第一Y向调节部；第一驱动部21和/或手动调节部31用于第一探针部51Z向调节；所述第二探针部52包括次级Z向调节部、第二X向调节部和第二Y向调节部；满足第一探针部51和第二探针部52的调整要求下，相对于第二探针部52，第一探针部51减少了Z向调节部；Z向、X向和Y向两两相互垂直，实现对第一探针部51和第二探针部52上的探针分别三维调节，满足探针检测半导体的使用要求；所述第一X向调节部、第一Y向调节部、次级Z向调节部、第二X向调节部和第二Y向调节部均采用螺杆滑块结构；螺杆滑块机构为一种定向调节结构，具体为：部件一和部件二滑轨连接，从而部件一只能沿滑轨限定的方向相对于部件二运动，螺杆与部件一和部件二螺纹连接，通过旋转螺杆（将螺杆一端连接电极或手动旋柄）使部件一相对于部件二沿滑轨限定的方向运动；螺杆弹簧结构也能够实现和螺杆滑块结构的技术效果，此时部件一和部件二通过滑轨限定相对运动方向，部件一与螺杆螺接，螺杆一端止抵（或拉抵）部件二，弹性元件（包括但不限定为弹簧）两端分别作用于部件一和部件二，部件一相对于部件二沿螺杆进给量运动。如图1和图2所示，所述安装座20固定有第一检测器22和第二检测器23；所述第一调节部40固定有检测片41，所述检测片41位于第一检测器22和第二检测器23之间；当第一检测器22/第二检测器23检测到检测片41时，所述第一调节部40相对于所述安装座20到达极限位置，从而阻断所述第一调节部40相对于安装座20的运动，防止因第一调节部40相对于安装座20滑过极限位置造成第一调节部40不能正常使用；所述Z向垂直于放料平面，在安装所述调节针座100前，将Z向调整到远离放料平面的位置，利于调节针座100的安装，防止探针在放料平面划动而损坏；所述安装座20远离探针，从而相对于单一探针部延长尺寸，便于调节针座100的安装。以上是本技术的较佳实施例，不用于限定本技术的技术方案。应当认可，本领域技术人员在理解了本技术技术方案后所作的非创造性变形或改变，应当也属于本技术的保护内容。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调节针座，其特征在于：所述调节针座包括，安装座，用于与使用的设备固定安装；第一驱动部，固定于安装座；第一调节螺杆，两端分别轴承连接于安装座，与第一驱动部的输出轴同步带连接，第一驱动部能够驱动所述第一调节螺杆旋转；所述第一调节螺杆一端连接有手动调节部；第一调节螺杆旋转进给方向为Z向；第一调节部，与第一调节螺杆螺接，平行于第一调节螺杆旋转进给的方向为Z向；第一调节部与安装座滑轨连接，第一调节部相对于安装座沿滑轨限定后的滑动方向为Z向；所述第一调节部连接有第一探针部和第二探针部。

【技术特征摘要】
1.一种调节针座，其特征在于：所述调节针座包括，安装座，用于与使用的设备固定安装；第一驱动部，固定于安装座；第一调节螺杆，两端分别轴承连接于安装座，与第一驱动部的输出轴同步带连接，第一驱动部能够驱动所述第一调节螺杆旋转；所述第一调节螺杆一端连接有手动调节部；第一调节螺杆旋转进给方向为Z向；第一调节部，与第一调节螺杆螺接，平行于第一调节螺杆旋转进给的方向为Z向；第一调节部与安装座滑轨连接，第一调节部相对于安装座沿滑轨限定后的滑动方向为Z向；所述第一调节部连接有第一探针部和第二探针部。2.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：所述第一探针部包括第一X向调节部和第一Y向调节部；...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振辉，李景均，沈杰，杨波，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44