自适应调节探针制造技术

本申请公开了一种自适应调节探针，包括壳体，所述壳体内设置有可沿所述壳体上下移动的探针，所述探针可部分伸出所述壳体，所述探针未伸出所述壳体的一端连接有弹簧，所述弹簧另一端连接至限位滑块，所述壳体部分内壁为阻尼内壁，所述限位滑块沿所述阻尼内壁上下滑动。根据本申请实施例提供的技术方案，通过将壳体内壁设置成部分阻尼内壁，同时增加限位滑块沿该阻尼内壁滑动，探针可在壳体内继续移动使得该探针能够覆盖新的高度，且在探针抬起的时候探针整体长度缩短，保证在与基板接触时探针部分始终位于弹簧自由压缩的范围内，保证探针与基板的压力在可控范围内，不会出现砸伤基板的问题。

【技术实现步骤摘要】
自适应调节探针
本专利技术一般涉及测试设备领域，尤其涉及自适应调节探针。
技术介绍
基板测试设备测试方式为接触式测试，信号发生器通过与探针栏连接的探针载具上的探针组件与TFT基板直接接触进行信号加载。实际测试过程中，由于探针栏为金属材质，长期使用过程中会出现或多或少的变形，其次是探针载具的安装也会存在一定的误差，或者探针安装存在安装误差，这些原因都会导致实际探针的下降高度过低，探针与TFT基板之间的接触变为刚性接触，或者是压力大于预期的柔性接触，存在扎伤TFT基板的风险。当处于气缸下降状态时探针针头与基板接触，探针被一定程度的压缩，同时设备信号发生器对TFT基板部分进行信号加载，测试部分对基板进行测试。在理想状态下(1.探针栏为绝对水平；2.基板为绝对水平；3.探针载具与探针栏衔接处相对完全高度一致；4.各个探针载具完全一致；5.探针与探针载具衔接相对高度完全一致；6.所有探针完全一致；7.探针栏两端气缸下降量完全同步)所有位置的探针被压缩的量是一样的，这样基板与探针接触的各个位置所承受的压力也是一致且可控的，可以调试整个探针栏的整体下降量来控制探针的压缩量，进而达到控制探针与基本间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自适应调节探针，其特征在于，包括壳体，所述壳体内设置有可沿所述壳体上下移动的探针，所述探针可部分伸出所述壳体，所述探针未伸出所述壳体的一端连接有弹簧，所述弹簧另一端连接至限位滑块，所述壳体部分内壁为阻尼内壁，所述限位滑块沿所述阻尼内壁上下滑动。

【技术特征摘要】
1.一种自适应调节探针，其特征在于，包括壳体，所述壳体内设置有可沿所述壳体上下移动的探针，所述探针可部分伸出所述壳体，所述探针未伸出所述壳体的一端连接有弹簧，所述弹簧另一端连接至限位滑块，所述壳体部分内壁为阻尼内壁，所述限位滑块沿所述阻尼内壁上下滑动。2.根据权利要求1所述的自适应调节探针，其特征在于，所述阻尼内壁设置在所述壳体上部分。3.根据权利要求2所述自适应调节探针，其特征在于，所述探针未伸出所述壳体的一端上还设有调节顶针，所述调节顶针直径小于所述探针直径。4.根据权利要求3所述的自适应调节探针，其特征在于，所述调节顶针设置在所述弹簧内部。5.根据权利要求4所述的自适应调节探针，其特征在于，所述壳体的内侧壁上设有限位凸起，所述限位凸起用于限制所述限位滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄美玉，韩星，项久峻，姜洪晓，
申请(专利权)人：北京京东方显示技术有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11