石英匀流板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英匀流板，石英匀流板包括：第一匀流板，第二匀流板和第一连接件；第二匀流板与第一匀流板相对设置，且第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，且第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以使第一匀流板与第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个导流孔流入，且从间隙中流出。通过在第二匀流板上设置至少两个导流孔，可实现气体均匀流入到间隙中，以避免大量气体突然间进入到间隙，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提高工艺均匀镀膜的稳定性，提升了用户的体验。

【技术实现步骤摘要】
石英匀流板
本技术涉及石英
，具体而言，涉及一种石英匀流板。
技术介绍
目前，在相关技术中，现有的石英导流板，由于只设置一个导流孔，因此气体经石英导流板改变流动方向时，会堆积在石英导流板处，从而使气体无法均匀流入，致使气体造成浪费，进而增加了生产成本。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的提出一种石英匀流板。有鉴于此，本技术提供了一种石英匀流板，石英云流板包括：第一匀流板，第二匀流板和第一连接件；第二匀流板与第一匀流板相对设置，且第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，且第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以使第一匀流板与第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个导流孔流入，且从间隙中流出。在该技术方案中，首先，将第二匀流板和第一匀流板相对设置，并在第二匀流板上设置至少两个导流孔；其次，通过将第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，并将第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以实现使第一匀流板和第二匀流板之间存有间隙。由于第二匀流板设置有至少两个导流孔，且第一匀流板上未设置通孔，因此气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板包括：第一匀流板；第二匀流板，所述第二匀流板与所述第一匀流板相对设置，且所述第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件，所述第一连接件的一端与所述第一匀流板的中心相连接，且所述第一连接件的另一端与所述第二匀流板的中心相连接，以使所述第一匀流板与所述第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个所述导流孔流入，且从所述间隙中流出。

【技术特征摘要】
1.一种石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板包括：第一匀流板；第二匀流板，所述第二匀流板与所述第一匀流板相对设置，且所述第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件，所述第一连接件的一端与所述第一匀流板的中心相连接，且所述第一连接件的另一端与所述第二匀流板的中心相连接，以使所述第一匀流板与所述第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个所述导流孔流入，且从所述间隙中流出。2.根据权利要求1所述的石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板还包括：第二连接件，至少一个所述第二连接件的一端与所述第一匀流板相连接，且至少一个所述第二连接件的另一端与所述第二匀流板相连接。3.根据权利要求2所述的石英匀流板，其特征在于：所述第二连接件为三个，且三个所述第二连接件沿所述第一匀流板和所述第二匀流板的上部均匀分部。4.根据权利要求3所述的石英匀流板，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李光华，赵伟恒，高峰，
申请(专利权)人：沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21