【技术实现步骤摘要】
一种平面轨迹测量装置及其安装、测量方法
本专利技术涉及机床位置精度检测领域，具体涉及一种平面轨迹测量装置及其安装、测量方法。
技术介绍
精密及超精密机床位置精度检测时，插补精度的检测为重要的检测项目之一，该项插补精度现有的检测装置主要有平面光栅和球杆仪两类装置。其中平面正交光栅法基于光学测量原理，是一种二维、非接触式直接测量法。当工作台与主轴作相对运动时(圆弧、直线运动，甚至不规则的复杂平面曲线)时，能够实时确定运动轨迹的精度，分辨率可达5nm。但平面光栅也有一定的局限性，因为它的检测都局限在平面轨迹上，无法测量与回转轴相关的联动精度，也无法评价机床多轴联动的的空间精度。球杆仪由两个精密金属球和一个高精度位移传感器组成，是一维的位移测量，测量行程为±2mm，能获得测量的信息有限。且球杆仪的分析软件只适用于两轴联动的平面圆轨迹测试结果。此外球杆仪杆长有限，不适用于大型机床。即是，目前机床平面轨迹的测量装置中，平面光栅是一种二维、非接触式直接测量法，检测局限在单一的平面轨迹上，无法测量与回转轴相关的联动精度，也无法评价机床多轴联动的空间精度，测量平面有限，难以实现空间...
【技术保护点】
1.一种平面轨迹测量装置，包括内部带有长光栅的测量杆(4)，其特征在于，所述测量杆(4)的两端分别连接小球Ⅰ(3)、小球Ⅱ(5)，还包括与小球Ⅰ(3)相连的运动接头组件、与小球Ⅱ(5)相连的底座组件；所述运动接头组件包括用于连接在运动部件上的磁力座(1)、连接在磁力座(1)下方的磁力接头(2)，所述磁力接头(2)的底部具有与小球Ⅰ(3)相匹配的球窝，所述小球Ⅰ(3)与磁力接头(2)的球窝靠磁性吸附；所述底座组件包括设置在固定部件上的旋转底座(8)、转动连接在旋转底座(8)上的磁力杆(6)、固定套设在磁力杆(6)外的圆光栅(7)，所述磁力杆(6)的顶部具有与小球Ⅱ(5)相匹配...
【技术特征摘要】
1.一种平面轨迹测量装置，包括内部带有长光栅的测量杆(4)，其特征在于，所述测量杆(4)的两端分别连接小球Ⅰ(3)、小球Ⅱ(5)，还包括与小球Ⅰ(3)相连的运动接头组件、与小球Ⅱ(5)相连的底座组件；所述运动接头组件包括用于连接在运动部件上的磁力座(1)、连接在磁力座(1)下方的磁力接头(2)，所述磁力接头(2)的底部具有与小球Ⅰ(3)相匹配的球窝，所述小球Ⅰ(3)与磁力接头(2)的球窝靠磁性吸附；所述底座组件包括设置在固定部件上的旋转底座(8)、转动连接在旋转底座(8)上的磁力杆(6)、固定套设在磁力杆(6)外的圆光栅(7)，所述磁力杆(6)的顶部具有与小球Ⅱ(5)相匹配的球窝，所述小球Ⅱ(5)与磁力杆(6)的球窝靠磁性吸附。2.根据权利要求1所述的一种平面轨迹测量装置，其特征在于，所述磁力座(1)与磁力接头(2)之间通过球铰连接。3.根据权利要求1所述的一种平面轨迹测量装置，其特征在于，所述测量杆(4)上固定连接加长杆(11)，所述加长杆(11)与测量杆(4)同轴，所述小球Ⅰ(3)连接在加长杆(11)上。4.根据权利要求1所述的一种平面轨迹测量装置，其特征在于，还包括套设在磁力杆(6)外的轴承(12)，所述轴承(12)位于圆光栅(7)下方。5.根据权利要求1所述的一种平面轨迹测量装置，其特征在于，还包括与所述长光栅、圆光栅(7)相连的数据采集系统(9)，所述数据采集系统(9)采集长光栅、圆光栅(7)的读数信息，并通过无线通讯传输到数据分析系统(10)。6.权利要求1至5中任一所述的一种平面轨迹测量装置的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)校准：校准内部带有长光栅的测量杆(4)；(b)安装：将磁力座(1)通过磁力吸附在被测主轴上，将旋转底座(8)固连在工作台上；(c)调整：通过磁力接头(2)的底部球窝吸附调节小球，缓慢调整被测主轴和旋转底座(8)之间的距离，直到磁力杆(6)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏仰球，周怡帆，刘兴宝，米良，滕强，杨川贵，唐强，陈衡，杜坤，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：四川,51
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