The utility model provides an operation box, a graphite disassembly device and an ion implanter. The operation box includes an operation glove and a box body, the operation glove is connected with an operation port arranged on the box body and sealed, so that the operator will not bring air into the space connected with the graphite chamber when removing graphite in the graphite chamber. Further, the pressure in the chamber connected with the graphite chamber can be controlled by a pump body, which is lower than that in the inert gas chamber. The inert gas in the inert gas chamber enters the chamber of the operation chamber, and the original air in the chamber connected with the graphite chamber is discharged to ensure that the chamber connected with the graphite chamber is basically empty during disassembly. Gas, thus preventing the removal of graphite with phosphorus layer on the surface caused smoke, eliminating the hidden danger of fire.
【技术实现步骤摘要】
操作箱、石墨拆卸装置以及离子注入机
本技术涉及半导体设备领域,特别涉及一种操作箱、石墨拆卸装置、以及离子注入机。
技术介绍
离子注入技术是现代半导体制造技术的一个重要组成部分,使用离子注入机将电离的可控制数量的杂质离子经静电场加速引入到衬底如硅晶圆表面,可实现对衬底的掺杂,以改变其电学性能,并最终形成各种半导体元器件。例如,在CMOS图像传感器生产过程中,需要使用离子注入机进行磷离子的注入,以形成CMOS图像传感器的感光区。然而,专利技术人发现,多次离子注入后,会在离子注入机的石墨室的内壁上形成一层沉积层,如采用含磷气体(通常为PH3气体)实现磷元素注入后会在石墨室的内壁形成一层磷的沉积物,这时就需要清洗石墨室,清洗石墨室需要先将石墨室中的石墨取出。然而,由于离子注入机长时间进行磷离子的注入,石墨表面会产生含磷的涂层,在取出石墨的时候遇到氧气很容易起烟并有火灾发生的隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种操作箱、石墨拆卸装置、以及离子注入机,以实现在无氧气状态下拆卸石墨,防止拆卸过程中出现起火事故。本技术提供了一种操作箱,用于拆卸离子注入机中表面具有磷层的石墨,所述离子注入机包括一用以容置所述石墨的石墨室,所述石墨室设有一拆装口,所述操作箱包括箱体以及操作手套;所述箱体与所述石墨室的拆装口连通,且所述箱体远离所述石墨室的一面设有操作口,所述操作手套与所述操作口连接并将所述箱体密封;所述箱体上设有进气口以及排气口,所述进气口与一惰性气体源连接,所述排气口用以排出所述石墨室内的空气。可选的,在所述操作箱中,所述排气口包括第一排气口和第二排气口,所述第一排气口用以 ...
【技术保护点】
1.一种操作箱,用于拆卸离子注入机中表面具有磷层的石墨,所述离子注入机包括一用以容置所述石墨的石墨室,所述石墨室设有一拆装口,其特征在于,所述操作箱包括箱体以及操作手套;所述箱体与所述石墨室的拆装口连通,且所述箱体远离所述石墨室的一面设有操作口,所述操作手套与所述操作口连接并将所述箱体密封;所述箱体上设有进气口以及排气口,所述进气口与一惰性气体源连接,所述排气口用以排出所述石墨室内的空气。
【技术特征摘要】
1.一种操作箱,用于拆卸离子注入机中表面具有磷层的石墨,所述离子注入机包括一用以容置所述石墨的石墨室,所述石墨室设有一拆装口,其特征在于,所述操作箱包括箱体以及操作手套;所述箱体与所述石墨室的拆装口连通,且所述箱体远离所述石墨室的一面设有操作口,所述操作手套与所述操作口连接并将所述箱体密封;所述箱体上设有进气口以及排气口,所述进气口与一惰性气体源连接,所述排气口用以排出所述石墨室内的空气。2.根据权利要求1所述的操作箱,其特征在于,所述排气口包括第一排气口和第二排气口,所述第一排气口用以与一泵体连接,所述第二排气口用以与一净化箱连接。3.根据权利要求1所述的操作箱,其特征在于,所述箱体为透明结构。4.一种石墨拆卸装置,其特征在于,包括泵体、惰性气体箱、净化箱以及如权利要求2所述的操作箱;所述惰性气体箱内容置有惰性气体源;所述泵体与所述第一排气口连接,用以控制所述箱体和所述石墨室内的压力低于所述惰性气体箱内的压力;所述惰性气体箱与所述进气口连接,用以向所述箱体内提供惰性气体...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘凯,倪明明,吴宗祐,林宗贤,
申请(专利权)人:德淮半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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