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操作箱、石墨拆卸装置以及离子注入机制造方法及图纸
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下载操作箱、石墨拆卸装置以及离子注入机的技术资料
文档序号:21465903
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本实用新型提供一种操作箱、石墨拆卸装置以及离子注入机。所述操作箱包括操作手套和箱体,所述操作手套与设置在所述箱体上的操作口连接并将所述箱体密封,如此,操作人员在所述石墨室内拆卸石墨时不会将空气带入所述操作箱与石墨室连通的空间内。进一步的,可...
该专利属于德淮半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。
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