【技术实现步骤摘要】
基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置
本专利技术涉及一种基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置。
技术介绍
在真空紫外能区(本专利技术中指50-150nm范围)，由于空气对光的吸收强烈，真空紫外能区的实验必须在真空条件下完成。为了获得真空紫外光分布数据，通常采用闪烁晶体(一般为Ce:YAG)直接观察荧光或者金属刀片切割测量光电效应电流的方法。闪烁晶体在不同波长下的荧光效率有很大的差异，导致可测量波长没有大的动态范围，并且在效率低的波长处会导致分布测量结果偏小，另外此种方法是拦截式的测量方法，不能实时在线测量参数。金属刀片切割测量光电效应电流方法虽然能够保证测量波长动态范围大，但是微弱电流(一般在皮安量级)的测量难度较大，外界环境对测量值有很大干扰，所以精度难以保证，此外该方法只能测量到光斑的边界信息，不能得出整个光斑的分布信息。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置。本专利技术的技术方案是：基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置，包括：真空件，所述真空件内具有真空腔11，所述真空腔11的壁上设有法兰接...
【技术保护点】
1.基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，包括：真空件，所述真空件内具有真空腔(11)，所述真空腔(11)的壁上设有法兰接口，通过法兰接口安装有真空发生器(13)、真空测量组件(12)和充气装置(14)；离子传输系统，所述离子传输系统将待测光电离出的离子竖直传递至离子飞行时间探测器处；离子飞行时间探测器，所述离子飞行时间探测器将离子飞行时间转换为高速采集系统可采集的信号，所述离子飞行时间探测器与离子传输方向保持垂直；高速采集系统，所述高速采集系统用于采集信号；数据处理系统，所述数据处理系统用来推导离子产生空间位置、拟合采集到的信号，进而推导出待测光的横向分布。
【技术特征摘要】
1.基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，包括：真空件，所述真空件内具有真空腔(11)，所述真空腔(11)的壁上设有法兰接口，通过法兰接口安装有真空发生器(13)、真空测量组件(12)和充气装置(14)；离子传输系统，所述离子传输系统将待测光电离出的离子竖直传递至离子飞行时间探测器处；离子飞行时间探测器，所述离子飞行时间探测器将离子飞行时间转换为高速采集系统可采集的信号，所述离子飞行时间探测器与离子传输方向保持垂直；高速采集系统，所述高速采集系统用于采集信号；数据处理系统，所述数据处理系统用来推导离子产生空间位置、拟合采集到的信号，进而推导出待测光的横向分布。2.根据权利要求1所述的基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，所述真空发生器(13)为分子泵。3.根据权利要求1所述的基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：余永，李钦明，杨家岳，丁洪利，张未卿，杨学明，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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