【技术实现步骤摘要】
基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置
本专利技术涉及一种基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置。
技术介绍
在真空紫外能区(本专利技术中指50-150nm范围)，由于空气对光的吸收强烈，真空紫外能区的实验必须在真空条件下完成。为了获得真空紫外光尺寸与位置数据，通常采用闪烁晶体(一般为Ce:YAG)直接观察荧光或者金属刀片切割测量光电效应电流的方法。闪烁晶体是一种对入射光有荧光响应的一种晶体，在不同波长下的荧光效率有很大的差异，这种特点导致可测量波长的动态范围较小，并且在效率低的波长处会导致尺寸测量结果偏小，另外此种方法是拦截式的测量方法，不能实时在线测量参数，而对于一个光源来讲，实时位置参数是一个非常重要的参数。根据光电效应，当金属被高能量光子撞击时，会飞出自由电子，金属刀片切割测量方法就是用的这个原理。金属刀片切割测量光电效应电流方法虽然能够保证测量波长动态范围大，但是为了保证光束能够尽量多的传输到后面，金属刀片需要尽可能少的切割光束，导致光电效应电流非常微弱，而微弱电流(一般在皮安量级)的测量难度较大，外界电磁环境，机械振动等不稳定环境环境对测量...
【技术保护点】
1.基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，包括：真空件，所述真空件内具有真空腔(11)，所述真空腔(11)的壁上设有法兰接口，通过法兰接口安装有真空发生器(13)、真空测量组件(12)和充气装置(14)；离子传输系统，所述离子传输系统将待测光电离出的离子竖直传递至离子位置探测器处；离子位置探测器，所述离子位置探测器将离子位置转换为图像采集系统可采集的信号，所述离子位置探测器与离子传输方向保持垂直；光学传输系统，所述光学传输系统可以屏蔽外界杂散光可能引入的杂信号对测量结果的影响；图像采集系统，所述图像采集系统用于采集和处理信号；数据处理系统，所述数据处理系...
【技术特征摘要】
1.基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，包括：真空件，所述真空件内具有真空腔(11)，所述真空腔(11)的壁上设有法兰接口，通过法兰接口安装有真空发生器(13)、真空测量组件(12)和充气装置(14)；离子传输系统，所述离子传输系统将待测光电离出的离子竖直传递至离子位置探测器处；离子位置探测器，所述离子位置探测器将离子位置转换为图像采集系统可采集的信号，所述离子位置探测器与离子传输方向保持垂直；光学传输系统，所述光学传输系统可以屏蔽外界杂散光可能引入的杂信号对测量结果的影响；图像采集系统，所述图像采集系统用于采集和处理信号；数据处理系统，所述数据处理系统用来拟合采集到的信号，确定离子信号的横向分布，进而推导出待测光的横向分布。2.根据权利要求1所述的基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，所述真空发生器(13)为分子泵。3.根据权利要求1所述的基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，所述真空测量组件(12)为真空规。4.根据权利要求1所述的基于...
【专利技术属性】
技术研发人员：李钦明，余永，杨家岳，丁洪利，张未卿，杨学明，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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