The invention discloses a coating method and a coating device of a vibrating rod. The coating method of the vibrating rod forms a thin film by coating the coating device on a substrate. The rotating adjustment module of the coating device drives the rod to rotate at the first rotating speed, and the tangent direction of the rod at the junction with the substrate and the moving direction of the substrate are reversed, so that the thickness of the film can be fine-tuned, and then the thickness of the film can be controlled. The rod of the coating device is rotated and reset at a second speed. The tangent direction of the rod at the junction with the substrate and the moving direction of the substrate are in the same direction. The second speed is much larger than the first speed. The rod can drive ink to shoot at high speed and improve uniformity. Besides the reciprocating rotation of the rod can control the coating speed and output, it can also limit the contact of the rod. The area of the film, without the whole rotation, can reduce the requirements for the true straightness and cylindricity of the rod.
【技术实现步骤摘要】
振动线棒涂布方法及涂布装置
本专利技术是关于一种振动线棒涂布方法及涂布装置,尤指可有效控制涂布厚度与均匀度的振动线棒涂布方法及涂布装置。
技术介绍
线棒涂布是目前普遍的涂布方式之一,且在基材上涂布形成的薄膜厚度利用线棒的绕线的线径与密度来控制,请参阅美国第8304027号专利案,其采用固定不旋转的单支线棒,可以涂布出薄又均匀的薄膜,然而固定式线棒的缺点是涂布产线的速度要快,造成后续的烘干作业无法即时配合,且无法有效控制产量,容易造成库存增加,若要烘干作业可配合,则需要增加设备而导致厂内占用的空间增加、成本增加,故不理想。另外,依据不同的需求而在涂布液中添加混合物时,为了提高涂布形成的薄膜中混合物的均匀度。参阅日本第2013-034980号专利案,采用单支线棒,且薄膜移动方向和线棒在与基材相接处的切线方向相同时,会增加涂布形成的薄膜厚度,但是线棒持续保持同一转动方向,线棒的外周面皆会与薄膜接触,因此对线棒的真直度、圆筒度的要求高,若线棒的真直度、圆筒度差,会造成薄膜厚度不均匀。参阅日本第2014-124559号专利案,采用单支线棒,且薄膜移动方向和线棒在与基材相接处的切线方向相反时,能降低涂布形成的薄膜厚度,但是线棒持续保持同一转动方向,线棒的外周面皆会与薄膜接触,因此对线棒的真直度、圆筒度的要求高,若线棒的真直度、圆筒度差,会造成薄膜厚度不均匀。参阅欧洲第1365287号专利案、欧洲第1803502号专利案与欧洲的2052787号专利案,采用二线棒,该二线棒的旋转方向相同或相反时,虽可弥补单支线棒的不足,但是该二线棒分别保持单一转动方向,线棒的外周面皆会与 ...
【技术保护点】
1.一种振动线棒涂布方法,其以一涂布装置在一基材上涂布形成一薄膜,其特征在于,所述的振动线棒涂布方法包含:一往复转动步骤,所述的涂布装置的线棒先以一第一转速于所述的基材上转动并涂布形成薄膜,于所述的线棒以所述的第一转速转动的过程中,所述的线棒在与所述的基材相接处的切线方向和所述的基材的移动方向反向,所述的涂布装置的线棒再以一第二转速于所述的基材上转动复位,于所述的线棒以第二转速转动的过程中,所述的线棒在与所述的基材相接处的切线方向和所述的基材的移动方向同向,其中,所述的线棒的第二转速大于所述的线棒的第一转速。
【技术特征摘要】
1.一种振动线棒涂布方法,其以一涂布装置在一基材上涂布形成一薄膜,其特征在于,所述的振动线棒涂布方法包含:一往复转动步骤,所述的涂布装置的线棒先以一第一转速于所述的基材上转动并涂布形成薄膜,于所述的线棒以所述的第一转速转动的过程中,所述的线棒在与所述的基材相接处的切线方向和所述的基材的移动方向反向,所述的涂布装置的线棒再以一第二转速于所述的基材上转动复位,于所述的线棒以第二转速转动的过程中,所述的线棒在与所述的基材相接处的切线方向和所述的基材的移动方向同向,其中,所述的线棒的第二转速大于所述的线棒的第一转速。2.如权利要求1所述的振动线棒涂布方法,其特征在于,在往复转动步骤中,所述的涂布装置的线棒在转动的同时也进行轴向移动。3.如权利要求2所述的振动线棒涂布方法,其特征在于,在往复转动步骤中,所述的线棒的轴向移动为简谐运动。4.如权利要求2所述的振动线棒涂布方法,其特征在于,所述的线棒的轴向移动距离为0.5个线距至1个线距。5.如权利要求3所述的振动线棒涂布方法,其特征在于,所述的线棒的轴向移动距离为0.5个线距至1个线距。6.如权利要求1至5中任一项所述的振动线棒涂布方法,其特征在于,所述的线棒的转动角度不大于3.6度。7.一种涂布装置,其用以进行如权利要求1至6中任一项所述的振动线棒涂布方法,其特征在于,所述涂布装置包含:一基座;一线棒,其跨设于所述的基座;一转动调整模块,其设于所述的基座并连接所述的线棒,以带动所述的线棒往...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘冠志,林世伟,
申请(专利权)人:财团法人金属工业研究发展中心,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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