一种监控光阻过滤器使用寿命的系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。本实用新型专利技术的监控光阻过滤器使用寿命的系统在过滤器两端增加压力传感器来检测过滤器量测压差，在过滤器与光阻泵之间增加流量计来及时捕捉监控到光阻泵补液异常，光阻泵增加计数功能来更精确的监控过滤器过滤光阻量。

A system for monitoring the service life of photoresistive filters

The utility model provides a system for monitoring the service life of a photoresistive filter, which comprises a photoresistive bottle with a pipe inlet at the top for inserting a pipe into the photoresistive bottle; a filter with a pipe connecting the photoresistive bottle; a photoresistive pump with a pipe connecting the filter; and a pressure sensor with a pressure sensor arranged on a pipe between the photoresistive bottle and the filter; The pressure sensor 2 is arranged on a pipeline between the filter and the photoresistive pump, and a communication board is connected with the pressure sensor 1 and the pressure sensor 2. The system for monitoring the service life of the photoresistive filter of the utility model adds pressure sensors at both ends of the filter to detect the pressure difference of the filter, adds a flowmeter between the filter and the photoresistive pump to catch the abnormal replenishment of the photoresistive pump in time, and increases the counting function of the photoresistive pump to more accurately monitor the photoresistivity of the filter.

【技术实现步骤摘要】
一种监控光阻过滤器使用寿命的系统
本技术涉及一种半导体设备，尤其涉及一种监控光阻过滤器使用寿命的系统。
技术介绍
目前半导体机台的光阻过滤系统如图1所示：整个管路由光阻瓶，过滤器，光阻泵和光阻喷嘴组成箭头为光阻流动方向，其中过滤器为消耗品无定期更换；当过滤器异常时会差生大量气泡，这些气泡会随着光阻的流动一起移动直至光阻喷嘴端，当气泡到光阻泵与光阻喷嘴短时就会影响光阻喷量变少，喷吐到晶圆表面就会导致涂料减少，上述气泡产生由过滤器异常导致，而目前系统没有任何参数可以表征过滤器异常，只有一个光阻泵重装时间来监控光阻泵补液时间，当光阻泵补液时间异常时管路情况已经产生大量气泡，即目前系统不能及时抓住过滤器异常，具有延后性。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能及时抓住过滤器异常，并及时处理的监控光阻过滤器使用寿命的系统。本技术为解决上述技术问题采用以下技术方案：一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。

【技术特征摘要】
1.一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。2.根据权利要求1所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：还包括一超声波光阻流量计，设置于压力传感器二和光阻泵之间，并连接所述通讯板。3.根据权利要求2所述的监控光阻过滤器使用寿命...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄斌，程奥博，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31