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本实用新型提供了一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；一压力传感器...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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