The invention relates to the technical field of OLED micro-display panel, in particular to a method for making black matrix of color filter. After cleaning the glass substrate, chromium metal film is deposited on the glass substrate; after coating, exposure and photolithography, metal chromium matrix is formed by etching; and the glass substrate is oxidized by plasma to form a black chromium oxide layer on the surface. After adopting the above method, the device and the process of the invention are simple, and the ultrafine black chromium oxide matrix can be formed to reduce or eliminate the phenomenon of light leakage.
【技术实现步骤摘要】
一种彩色滤光片黑色矩阵制作方法
本专利技术涉及OLED微显示面板
，特别是一种彩色滤光片黑色矩阵制作方法。
技术介绍
显示面板，例如硅基OLED微显示具有体积小，像素小，低耗电量，全彩化等优点。显示装置一般包括阵列基板、彩色滤光片以及设置在阵列基板和彩色滤光片之间的液晶层。彩色滤光片则包括设置在一基底上的黑色矩阵以及彩色滤光单元。黑色矩阵设置在相邻的彩色滤光单元之间。黑色矩阵用于阻止光线进入非像素区域内，并分割彩色滤光单元，以增加色彩对比性。OLED器件发光时会有斜向光线的存在，当斜向光线发生折射后，在阵列基板一侧人眼可以在较大的角度观察到该光线，从而产生漏光现象，这种现象被称为斜视漏光现象。如何有效解决斜视漏光现象一直是业界的一个重要课题。尤其在硅基OLED微显示领域，要求黑色矩阵的线宽要小，常规的有机材料无法满足要求。中国专利技术专利CN108336112A公开了一种彩色滤光片包括基板、形成于所述基板上的黑色矩阵以及位于所述黑色矩阵内的彩色滤光单元，所述基板包括支撑层以及通过溅射形成在所述支撑层下表面的阻水层，所述彩色滤光单元和所述黑色矩阵位于所述阻水层...
【技术保护点】
1.一种彩色滤光片黑色矩阵制作方法，其特征在于：在玻璃基板清洗后，在玻璃基板上沉积铬金属薄膜；经过涂胶曝光显影光刻工艺，再经过蚀刻，形成金属铬矩阵；将玻璃基板通过等离子体氧化处理，形成表面的黑色氧化铬层。
【技术特征摘要】
1.一种彩色滤光片黑色矩阵制作方法，其特征在于：在玻璃基板清洗后，在玻璃基板上沉积铬金属薄膜；经过涂胶曝光显影光刻工艺，再经过蚀刻，形成金属铬矩阵；将玻璃基板通过等离子体氧化处理，形成表面的黑色氧化铬层。2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹成，刘志文，
申请(专利权)人：湖畔光电科技江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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