一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。本实用新型专利技术通过围绕2个不同的轴线进行360度的旋转，从而解决产品多型面的PVD镀层厚度偏薄问题，可以大大提高生产效率、镀层的性能和外观质量。

A Tooling Device for Physical Meteorological Deposition Process with Multi-Dimensional Rotation

The utility model discloses a tooling device for a multi-dimensional rotating physical meteorological deposition process, which comprises a spindle (1), more than one sub-axis (2), a driving module (3), a driving module (4) and a motor. The spindle (1) is connected with the motor through a driving module (3), and the spindle (1) rotates around the axis of the spindle. The sub-axis (2) is connected with the spindle through a driving module (4).\uff08 1) drive connection, and the sub-axle (2) rotates around the axis of the sub-axle. The axis of the sub-axle (2) and the axis of the main axle (1) form an angle. More than one branch is arranged on the sub-axle (2), and the axis of the branch and the axis of the sub-axle (2) form an angle. By rotating 360 degrees around two different axes, the utility model solves the problem of thin thickness of PVD coating on multi-surface of product, and can greatly improve production efficiency, performance and appearance quality of the coating.

【技术实现步骤摘要】
一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置
本专利技术属于物理气象沉积(PVD)工艺的工装，该工装为工件提供支撑和固定，以便工件上实现PVD镀层。
技术介绍
现有的技术为固定的工装或者单轴旋转的工装。该技术对多型面的产品，部分产品表面PVD镀层会有困难，镀层厚度偏薄达不到要求，往往都过增加工件在工装上排放距离来解决多型面PVD镀层问题，排放距离的增大，意味着单位时间的生产工件数量减少，生产效率降低。
技术实现思路
技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，该装置通过围绕2个不同的轴线进行360度的旋转，从而解决产品多型面的PVD镀层厚度偏薄问题，可以大大提高生产效率、镀层的性能和外观质量。技术方案：为实现上述目的，本技术采用的技术方案为：一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。进一步地：还包括夹具，所述夹具用于固定工件，所述夹具设置在分支上。进一步地：还包括工作台，所述主轴(1)通过轴承安装在工作台上。优选的：所述驱动模块一(3)、驱动模块二(4)均为齿轮组件。优选的：所述子轴(2)为6个。优选的：所述子轴(2)成对设置，互成一对的子轴相互对称设置在主轴(1)上。优选的：所述分支为4个。优选的：所述分支成对设置，互成一对的分支相互对称设置在子轴(2)上。本技术相比现有技术，具有以下有益效果：工件放置在子轴上，随着主轴、子轴进行2个轴线360度旋转，产品需要PVD的型面无死角，增加工件排放数量。多型面工件，表面PVD镀层均匀，工件的PVD镀层性能提升。多型面工件，表面PVD镀层均匀，工件的PVD镀层的外观质量得到提升。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为驱动模块一的结构示意图；图3为驱动模块二的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本技术，应理解这些实例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围，在阅读了本技术之后，本领域技术人员对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，如图1-3所示，包括主轴1、一个以上的子轴2、驱动模块一3、驱动模块二4以及电机，所述主轴1通过驱动模块一3与电机传动连接，且所述主轴1绕主轴的轴线转动，驱动模块一3为齿轮组件，齿轮组件中的各个齿轮啮合传动连接在一起，伺服电机启动，驱动齿轮组件(驱动模块一3)，使得主轴1以一定的速度围绕主轴轴线360旋转。所述子轴2通过驱动模块二4与主轴1传动连接，驱动模块二4为齿轮组件，齿轮组件中的各个齿轮啮合传动连接在一起，主轴1的转动，驱动齿轮组件(驱动模块二4)，使得子轴2以一定的速度围绕子轴2轴线360旋转，所述子轴2的轴线与主轴1的轴线在形成夹角，所述子轴2上设置有一个以上的分支，在本实施例中，所述子轴2为6个，所述子轴2成对设置，互成一对的子轴相互对称设置在主轴1上，所述分支为4个，在本技术的另一实施例中，所述子轴2为1个，所述分支为1个，所述分支成对设置，互成一对的分支相互对称设置在子轴2上，所述分支的轴线与子轴2的轴线在形成夹角。工件放置在子轴上，随着主轴、子轴，进行2个轴线360度复合旋转，产品需要PVD型面无死角，同时可以增加工件排放数量。还包括夹具，所述夹具用于固定工件，所述夹具设置在分支上。还包括工作台，所述主轴1通过轴承安装在工作台上。具体实施过程：1)依据PVD镀膜的工件尺寸和形状，集合PVD腔体的工作尺寸，进行模拟分析，确定子轴的数量和子轴摆放工件数量，保证在主轴、子轴旋转过程中，相互不出现干涉。2)工件放置在子轴上的夹具上，固定住工件，放置旋转过程中脱落。3)挂满工件的工装，进入PVD腔体，检测到工件后驱动电机启动，主轴、子轴进行旋转，PVD工艺开始生产镀膜。随着主轴、子轴，进行2个轴线360度复合旋转，产品需要PVD型面无死角，同时可以增加工件排放数量。4)PVD工艺结束后，工装停止旋转，工件下件检验，进入后续的工艺。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出：对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。

【技术特征摘要】
1.一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。2.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：还包括夹具，所述夹具用于固定工件，所述夹具设置在分支上。3.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：周银双，严舶，
申请(专利权)人：大方盛德汽车科技扬州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32