The invention provides a manufacturing method, mask and evaporation equipment of metal composite sheet for FMM, including: providing an initial blind of the mask body; etching the initial blind through to obtain multiple openings; depositing metal coating at least at the openings, and controlling the deposition thickness of the metal coating by time. The invention can solve the technical problem that the thickness of Invar metal in the prior art is thicker and the opening size of FMM can not reach the standard.
【技术实现步骤摘要】
一种FMM用金属复合薄板的制作方法、掩模板及蒸镀设备
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种FMM用金属复合薄板的制作方法、掩模板及蒸镀设备。
技术介绍
目前高阶手机使用的AMOLED面板其量产的主流方法是真空蒸镀，而真空蒸镀必须用到精细金属掩罩FMM全称为FineMetalMask(精细金属掩模板)，其材料主要是一种低膨胀金属一般使用因瓦金属(invar)，其成分主要为36％的镍的铁属合金，因为要用在FMM的因瓦金属的厚度很薄约30～20um而薄型的因瓦金属生产困难供应链有限，厚度较厚则无法使用于制造FMM，有鉴于此故想开发出突破限制有利发展AMOLED技术及市场的复合材料方式来加工因瓦金属使其可以用于FMM制程。
技术实现思路
本专利技术提供一种FMM用金属复合薄板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，能够解决现有技术中因瓦金属厚度较厚，使得FMM开口尺寸无法达标的技术问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种FMM用金属复合薄板的制作方法，包括：提供一掩模板本体的初始盲板；将初始盲板进行蚀刻贯穿，得到多个开口；至少在所述开口处进行金属镀层沉积，并以时间...
【技术保护点】
1.一种FMM用金属复合薄板的制作方法，其特征在于，包括：提供一掩模板本体的初始盲板；将初始盲板进行蚀刻贯穿，得到多个开口；至少在所述开口处进行金属镀层沉积，并以时间控制该金属镀层沉积厚度。
【技术特征摘要】
1.一种FMM用金属复合薄板的制作方法，其特征在于，包括：提供一掩模板本体的初始盲板；将初始盲板进行蚀刻贯穿，得到多个开口；至少在所述开口处进行金属镀层沉积，并以时间控制该金属镀层沉积厚度。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法中，至少在所述开口处进行金属镀层沉积，还包括：使用弱电流至少在所述开口处先形成预镀层。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预镀层的厚度为1～3um。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法中，以时间控制该金属镀层沉积厚度，具体包括：以一小时约5～8um的生长速度控制金属镀层沉积的厚度。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，金属镀层沉积最终厚度之后形成的...
【专利技术属性】
技术研发人员：简旭宏，黄俊铭，
申请(专利权)人：合肥永淇智材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34
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