下载一种FMM用金属复合薄板的制作方法、掩模板及蒸镀设备的技术资料

文档序号:21334152

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本发明提供一种FMM用金属复合薄板的制作方法、掩模板及蒸镀设备,包括:提供一掩模板本体的初始盲板;将初始盲板进行蚀刻贯穿,得到多个开口;至少在所述开口处进行金属镀层沉积,并以时间控制该金属镀层沉积厚度。能够解决现有技术中因瓦金属厚度较厚,使...
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