一种芯片中心定位夹具制造技术

本发明专利技术涉及一种芯片中心定位夹具，包括置于芯片底部用于支撑芯片的支撑架和位于支撑架上方用于卡固芯片外缘的钳位板，支撑架，包括基础支架和调节头，所述调节头设置在基础支架的一侧且能够相对基础支架水平活动改变基础支架的支撑范围；钳位板，包括基础板和组合板，所述组合板能够拆卸式的固定在基础板的一端用于改变钳位板的卡固半径。本发明专利技术对夹具的支撑架和钳位板进行更改，使夹具适用于不同直径芯片的工装，可以实现多种规格芯片不同夹具的兼容，大大的缩短更换夹具的时间，提高设备的利用效率，降低故障率，使夹具尺寸更换操作更方便、更简单、更省时；此外该夹具工装制作简单，成本较低。

A Chip Center Location Fixture

The invention relates to a chip center positioning fixture, which comprises a support frame for supporting the chip at the bottom of the chip and a clamp plate for clamping the outer edge of the chip above the support frame. The support frame includes a base support and a adjusting head. The adjusting head is arranged on one side of the base support and can change the support range of the base support relative to the base support horizontally. The base plate and the composite plate can be disassembled and fixed at one end of the base plate to change the clamping radius of the clamping plate. The invention alters the support frame and clamp plate of the fixture, makes the fixture suitable for the fixture of different diameter chips, realizes the compatibility of different fixtures of various specifications chips, greatly shortens the time of fixture replacement, improves the utilization efficiency of equipment, reduces the failure rate, makes the fixture size replacement operation more convenient, simpler and more time-saving; moreover, the fixture is simple to manufacture and is completed. This is lower.

【技术实现步骤摘要】
一种芯片中心定位夹具
本专利技术属于定位装置领域，具体涉及一种能够适用多种直径尺寸芯片的中心定位夹具。
技术介绍
将光刻胶均匀的涂覆在高速旋转的芯片表面上即为匀胶过程；然而在匀胶一系列的操作过程中，其中一步非常关键，就是在芯片随电机7高速旋转之前对其进行中心定位，从而以保障芯片在高速旋转时不会因离心力而脱离真空吸附的承片台4。中心定位夹具工装是实现芯片在设备上中心位置准确定位的装置，芯片位置的准确性取决于设备工装对准位的调整。如图7所示，为传统的中心定位夹具工装的组合图，支撑架1用来支撑芯片3，钳位板2用于定位芯片3的位置。然而，芯片的产品种类和规格繁多，传统的中心定位夹具存在以下问题：如图8至图11所示，支撑架1与钳位板2的技术规格与芯片一一对应，不同直径大小的芯片3所对应的支撑架1的长度不同；不同直径大小的芯片3所对应的钳位板2的整体长度也不同；而产线的芯片3规格有很多种，因此不同直径大小的芯片3需要配套不同的支撑架1与钳位板2，那么在对不同的芯片3进行匀胶过程中，需要频换的更换不同的定位夹具工装；而工装更换过程复杂，且需要时间较长。如图12所示，在更换过程中，需要拆卸两个夹具组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片中心定位夹具，其特征在于，包括置于芯片底部用于支撑芯片的支撑架和位于支撑架上方用于卡固芯片外缘的钳位板，其中，支撑架，包括基础支架和调节头，所述调节头设置在基础支架的一侧且能够相对基础支架水平活动，改变基础支架的支撑芯片的直径范围；钳位板，包括基础板和组合板，所述组合板能够拆卸式的固定在基础板的一端用于改变基础板的卡固半径。

【技术特征摘要】
1.一种芯片中心定位夹具，其特征在于，包括置于芯片底部用于支撑芯片的支撑架和位于支撑架上方用于卡固芯片外缘的钳位板，其中，支撑架，包括基础支架和调节头，所述调节头设置在基础支架的一侧且能够相对基础支架水平活动，改变基础支架的支撑芯片的直径范围；钳位板，包括基础板和组合板，所述组合板能够拆卸式的固定在基础板的一端用于改变基础板的卡固半径。2.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具，其特征在于，所述调节头的底部设有滑槽，所述调节头上设有多个螺钉孔；所述基础支架的一侧插入滑槽内并与基础支架上的任一螺钉孔通过螺钉固定。3.根据权利要求2所述的芯片中心定位夹具，其特征在于，所述螺钉孔为沉孔，所述多个螺钉孔之间相通。4.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具，其特征在于，所述调节头铰接在所述基础支架的一侧并能相对基础支架水平转动。5.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘月雷，田水宝，尤新勇，
申请(专利权)人：株洲中车时代电气股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43