金属源剩余量的检测装置及检测方法、蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术是关于一种金属源剩余量的检测装置及检测方法、蒸镀设备，涉及检测设备领域。主要采用的技术方案为：金属源剩余量的检测装置，其包括：超声波发生器，超声波发生器设置在蒸镀坩埚的外壁下侧或蒸镀坩埚的底部，超声波发生器用于产生超声波；声波接收器，声波接收器设置在蒸镀坩埚的外壁上侧，声波接收器用于接收超声波发生器产生的超声波；控制器，控制器用于根据声波接收器接收的超声波的波形，以及预设的蒸镀坩埚中的金属源剩余量与超声波的波形的对应关系，确定当前蒸镀坩埚中金属源的剩余量。所述金属源剩余量的检测装置，能够在蒸镀生产的过程中准确的判断蒸镀坩埚中金属源的剩余量，有效指导生产和用于生产设备的调试。

【技术实现步骤摘要】
金属源剩余量的检测装置及检测方法、蒸镀设备
本专利技术涉及检测设备领域，特别是涉及一种金属源剩余量的检测装置及检测方法、蒸镀设备。
技术介绍
铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等显著特点，成为太阳能电池研发的重点。铜铟镓硒太阳能电池在生产和试制的过程中，需要使用蒸镀的手段在基板上制作功能膜层，具体的是在坩埚中放入金属源填料，然后通过加热的方式使金属源填料蒸发，然后沉积在基板上形成功能膜层。但是无论在试制还是规模化生产，在生产过程中坩埚中剩余的金属源填料的量，均是根据技术人员的经验进行判断，无法得到准确的剩余量，误差较大，无法准确的指导生产以及调试。所以上述技术问题急需解决。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种具有全新的金属源剩余量的检测装置及检测方法、蒸镀设备，使其能够检测蒸镀坩埚中金属源的剩余量，进而能够准确的指导生产以及指导调试工作。本专利技术提供的一种金属源剩余量的检测装置，其包括：超声波发生器，所述超声波发生器设置在蒸镀坩埚的外壁下侧或所述蒸镀坩埚的底部，所述超声波发生器用于产生超声波；声波接收器，所述声波接收器设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属源剩余量的检测装置，其特征在于，所述金属源剩余量的检测装置包括：超声波发生器，所述超声波发生器设置在蒸镀坩埚的外壁下侧或所述蒸镀坩埚的底部，所述超声波发生器用于产生超声波；声波接收器，所述声波接收器设置在所述蒸镀坩埚的外壁上侧，所述声波接收器用于接收所述超声波发生器产生的超声波；控制器，所述控制器用于根据所述声波接收器接收的超声波的波形，以及预设的所述蒸镀坩埚中的金属源剩余量与超声波的波形的对应关系，确定当前所述蒸镀坩埚中金属源的剩余量。

【技术特征摘要】
1.一种金属源剩余量的检测装置，其特征在于，所述金属源剩余量的检测装置包括：超声波发生器，所述超声波发生器设置在蒸镀坩埚的外壁下侧或所述蒸镀坩埚的底部，所述超声波发生器用于产生超声波；声波接收器，所述声波接收器设置在所述蒸镀坩埚的外壁上侧，所述声波接收器用于接收所述超声波发生器产生的超声波；控制器，所述控制器用于根据所述声波接收器接收的超声波的波形，以及预设的所述蒸镀坩埚中的金属源剩余量与超声波的波形的对应关系，确定当前所述蒸镀坩埚中金属源的剩余量。2.根据权利要求1中所述的金属源剩余量的检测装置，其特征在于，所述金属源剩余量的检测装置还包括：示波分析器，所述示波分析器设置在所述声波接收器和所述控制器之间，所述示波分析器用于显示所述声波接收器接收的超声波的波形，并将所述超声波的波形发送给所述控制器。3.根据权利要求1中所述的金属源剩余量的检测装置，其特征在于，所述超声波发生器包括声波释放部件，所述声波释放部件设置在所述蒸镀坩埚外壁，且位于所述蒸镀坩埚深度的0-15％范围内；所述声波接收器包括声波接收端，所述声波接收端设置在所述蒸镀坩埚外壁，且位于所述蒸镀坩埚深度的70-85％的范围内；其中，所述蒸镀坩埚的内部底表面至顶部开口处为深度的0-100％。4.根据权利要求3中所述的金属源剩的余量检测装置，其特征在于，所述声波释放部件设置在所述蒸镀坩埚的底部，且位于所述底部中心位置的外壁，所述声波接收端设置在靠近所述蒸镀坩埚顶部的外壁一周的任一位置；或者所述声波释放部件设置在所述蒸镀坩埚的第一侧外...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐义，岳志远，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11