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本发明是关于一种金属源剩余量的检测装置及检测方法、蒸镀设备，涉及检测设备领域。主要采用的技术方案为：金属源剩余量的检测装置，其包括：超声波发生器，超声波发生器设置在蒸镀坩埚的外壁下侧或蒸镀坩埚的底部，超声波发生器用于产生超声波；声波接收器，...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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