尾气处理装置及MO源精馏提纯系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及尾气处理技术领域，公开了一种尾气处理装置及MO源精馏提纯系统。所述尾气处理装置包括：用于对尾气进行冷却以使所述尾气液化的第一缓冲罐(1)以及与所述第一缓冲罐连接的用于接收并吸附从所述第一缓冲罐(1)出来的尾气的密封吸附装置(3)，所述第一缓冲罐(1)与所述密封吸附装置(3)之间的连通通路上设置有用于容纳惰性气体的第二缓冲罐(4)。本实用新型专利技术装置的成本更低，密封性更高，极大的提高了尾气处理过程中的安全性，能够有效避免空气进入发生危险，彻底解决了传统手套箱维护费用高、密封性不好所带来的安全及使用不便的问题。

Tail Gas Processing Unit and MO Source Distillation Purification System

The utility model relates to the technical field of tail gas treatment, and discloses a tail gas treatment device and a MO source distillation and purification system. The tail gas treatment device comprises a first buffer tank (1) for cooling the tail gas to liquefy the tail gas and a sealed adsorption device (3) connected with the first buffer tank for receiving and adsorbing the tail gas from the first buffer tank (1), and a communication path between the first buffer tank (1) and the sealed adsorption device (3) for containing inert gas. Second buffer tank (4). The utility model has lower cost and higher sealing, greatly improves the safety in the process of tail gas treatment, effectively avoids the danger of air entering, and thoroughly solves the problems of safety and inconvenience caused by the high maintenance cost and poor sealing of the traditional glove box.

【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置及MO源精馏提纯系统
本技术涉及尾气处理
，具体地涉及一种尾气处理装置及MO源精馏提纯系统。
技术介绍
高纯金属有机化合物(MO源)，是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等，是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。MO源是一种具有非常活泼的化学性质对空气和水极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。因此，MO源的精馏提纯需在惰性气体环境中进行，现有技术中MO源精馏提纯过程中尾气处理方式是将含有MO源产品的尾气通过缓冲罐、手套箱和液体石蜡油的密封装置，以达到回收MO源产品、吸收处理MO源产品的残余尾气、以及防止尾气排放到空气中的目的。其中，手套箱的主要作用是过滤活性杂质，调节尾气处理管路压力平衡和为MO源提供安全的惰性气体环境。然而在现有的尾气处理过程中，使用手套箱仍然存在很多问题，主要表现在：1、手套箱的维护费用高。由于MO源产品的尾气主要是蒸气压高、沸点较低的有机溶剂，容易对手套箱内部的氧气传感器、水分传感器、风机、吸收装置(内部是在生材料，主要起到吸收水分、氧气的作用)和手套等部分造成损坏，因此每年要花费大量费用对手套箱进行维护和部件更换；2、手套箱密封性不是很好，本身不是绝对的密封，会导致少量空气通过手套箱进入并与MO源产品反应形成氧化物，容易堵塞手套箱内部的测压孔，造成实际压力与显示压力存在偏差而损坏。3、手套箱内的MO源尾气需要通过抽真空装置被抽入石蜡油密封吸附装置进行隔绝空气处理，然而在抽取过程中容易造成抽真空装置的排空管堵塞。因此，需要提供一种能够有效解决上述MO源尾气处理问题的尾气处理装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术存在的MO源尾气处理过程中维护成本高、密封性不好、存在安全隐患的问题，提供了一种尾气处理装置，该装置成本更低，密封性更高，极大的提高了尾气处理过程中的安全性，能够有效避免空气进入发生危险。为了实现上述目的，本技术一方面提供一种尾气处理装置，包括：用于对尾气进行冷却以使所述尾气液化的第一缓冲罐以及与所述第一缓冲罐连接的用于接收并吸附从所述第一缓冲罐出来的尾气的密封吸附装置，所述第一缓冲罐与所述密封吸附装置之间的连通通路上设置有用于容纳惰性气体的第二缓冲罐。优选地，所述第一缓冲罐设置有串联的两个或多个。优选地，所述第一缓冲罐与所述密封吸附装置之间连接有第一管路，所述第二缓冲罐通过第二管路连接至所述第一管路上，其中，所述第二管路上设置有第二阀门，所述第二管路与所述第一管路的连接点至所述密封吸附装置之间的管路部分上设置有所述第一阀门。优选地，所述第二管路与所述第一管路的连接点至所述第一缓冲罐之间的管路部分上设有压力传感装置，当所述压力传感装置检测到所述管路内压力大于大气压力时，所述第一阀门处于打开状态，所述第二阀门处于关闭状态，当所述压力传感装置检测到所述管路内压力小于大气压力时，所述第一阀门处于关闭状态，所述第二阀门处于打开状态。优选地，所述尾气处理装置包括控制单元，所述控制单元分别与所述压力传感装置、所述第一阀门和所述第二阀门相连。优选地，所述密封吸附装置上设有用于维持装置压力平衡的排气管道，所述排气管道上设有排气阀。优选地，所述第二缓冲罐上设有用于引入惰性气体的第一进气管道，所述第二缓冲罐上设置有压力传感器，且所述第一进气管道上设置有根据所述压力传感器检测到的压力开关的第三阀门。优选地，所述密封吸附装置为内部具有石蜡油的石蜡油密封吸附装置。优选地，所述第一缓冲罐设置在盛放有液氮的冷却装置中。本技术第二方面提供一种MO源精馏提纯系统，包括以上任意所述的尾气处理装置。通过上述技术方案，本技术通过第二缓冲罐替代了现有的手套箱装置，为尾气处理装置提供安全的惰性气体环境同时调节装置管路内压力平衡，本技术装置的成本更低，密封性更高，极大的提高了尾气处理过程中的安全性，能够有效避免空气进入发生危险，彻底解决了传统手套箱维护费用高、密封性不好所带来的安全及使用不便的问题。附图说明图1是本技术一种实施方式的MO源尾气处理装置的结构示意图。附图标记说明1—第一缓冲罐、2—第一管路、3—密封吸附装置、4—第二缓冲罐、5—压力传感装置、6—第一阀门、7—第二阀门、8—第三阀门、9—压力传感器、10—排气阀、11—第二管路、12—冷凝器、13—控制单元。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。结合图1，根据本技术的一个方面，提供一种尾气处理装置，包括：用于对尾气进行冷却以使所述尾气液化的第一缓冲罐1以及与所述第一缓冲罐连接的用于接收并吸附从所述第一缓冲罐1出来的尾气的密封吸附装置3，所述第一缓冲罐1与所述密封吸附装置3之间的连通通路上设置有用于容纳惰性气体的第二缓冲罐4。本技术主要用于对产线尾气直接进行处理，举例来说，可以对MO源的精馏提纯产线的尾气进行回收处理，使用时，将精馏提纯产线尾气直接通入本技术的所述第一缓冲罐1内，通过所述第一缓冲罐1对尾气进行冷却以使所述尾气液化，未被完全冷却回收的残留尾气则进入到所述密封吸附装置3作密封吸附处理，以防止尾气直接排放到空气中发生自燃等危险情况。同时由于MO源尾气直接与空气接触会发生危险，因此尾气处理过程中还需要通过第二缓冲罐4提供惰性气体环境，并及时调节所述第一缓冲罐1内压力平衡，保证尾气处理顺利进行，提高处理过程的安全性。通过上述技术方案，本技术通过第二缓冲罐替代了现有的手套箱装置，为尾气处理装置提供安全的惰性气体环境同时能够有效调节装置管路内压力平衡。通过这一替换，使得本技术装置的成本更低，密封性更高，极大的提高了尾气处理过程中的安全性，能够有效避免空气进入发生危险，彻底解决了传统手套箱维护费用高、密封性不好所带来的安全及使用不便的问题。进一步的，为提高冷却回收效率，所述第一缓冲罐1设置有串联的两个或多个，以便尾气能够在多个第一缓冲罐1内不断冷却回收，实现最大的回收效率，极大程度上减少进入密封吸附装置3的残留尾气。根据上述技术方案可知，本技术中所述第一缓冲罐1、所述第二缓冲罐4和所述述密封吸附装置3之间的连接方式可以有多种，作为其中的一种连接方式，所述第一缓冲罐1与所述密封吸附装置3之间连接有第一管路2，所述第二缓冲罐4通过第二管路11连接至所述第一管路2上，其中，所述第二管路11上设置有第二阀门7，所述第二管路11与所述第一管路2的连接点至所述密封吸附装置3之间的管路部分上设置有所述第一阀门6。其中，所述第一阀门6和所述第二阀门7可以采用电磁气动阀，所述第一阀门6用于控制所述第一缓冲罐1与所述密封吸附装置3连通或断开，所述第二阀门7用于控制所述第一缓冲罐1与所述第二缓冲罐4连通或断开。为更方便控制所述第一阀门6与所述第二阀门7的开关，在所述第二管路11与所述第一管路2的连接点至所述第一缓冲罐1之间的管路部分上设有压力传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：用于对尾气进行冷却以使所述尾气液化的第一缓冲罐(1)以及与所述第一缓冲罐连接的用于接收并吸附从所述第一缓冲罐(1)出来的尾气的密封吸附装置(3)，所述第一缓冲罐(1)与所述密封吸附装置(3)之间的连通通路上设置有用于容纳惰性气体的第二缓冲罐(4)。

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：用于对尾气进行冷却以使所述尾气液化的第一缓冲罐(1)以及与所述第一缓冲罐连接的用于接收并吸附从所述第一缓冲罐(1)出来的尾气的密封吸附装置(3)，所述第一缓冲罐(1)与所述密封吸附装置(3)之间的连通通路上设置有用于容纳惰性气体的第二缓冲罐(4)。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第一缓冲罐(1)设置有串联的两个或多个。3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第一缓冲罐(1)与所述密封吸附装置(3)之间连接有第一管路(2)，所述第二缓冲罐(4)通过第二管路(11)连接至所述第一管路(2)上，其中，所述第二管路(11)上设置有第二阀门(7)，所述第二管路(11)与所述第一管路(2)的连接点至所述密封吸附装置(3)之间的管路部分上设置有所述第一阀门(6)。4.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第二管路(11)与所述第一管路(2)的连接点至所述第一缓冲罐(1)之间的管路部分上设有压力传感装置(5)，当所述压力传感装置(5)检测到所述管路内压力大于大气压力时，所述第一阀门(6)处于打开状态，所述第二阀门(7)处于关闭状态...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟，乔双印，蓝承发，黄明伟，徐林胜，
申请(专利权)人：江西佳因光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36