一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺制造方法及图纸

本发明专利技术涉及大气污染控制和环境保护的技术领域，特别是涉及一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺，本发明专利技术是一种三级分步处理的洗涤吸收和吸附的装置和工艺方法，针对煤化工、石油化工以及新材料行业生产系统排出尾气，采用添加药剂吸收、碱液洗涤、填料分离、吸附等综合性工艺装置及工艺方法，达到尾气处理的排放标准。本发明专利技术对药剂的还原洗涤塔、碱洗塔及吸附塔等整个系统工艺参数和设备布置进行优化，与当前工艺处理不彻底、尾气处理能耗高、处理流程单一相比，具有安全型、环保型和节能型等特点，减少了设备投资，节约了电耗等，对NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气排放能有效保护环境和大气污染。

A NOX, HF, HCl, caustic soda mist and inert tail gas absorption and treatment device and process

The invention relates to the technical field of air pollution control and environmental protection, in particular to a NO x, HF, HCl, caustic soda mist and inert tail gas absorption treatment device and process. The invention relates to a three-stage step washing, absorption and adsorption device and process method. The tail gas is discharged from the production systems of coal chemical industry, petrochemical industry and new material industry, and absorbed by adding reagents. The comprehensive process equipments and methods, such as alkali washing, packing separation and adsorption, have reached the discharge standard of tail gas treatment. The invention optimizes the process parameters and equipment layout of the whole system, such as the reduction scrubbing tower, alkali scrubbing tower and adsorption tower of reagents. Compared with the current process treatment is not thorough, the energy consumption of tail gas treatment is high and the treatment process is single, it has the characteristics of safety, environmental protection and energy saving, reduces equipment investment, saves power consumption, etc. It discharges NO x, HF, HCl, caustic soda mist and inert tail gas. It can effectively protect the environment and air pollution.

【技术实现步骤摘要】
一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺
本专利技术涉及大气污染物VOC的控制和环境保护的
，特别是涉及一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺。
技术介绍
众所周知，多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，当前多晶及单晶硅生产系统中排出的NOx、HF、HCl、烧碱雾及其他VOC尾气气体，该类气体为对人体有害的有机物气体，成分复杂，具有腐蚀性，对大气的污染严重。该系统尾气组分复杂，且尾气的排放状态具有不稳定性、爆发性、突发性、腐蚀性、尾气的浓度变化大等特点，目前市场上通常采用工艺装置及方法，都比较单一，无法达到处理的目的，例如纯净水吸收工艺方法，采用纯净水进行洗涤吸收，能吸收部分氟化氢、氯化氢、但氮氧化物、烧碱物无法去除；吸附工艺，采用活性碳及吸附剂进行吸附处理，吸收一些氟化氢、氯化氢、烧碱物，氮氧化物和惰性气体不能去除；因此研究出一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺是迫在眉睫的。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种的具有安全型、环保型和节能型的特点，能有效控制NOx、HF、HCl、烧碱雾达标排放和环境保护的NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺。本专利技术的一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理工艺方法，包括以下步骤：(1)药剂配置：将药剂与水经过加药配置罐配置成20％的药剂，用PLC进行控制药剂的进料及浓度监测；(2)氮氧化物吸收：经过加药进料泵把药剂进到还原洗涤塔，与来自系统排放的尾气进行洗涤吸收，吸收尾气的氮氧化物；(3)酸性气体吸收：还原洗涤塔顶部尾气进入碱洗塔，采用碱性水进行循环吸收洗涤氯化氢和氟化氢等气体组分；(4)去除酸性气体：碱洗塔尾气部分进入吸附塔，吸附塔对少量氯化氢和氟化氢气体再次吸附处理；(5)尾气排放：经过三级活性碳吸附的尾气由变频风机抽到排气筒，排气筒设计高度33米以上进行高空达标排放，排气筒底部设置收集罐。本专利技术的一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置，包括以下单元：加药单元：加药配置罐与加药进料泵连接，加药进料泵通过药剂输送管线与还原洗涤塔进行连接；吸收单元：系统尾气排出的尾气与还原洗涤塔连接，通过排风风管送到还原洗涤塔进口，还原洗涤塔底部排出与还原洗涤塔循环泵连接，还原洗涤塔循环泵的排出液与废水收集罐连接；碱洗单元：还原洗涤塔顶部排出的尾气与碱洗塔进行连接，碱洗塔底部循环液与碱洗塔循环泵连接，碱洗塔顶部与碱液管道连接，碱洗塔顶部排出的尾气通过管道与吸附塔连接；吸附单元：吸附塔底部吸附液与吸附塔循环泵连接；尾气排放单元：吸附塔排出的气体与变频风机连接，变频风机与排气筒连接，排气筒与底部收集罐法兰连接。本专利技术的一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置，还包括吸收系统和喷淋系统，吸收系统包括吸收塔体、塔支架、循环泵、补水系统、通风管道等部件；喷淋系统：包括液箱、循环泵、喷淋管路、阀门、除雾系统，药剂配置罐一体机、变频风机控制系统等。与现有技术相比本专利技术的有益效果为：将配置好的药剂经过加药进料泵喷射到还原洗涤塔中，还原洗涤塔用还原洗涤塔循环泵将药剂从还原洗涤塔塔底部打入还原洗涤塔的顶部，经过喷淋液相分散型装置被均匀的洒在填料层顶部，并沿着填料层自上而下呈膜状流动，而废气则自还原洗涤塔下部进入，穿过填料层再经过除雾装置从还原洗涤塔塔顶排出，在此过程中，废气被迫多次改变方向和速度与吸收液不断碰撞和接触，使废气与吸收液在填料层中有充分接触反应时间，令废气中有害成分能够被吸收液充分吸收、还原和净化，净化后的气体经还原洗涤塔内除雾系统进入碱洗塔做进一步的去除氯化氢气体、氟化氢气体及碱性气体等，碱洗塔采用配置碱液NaoH吸收液进行循环洗涤的工艺去除一些氟化氢和氯化氢气体，净化后的气体经碱洗塔内除雾系统进入吸附塔对未完全去除的微量气体做进一步的去除，吸附塔采用活性炭吸附填料对微量的一些氮氧化物、氟化物、氯化氢等气体进行吸附，吸附塔顶部设置喷淋水进行洗涤气体，净化后的气体经塔内除雾后可达标排放，通过变频风机送到排气筒，进行高空排放，本专利技术采用了尾气处理一体化的装置，减少了尾气处理流程，与当前尾气处理不彻底，尾气处理能耗高、尾气处理单一流程相比，具有安全型、环保型和节能型的特点，能有效控制NOx、HF、HCl、烧碱雾达标排放和环境保护，同时存在的混合气体经过分布阶级梯式吸收、中和、吸附等综合手段处理工艺，工艺流程简单、一体化程度高，对吸附塔的喷淋装置，专利技术了双层分布喷淋及液相分散型分布管，气液比效率高。附图说明：图1是本专利技术的一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置的示意图；附图标记：1、还原洗涤塔；2、碱洗塔；3、吸附塔；4、变频风机；5、排气筒及收集罐；6、排气风管；7、加药配置罐；8、废水收集罐；9、还原洗涤塔循环泵；10、碱洗塔循环泵；11、吸附塔循环泵；12、加药进料泵；13、废水排水泵。具体实施方式下面结合实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例仅用于说明本专利技术，但该实例不限于本专利技术的范围。实施例1：将药剂与水经过配置罐配置成20％的药剂，用PLC进行控制药剂的进料及浓度监测，将配置好的药剂与来自风管的尾气进行混合进入还原洗涤塔，还原洗涤塔对尾气内的氮氧化物进行洗涤吸收处理，还原洗涤塔顶部出来的尾气进入碱洗塔再次进行吸收处理，对吸收气体中未处理的气体氯化氢、氟化氢等气体组分进行中和反应吸收洗涤，碱洗塔底部排出的液部分进行循环洗涤，部分冷却后回到还原洗涤塔做为补充洗涤液，充分利用废碱液的洗涤，减少药剂的使用量，碱洗塔顶部排出的尾气进入吸附塔，吸附塔对微量的碱性气体、氯化氢、氟化氢进行吸附处理，吸附塔顶部采用喷淋水进行喷淋吸收，吸附塔采用吸附填料对微量的未处理的气体组分进行处理，还原洗涤塔的底部排出的药剂循环液排至吸附塔做补充液进行洗涤，用吸附塔循环泵做洗涤，洗涤出来的废水排至废水收集罐，尾气经过吸附塔进行洗涤，吸附的尾气经过变频风机抽到排气筒，排气筒设计高度33米以上进行高空达标排放，排气筒设置积液管，底部设置收集罐，收集罐的废水通过水封排到废水收集罐中。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)药剂配置：将药剂与水经过加药配置罐配置成20％的药剂，用PLC进行控制药剂的进料及浓度监测；(2)氮氧化物吸收：经过加药进料泵把药剂进到还原洗涤塔，与来自系统排放的尾气进行洗涤吸收，吸收尾气的氮氧化物；(3)酸性气体吸收：还原洗涤塔顶部尾气进入碱洗塔，采用碱性水进行循环吸收洗涤氯化氢和氟化氢等气体组分；(4)酸性气体吸附、洗涤分离：碱洗塔尾气部分进入吸附塔，吸附塔对少量氯化氢和氟化氢气体再次吸附处理；(5)尾气排放：经过三级特种吸附剂吸附的尾气由变频风机抽到排气筒，排气筒设计高度33米以上进行高空达标排放，排气筒底部设置收集罐。

【技术特征摘要】
1.一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)药剂配置：将药剂与水经过加药配置罐配置成20％的药剂，用PLC进行控制药剂的进料及浓度监测；(2)氮氧化物吸收：经过加药进料泵把药剂进到还原洗涤塔，与来自系统排放的尾气进行洗涤吸收，吸收尾气的氮氧化物；(3)酸性气体吸收：还原洗涤塔顶部尾气进入碱洗塔，采用碱性水进行循环吸收洗涤氯化氢和氟化氢等气体组分；(4)酸性气体吸附、洗涤分离：碱洗塔尾气部分进入吸附塔，吸附塔对少量氯化氢和氟化氢气体再次吸附处理；(5)尾气排放：经过三级特种吸附剂吸附的尾气由变频风机抽到排气筒，排气筒设计高度33米以上进行高空达标排放，排气筒底部设置收集罐。2.一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置，其特征在于，包括以下单元：加药单元：加药配置罐与加药进料泵连接，加药进料泵通...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦昌工，祝晓芸，曹倩，黄金成，
申请(专利权)人：南京蓝胜环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32