一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置制造方法及图纸

技术编号:39071736 阅读:18 留言:0更新日期:2023-10-12 20:05
本实用新型专利技术公开了一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,涉及三氯氢硅合成尾气技术领域,包括箱体、箱门、风扇、喷头、电机、水管以及反应箱,所述箱体侧部连接箱门,所述箱体内部顶面中部连接风扇,所述风扇四周设有喷头,所述箱体顶面中部设有电机,所述电机侧部设有水管,所述箱体内部底面连接反应箱,所述反应箱内部装有尾气吸收液,所述反应箱两侧顶部以及底部固定连接滑条,所述反应箱前侧中部固定连接拉槽,所述箱体两侧设有滑槽,所述滑条与滑槽之间滑动连接,所述反应箱与箱体之间滑动连接,本实用新型专利技术所提供的一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,在反应完成后,能够便捷快速的将尾气反应液取出,提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置


[0001]本技术涉及三氯氢硅合成尾气处理
,具体为一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置。

技术介绍

[0002]三氯氢硅(SiHCl3)是一种应用广泛的有机硅单体,是制造太阳能级与电子级多晶硅以及制造半导体级单晶硅的原料,同时也是多种有机硅合成的基本单体。随着科学技术的进步,精细化工、新能源、光电通讯等科技领域迅猛发展,对硅以及各种含硅产品的需求量越来越大,尤其是以三氯氢硅为原料或中间产物制得的产品越来越受到当今硅产业的青睐。
[0003]经检索,中国专利授权号为CN102100998B的专利公开了一种三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置,涉及尾气
,包括:使用氯硅烷吸收制备三氯氢硅产生的合成尾气得到氯硅烷吸收液,所述合成尾气包括HCL、SiHCl3、SiCl4、H2、硅粉尘和高沸物粉尘;加热所述氯硅烷吸收液到90℃~150℃;分别回收加热所述氯硅烷吸收液得到的气体混合物和固体混合物。现有技术虽然节约了原料,降低了生产成本,但现有技术在尾气处理完成后,不便将反应完成后的废气容易取出,进而降低了装置的实用性。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,解决了
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,包括箱体、箱门、风扇、喷头、电机、水管以及反应箱,所述箱体侧部连接箱门,所述箱体内部顶面中部连接风扇,所述风扇四周设有喷头,所述箱体顶面中部设有电机,所述电机侧部设有水管,所述箱体内部底面连接反应箱,所述反应箱内部装有尾气吸收液,所述反应箱两侧顶部以及底部固定连接滑条,所述反应箱前侧中部固定连接拉槽,所述箱体两侧设有滑槽,所述滑条与滑槽之间滑动连接。
[0006]优选的,所述箱体侧部设有连接管。
[0007]优选的,所述水管包括U形管、直管以及L形管,所述U形管、直管以及L形管之间呈半包围形状。
[0008]优选的,所述L形管底部连接水泵,所述水泵安装在水箱内部。
[0009]优选的,所述箱体顶板中部设有第一连接孔,所述第一连接孔四周设有第二连接孔,所述箱体左侧板中部设有第三连接孔。
[0010]优选的,所述箱门内部镶嵌玻璃观察窗,所述玻璃观察窗占箱门总体的四分之三。
[0011]本技术提供了一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置。具备以下有益效果:
[0012]该一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,通过在处理箱内部滑动连接反应箱,能够方便快捷的将尾气反应容易取出,提高了装置的实用性。
附图说明
[0013]图1为本技术整体结构示意图;
[0014]图2为本技术整体结构示意图;
[0015]图3为本技术反应箱安装结构示意图;
[0016]图4为本技术风扇以及喷头结构示意图。
[0017]图中,1、箱体;101、滑槽;2、箱门;3、风扇;4、喷头;5、电机;6、水管;601、U形管;602、直管;603、L形管;7、反应箱;701、滑条;702、拉槽;8、连接管;9、水泵;10、水箱;11、第一连接孔;12、第二连接孔;13、第三连接孔;14、玻璃观察窗。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1

4,本技术实施例提供一种技术方案:一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,包括箱体1、箱门2、风扇3、喷头4、电机5、水管6以及反应箱7,所述箱体1侧部连接箱门2,所述箱体1内部顶面中部连接风扇3,所述风扇3四周设有喷头4,所述箱体1顶面中部设有电机5,所述电机5侧部设有水管6,所述箱体1内部底面连接反应箱7,所述反应箱7内部装有尾气吸收液,所述反应箱7两侧顶部以及底部固定连接滑条701,所述反应箱7前侧中部固定连接拉槽702,所述箱体1两侧设有滑槽101,所述滑条701与滑槽101之间滑动连接。其中,风扇3的设置,能够加快三氯氢硅合成尾气在箱体1内部运动,进而加快了反应速度以及提高了反应效果,喷头4的设置,能够将三氯氢硅合成尾气中固体颗粒进一步进行降低,反应箱7中尾气吸收液对尾气进行吸收,滑条701与滑槽101之间配合使用,能够实现反应箱7的便捷快速取出,进而提高了装置的实用性。
[0020]所述箱体1侧部设有连接管8,连接管8用以导入三氯氢硅合成尾气。
[0021]所述水管6包括U形管601、直管602以及L形管603,所述U形管、直管以及L形管之间呈半包围形状,水管6的设置,为喷头4顺利出水提供了保障。
[0022]所述L形管底部连接水泵,所述水泵9安装在水箱10内部,上述零部件之间配合使用,能够将水箱10中水流抽取到水管6中,进而流向喷头4。
[0023]所述箱体1顶板中部设有第一连接孔11,所述第一连接孔11四周设有第二连接孔12,所述箱体1的左侧板中部设有第三连接孔13,第一连接孔11的设置,为电机5与风扇3之间连接提供了保障,第二连接孔12的设置,为水管6与喷头4之间进行连接提供了保障,第三连接孔13的设置,为连接管8的安装提供了保障。
[0024]所述箱门2内部镶嵌玻璃观察窗14,所述玻璃观察窗14占箱门2总体的四分之三,玻璃观察窗14的设置,便于工作人员对箱体1内部反应情况进行观察,进而有助于工作人员及时进行相应的调整。
[0025]工作原理:使用时,通过连接管8将三氯氢硅合成尾气导入箱体1内部,打开水泵9,水泵9通过从水箱10中抽水,水流通过L形管603流入直管602,随后通过直管602流向两侧U形管601中,随后从U形管601流入到喷头4中,最后通过喷头4喷洒进箱体1中,与箱体1内部
三氯氢硅合成尾气进行反应,随后打开电机5,电机5带动风扇3转动,在风扇3的转动下,将三氯氢硅合成尾气进行吹动,进而能够加快三氯氢硅合成尾气运动速率,在三氯氢硅合成尾气在反应箱7中处理完成后,打开箱门2,将反应箱7从箱体1内部拉出,可将反应溶液取出。
[0026]本技术的1、箱体;101、滑槽;2、箱门;3、风扇;4、喷头;5、电机;6、水管;601、U形管;602、直管;603、L形管;7、反应箱;701、滑条;702、拉槽;8、连接管;9、水泵;10、水箱;11、第一连接孔;12、第二连接孔;13、第三连接孔;14、玻璃观察窗,部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0027]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,包括箱体(1)、箱门(2)、风扇(3)、喷头(4)、电机(5)、水管(6)以及反应箱(7),所述箱体(1)侧部连接箱门(2),所述箱体(1)内部顶面中部连接风扇(3),所述风扇(3)四周设有喷头(4),所述箱体(1)顶面中部设有电机(5),所述电机(5)侧部设有水管(6),所述箱体(1)内部底面连接反应箱(7),所述反应箱(7)内部装有尾气吸收液,其特征在于:所述反应箱(7)两侧顶部以及底部固定连接滑条(701),所述反应箱(7)前侧中部固定连接拉槽(702),所述箱体(1)两侧设有滑槽(101),所述滑条(701)与滑槽(101)之间滑动连接。2.根据权利要求1所述一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,其特征在于:所述箱体(1)侧部设有连接管(8)。3.根据权利要求1所述一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:韦昌工祝晓芸曹倩黄金成
申请(专利权)人:南京蓝胜环保科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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