一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置，涉及三氯氢硅合成尾气技术领域，包括箱体、箱门、风扇、喷头、电机、水管以及反应箱，所述箱体侧部连接箱门，所述箱体内部顶面中部连接风扇，所述风扇四周设有喷头，所述箱体顶面中部设有电机，所述电机侧部设有水管，所述箱体内部底面连接反应箱，所述反应箱内部装有尾气吸收液，所述反应箱两侧顶部以及底部固定连接滑条，所述反应箱前侧中部固定连接拉槽，所述箱体两侧设有滑槽，所述滑条与滑槽之间滑动连接，所述反应箱与箱体之间滑动连接，本实用新型专利技术所提供的一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置，在反应完成后，能够便捷快速的将尾气反应液取出，提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置


[0001]本技术涉及三氯氢硅合成尾气处理
，具体为一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置。

技术介绍

[0002]三氯氢硅(SiHCl3)是一种应用广泛的有机硅单体，是制造太阳能级与电子级多晶硅以及制造半导体级单晶硅的原料，同时也是多种有机硅合成的基本单体。随着科学技术的进步，精细化工、新能源、光电通讯等科技领域迅猛发展，对硅以及各种含硅产品的需求量越来越大，尤其是以三氯氢硅为原料或中间产物制得的产品越来越受到当今硅产业的青睐。
[0003]经检索，中国专利授权号为CN102100998B的专利公开了一种三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置，涉及尾气
，包括：使用氯硅烷吸收制备三氯氢硅产生的合成尾气得到氯硅烷吸收液，所述合成尾气包括HCL、SiHCl3、SiCl4、H2、硅粉尘和高沸物粉尘；加热所述氯硅烷吸收液到90℃～150℃；分别回收加热所述氯硅烷吸收液得到的气体混合物和固体混合物。现有技术虽然节约了原料，降低了生产成本，但现有技术在尾气处理完成后，不便将反应完成后的废气容易取出，进而降低了装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置，包括箱体(1)、箱门(2)、风扇(3)、喷头(4)、电机(5)、水管(6)以及反应箱(7)，所述箱体(1)侧部连接箱门(2)，所述箱体(1)内部顶面中部连接风扇(3)，所述风扇(3)四周设有喷头(4)，所述箱体(1)顶面中部设有电机(5)，所述电机(5)侧部设有水管(6)，所述箱体(1)内部底面连接反应箱(7)，所述反应箱(7)内部装有尾气吸收液，其特征在于：所述反应箱(7)两侧顶部以及底部固定连接滑条(701)，所述反应箱(7)前侧中部固定连接拉槽(702)，所述箱体(1)两侧设有滑槽(101)，所述滑条(701)与滑槽(101)之间滑动连接。2.根据权利要求1所述一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置，其特征在于：所述箱体(1)侧部设有连接管(8)。3.根据权利要求1所述一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦昌工，祝晓芸，曹倩，黄金成，
申请(专利权)人：南京蓝胜环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：