下载一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置的技术资料

文档序号:39071736

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本实用新型公开了一种三氯氢硅合成尾气净化处理装置,涉及三氯氢硅合成尾气技术领域,包括箱体、箱门、风扇、喷头、电机、水管以及反应箱,所述箱体侧部连接箱门,所述箱体内部顶面中部连接风扇,所述风扇四周设有喷头,所述箱体顶面中部设有电机,所述电机侧...
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