用于视觉对准的参考对准图案确定方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于确定在视觉对准中使用的参考对准图案的方法，其包括：接收具有第一图案唯一性和第一图案尺寸的第一对准图案；计算使用所述第一对准图案的第一视觉对准时间；将所述第一对准图案调整到具有第二图案唯一性和第二图案尺寸的第二对准图案，其中，所述第二图案唯一性不同于所述第一图案唯一性和/或所述第二图案尺寸不同于所述第一图案尺寸；计算使用所述第二对准图案的第二视觉对准时间；比较所述第一视觉对准时间与所述第二视觉对准时间；并且如果所述第一视觉对准时间小于所述第二视觉对准时间，那么将所述第一对准图案确定为所述参考对准图案；否则，将所述第二对准图案确定为所述参考对准图案。

Method and Device for Determining Reference Alignment Patterns for Visual Alignment

The invention relates to a method for determining a reference alignment pattern for use in visual alignment, which includes: receiving a first alignment pattern having the uniqueness of the first pattern and the size of the first pattern; calculating the first visual alignment time using the first alignment pattern; and adjusting the first alignment pattern to a second alignment pattern having the uniqueness of the second pattern and the size of the second pattern. Patterns in which the uniqueness of the second pattern is different from the uniqueness of the first pattern and/or the size of the second pattern is different from the size of the first pattern; calculating the second visual alignment time using the second alignment pattern; comparing the first visual alignment time with the second visual alignment time; and if the first visual alignment time is less than the second vision. In the alignment time, the first alignment pattern is determined as the reference alignment pattern; otherwise, the second alignment pattern is determined as the reference alignment pattern.

【技术实现步骤摘要】
用于视觉对准的参考对准图案确定方法和装置
本专利技术涉及半导体单元对准领域，具体涉及一种用于确定在视觉对准中使用的参考对准图案的方法和装置。
技术介绍
对准操作在电子制造装备中大量使用。精密对准主要用于光刻工艺中掩模板与晶圆的对准、芯片键合时芯片与基板的对准、表面组装工艺中元器件与PCB基板的对准。此外，在半导体工业中，视觉对准是使测试探针与单元完全对准的一个必不可少的过程。每天在不同的过程中有数千个单元需要进行视觉对齐。这对工厂的运行效率影响极大。为了进行视觉对准，通常需要在单元上选择较为独特的区域作为参考图案来定位对准位置。然后将每个单元与参考图案进行比较。如果发现单元中的一个区域可以与参考图案匹配，则对准完成。以前人们只是凭经验来选择较为独特的参考区域。这很容易降低对准的时间效率。在另一方面，为了提高参考对准标记的唯一性，现有技术还教导将参考对准标记构造成非对称(包括非轴对称和非中心对称)结构，并且要求该参考对准标记包括线条并行排列的线条阵列，该线条阵列中线条的宽度和线条之间的线缝不同，线条阵列中的线条错开排列，由此提高对准精度和对准效率。但是，这种方法的应用场景受限。专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于确定在视觉对准中使用的参考对准图案的方法(100)，其特征是，所述方法包括：接收具有第一图案唯一性和第一图案尺寸的第一对准图案(102)；计算使用所述第一对准图案的第一视觉对准时间(104)；将所述第一对准图案调整到具有第二图案唯一性和第二图案尺寸的第二对准图案(106)，其中，所述第二图案唯一性不同于所述第一图案唯一性和/或所述第二图案尺寸不同于所述第一图案尺寸；计算使用所述第二对准图案的第二视觉对准时间(108)；比较所述第一视觉对准时间与所述第二视觉对准时间(114)；并且如果所述第一视觉对准时间小于所述第二视觉对准时间，那么将所述第一对准图案确定为所述参考对准图案；否则，将...

【技术特征摘要】
1.一种用于确定在视觉对准中使用的参考对准图案的方法(100)，其特征是，所述方法包括：接收具有第一图案唯一性和第一图案尺寸的第一对准图案(102)；计算使用所述第一对准图案的第一视觉对准时间(104)；将所述第一对准图案调整到具有第二图案唯一性和第二图案尺寸的第二对准图案(106)，其中，所述第二图案唯一性不同于所述第一图案唯一性和/或所述第二图案尺寸不同于所述第一图案尺寸；计算使用所述第二对准图案的第二视觉对准时间(108)；比较所述第一视觉对准时间与所述第二视觉对准时间(114)；并且如果所述第一视觉对准时间小于所述第二视觉对准时间，那么将所述第一对准图案确定为所述参考对准图案；否则，将所述第二对准图案确定为所述参考对准图案(116)。2.如权利要求1所述的方法(100)，其特征是，所述方法还包括：将所述第二对准图案调整到具有第三图案唯一性和第三图案尺寸的第三对准图案(110)，其中，所述第三图案唯一性不同于所述第一和第二图案唯一性，和/或所述第三图案尺寸不同于所述第一和第二图案尺寸；计算使用所述第三对准图案的第三视觉对准时间(112)；比较所述第一视觉对准时间、所述第二视觉对准时间与所述第三视觉对准时间(114)；并且将所述参考对准图案确定为所述第一对准图案、所述第二对准图案和所述第三对准图案中视觉对准时间最短的那个对准图案(116)。3.如权利要求1或2所述的方法(100)，其特征是，所述视觉对准时间是通过下式计算的：其中，T为所述视觉对准时间，α为与相机参数有关并用于校正整体计算结果的因子，β为与相机参数有关并用于校正所述图案尺寸的影响的因子，U为所述图案唯一性，S为所述图案尺寸。4.如权利要求3所述的方法(100)，其特征是，α、β与相机的分辨率有关；并且所述图案唯一性与所述对准图案包含的元素和元素的复杂程度有关。5.如权利要求1或2所述的方法(100)，其特征是，所述对准图案的外型结构呈对称型结构或非对称型结构，其中，所述对准图案的对称型结构为正方形、长方形、十字形和圆形中的一种，并且其中，所述对准图案的非对称型结构包括非轴对称结构和非中心对称结构。6.一种用于确定在视觉对准中使用的参考对准图案的装置(200)，其特征是，所述装置(200)包括：接收单元(210)，用于接收具有第一图案唯一性和第一图案尺寸的第一对准图案；计算单元(220)，用于计算使用所述第一对准图案的第一视觉对准时间；以及调整单元(230)，用于将所述第一对准图案调整到具有第二图案唯一性和第二图案尺寸的第二对准图案，其中，所述第二图案唯一性不同于所述第一图案唯一性和/或所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈蕴璐，张廷梁，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，英特尔公司，
类型：发明
国别省市：四川,51