The utility model provides a lightening device, which comprises: forming a base with a horizontal surface; a left column, a left column movably arranged on the base and perpendicular to the horizontal plane; a right column, a right column movably arranged on the base and perpendicular to the horizontal plane; an adjustable spacing between the left column and the right column; an inner ring sleeve of the left bearing is arranged on the left column; and an inner ring sleeve of the right bearing is arranged on the right column. On the column; intermediate bearing, the intermediate bearing is located on the base and between the left and right columns, the axis of the intermediate bearing is parallel to the horizontal plane, the axis of the left column is parallel to the axis of the right column in the first plane, and the axis of the intermediate bearing is parallel to the first plane; the first pressure sensor which senses the pressure on the left bearing and sends out the first pressure signal; and the first pressure signal is received. An alarm device that starts or stops alarming after the number No. The lightening device according to the utility model can accurately limit different sizes of material boxes, make the material box move steadily and reduce deviation.
【技术实现步骤摘要】
一种轻减装置
本技术涉及机械制造
,特别涉及一种轻减装置。
技术介绍
生产中常需要传输上料装置进行上料,不同的上料需求对上料装置的精确度要求不同,现有的一些上料装置虽然能够满足上料要求,但是由于精确度地,影响生产加工产品的生产质量和效率,可能由于上料不当影响后续的生产过程。比如在半导体行业,半导体制造已经成为重要产业,在半导体加工过程中晶圆是重要的半导体材料,在半导体的加工生产过程中,需要将晶圆放置于晶圆料盒或晶圆料箱中,由于晶圆料盒或晶圆料箱的尺寸大小不同,现有的晶圆料盒的限位装置尺寸固定,难以同时适用于不同尺寸的晶圆料盒,在晶圆料盒向前移动的过程中,易导致料盒的位置出现偏差,使得晶圆位置出现偏差,影响晶圆的上料,晶圆的精确度要求高,如果出现位置偏差易影响后续生产工序,降低生产效率,给生产带来不便。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供一种轻减装置。为解决上述技术问题,本技术采用以下技术方案:根据本技术实施例的轻减装置,包括:底座,所述底座上形成有水平面;左立柱,所述左立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面;右立柱,所述右立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面,所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节;左轴承,所述左轴承的内圈套设在所述左立柱上;右轴承,所述右轴承的内圈套设在所述右立柱上,所述左轴承与所述右轴承的形状尺寸相同且位于相同的高度;中间轴承,所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间,所述中间轴承的轴线与所述水平面平行,所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上,所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行;所述中间轴承在竖 ...
【技术保护点】
1.一种轻减装置,其特征在于,包括:底座,所述底座上形成有水平面;左立柱,所述左立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面;右立柱,所述右立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面,所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节;左轴承,所述左轴承的内圈套设在所述左立柱上;右轴承,所述右轴承的内圈套设在所述右立柱上,所述左轴承与所述右轴承的形状尺寸相同且位于相同的高度;中间轴承,所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间,所述中间轴承的轴线与所述水平面平行,所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上,所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行;所述中间轴承在竖直方向上的高度小于所述左轴承与所述右轴承在竖直方向上的高度;第一压力传感器,所述第一压力传感器用于感测所述左轴承所受的压力并发出相应的第一压力信号;报警器,所述报警器能够接收到所述第一压力信号,所述报警器接收到所述第一压力信号后开始报警或停止报警。
【技术特征摘要】
1.一种轻减装置,其特征在于,包括:底座,所述底座上形成有水平面;左立柱,所述左立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面;右立柱,所述右立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面,所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节;左轴承,所述左轴承的内圈套设在所述左立柱上;右轴承,所述右轴承的内圈套设在所述右立柱上,所述左轴承与所述右轴承的形状尺寸相同且位于相同的高度;中间轴承,所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间,所述中间轴承的轴线与所述水平面平行,所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上,所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行;所述中间轴承在竖直方向上的高度小于所述左轴承与所述右轴承在竖直方向上的高度;第一压力传感器,所述第一压力传感器用于感测所述左轴承所受的压力并发出相应的第一压力信号;报警器,所述报警器能够接收到所述第一压力信号,所述报警器接收到所述第一压力信号后开始报警或停止报警。2.根据权利要求1所述的轻减装置,其特征在于,还包括:第二压力传感器,所述第二压力传感器用于感测所述右轴承所受的压力并发出相应的第二压力信号;所述报警器能够接收到所述第二压力信号,所述报警器接收到所述第二压力信号后开始报警或停止报警。3.根据权利要求2所述的轻减装置,其特征在于,还包括:左驱动装置,所述左驱动装置与所述左立柱相连,用于驱动所述左立柱在左右方向上移动;右驱动装置,所述右驱动装置与所述右立柱相连,用于驱动所述右立柱在左右方向上移动;控制器,所述控制器分别和所述左驱动装置与所述右驱动装置相连,所述控制器能够接收到所述第一压力信号,所述控制器接收到所述第一压力信号后控制所述左驱动装置驱动所述左立柱在左右方向上移动;所述控制器能够接收到所述第二压力信号,所述控制器接收到所述第二压力信号后控制所述右驱动装置驱动所述右立柱在左右方向上移动。4.根据权利要求3所述的轻减装置,其特征在于,还包括:比较器,所述比较器能够接收到所述第一压力信号与所述第二压力信号,所述比较器接收到所述第一压力信号与所述第二压力信号后进行比较并发出相应的压力比较信号;所述控制器能够接收到所述压力比...
【专利技术属性】
技术研发人员:仇金龙,马超,任豪杰,
申请(专利权)人:旺天凯精密机器昆山有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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