在极紫外光源中的靶轨迹量测制造技术

描述了一种用于测量靶的移动性质的方法。方法包括：形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体，剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体；沿着轨迹朝向靶空间释放当前靶，该靶空间与扩展的靶区域至少部分地重叠；当当前靶在扩展的靶区域内时，并且在先前且相邻的靶已经与靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后，确定当前靶的一个或多个移动性质；以及如果当前靶的任何所确定的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则调节被引导朝向靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。

Target Trajectory Measurement in Extreme Ultraviolet Light Source

A method for measuring the moving property of a target is described. The methods include: forming residual plasma which overlaps at least partially with the extended target area, which is formed by the interaction between the previous radiation pulse and the previous target in the target space; releasing the current target along the trajectory towards the target space, which overlaps at least partially with the extended target area; and when the current target is in the extended target area, and After the previous and adjacent targets have interacted with the previous radiation pulses in the target space, one or more moving properties of the current target are determined; and if any of the determined moving properties of the current target are beyond the acceptable range, one or more characteristics of the radiation pulses directed towards the target space are adjusted.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在极紫外光源中的靶轨迹量测相关申请的交叉引用本申请要求于2016年9月14日提交的美国申请号15/265,373的优先权权益，并且该申请通过引用整体并入本文。
所公开的主题涉及用于在激光等离子体极紫外光源中沿着靶的轨迹测量靶的各方面的改变的系统和方法。
技术介绍
极紫外(EUV)光，例如具有波长为约50nm或更小的电磁辐射(有时也被称为软x射线)，并且包括波长为约13nm的光，可以被用在光刻工艺中以在例如硅晶片的衬底中产生极小的特征。产生EUV光的方法包括但不必限于将具有元素(例如氙、锂或锡)的材料转换为等离子体状态的EUV范围内的发射线。在一种这样的方法中，通常被称为激光等离子体(“LPP”)的所需等离子体可以通过用可以被称为驱动激光的放大光束，例如以材料的滴、板、带、流或簇的形式照射靶材料来产生。对于该过程，等离子体通常在密封容器(例如真空腔室)中产生，并使用各种类型的量测设备进行监测。
技术实现思路
在一些一般方面中，描述了一种方法，用于测量当靶在激光等离子体极紫外光源中沿着靶的轨迹行进时靶的移动性质。该方法包括：形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体，剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体；沿着轨迹朝向靶空间释放当前靶，该靶空间与扩展的靶区域至少部分地重叠，当前靶包括当被转换为等离子体时发射极紫外(EUV)光的组分；在当前靶在扩展的靶区域内时，并且在先前且相邻的靶已经与靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后，确定当前靶的一个或多个移动性质；以及如果当前靶的任何所确定的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则调节被引导朝向靶空间的辐射脉冲的一个或多个性质。实现可以包括以下一个或多个特征。例如，方法还可以包括使辐射脉冲与靶空间中的目前靶相互作用。目前靶是已经进入靶空间的当前靶或已经进入靶空间的另一靶。另一靶在当前靶进入靶空间的时间之后的时间进入靶空间。对被引导朝向靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性的调节可以引起辐射脉冲与目前靶之间的相对位置的调节。可以通过确定当前靶的速度、当前靶的轨迹的方向和当前靶的加速度中的一项或多项来确定当前靶的一个或多个移动性质。辐射脉冲可以将能量传送到目前靶以修改目前靶的几何分布。方法可以包括在朝向目前靶引导辐射脉冲之后，朝向目前靶引导主辐射脉冲，从而将目前靶的至少部分转换成发射极紫外光的等离子体。方法可以包括分析所确定的一个或多个移动性质，其中调节辐射脉冲的一个或多个特性是基于对所确定的当前靶的一个或多个移动性质的分析。可以通过调节辐射脉冲的释放的定时和辐射脉冲行进的方向中的一项或多项来调节辐射脉冲的一个或多个特性。当前靶的一个或多个移动性质可以通过以下来确定：检测在扩展的靶区域内在第一位置处的当前靶与第一诊断光束之间的第一相互作用；检测在扩展的靶区域内在第二位置处的当前靶与第二诊断光束之间的第二相互作用，第二位置与第一位置不同；以及基于第一相互作用和第二相互作用的检测来确定一个或多个移动性质。当前靶的一个或多个移动性质可以通过以下来确定：朝向第一位置处的当前靶引导第一诊断光束；以及朝向第二位置处的当前靶引导第二诊断光束。通过沿朝向当前靶的第一方向引导第一诊断光束，第一诊断光束可以被引导朝向第一位置处的当前靶；并且，通过沿朝向当前靶的第二方向引导第二诊断光束，第二诊断光束可以被引导朝向第二位置处的当前靶，第二方向与第一方向不平行。可以通过检测在第一时间从当前靶和第一诊断光束之间的相互作用产生的光来检测第一相互作用。可以通过检测在第二时间从当前靶和第二诊断光束之间的相互作用产生的光来检测第二相互作用，第二时间与第一时间不同。可以基于对光的检测的分析来确定当前靶的一个或多个移动性质。可以通过检测光的一维方面并产生一维信号来检测光。方法可以包括检测在扩展的靶区域内在第三位置处的当前靶与第三诊断光束之间的第三相互作用，第三位置与第一位置和第二位置不同。在其他一般方面，一种装置包括：腔室，其限定靶空间、第一区域和比第一区域更靠近靶空间的第二区域；靶传送系统；诊断系统；以及控制系统。靶传送系统被配置为沿着轨迹朝向靶空间释放靶，轨迹与第一区域和第二区域重叠，靶包括在被转换成等离子体时发射极紫外(EUV)光的材料，并且靶在第一区域中具有第一移动性质且在第二区域中具有第二移动性质，第二移动性质与第一移动性质不同。诊断系统产生诊断探针(probe)，诊断探针与第二区域中的靶相互作用并且输出与相互作用有关的数据。控制系统被配置为：接收从诊断系统输出的数据；分析输出的数据；并且基于数据的分析来确定靶的第二移动性质。实现可以包括以下一个或多个特征。例如，装置可以包括光源，该光源被配置为产生被引导朝向靶空间的多个辐射脉冲。第二区域可以至少部分地与扩展的靶区域重叠。扩展的靶区域由以下区域限定：在该区域中，由先前靶和来自多个辐射脉冲的先前辐射脉冲之间的相互作用形成剩余等离子体。控制系统可以被配置为基于所确定的靶的第二移动性质来控制当前辐射脉冲与目前靶之间的相对定位。装置可以包括被耦合到光源和控制系统的调节系统。控制系统被配置为通过向调节系统发送控制信号来控制当前辐射脉冲与目前靶之间的相对定位，控制信号使调节系统调节当前辐射脉冲的释放的定时和当前辐射脉冲行进的方向中的一项或多项。诊断系统可以包括产生至少第一诊断光束和第二诊断光束的光源。第一诊断光束可以被引导朝向靶，以提供在第二区域内在第一位置处的靶和第一诊断光束之间的第一相互作用；并且第二诊断光束可以被引导朝向靶，以提供在第二区域内在第二位置处的靶和第二诊断光束之间的第二相互作用。诊断系统可以包括检测第一相互作用和第二相互作用的检测系统，检测系统被配置为输出与第一相互作用和第二相互作用有关的数据。检测系统可以被配置为检测从第一相互作用产生的光以及检测从第二相互作用产生的光。靶的第二移动性质可以是靶的速度、靶轨迹的方向和靶的加速度中的一项或多项。在其他一般方面中，描述了一种方法，用于测量当靶在激光等离子体极紫外光源中沿着轨迹行进时靶的移动性质。该方法包括：沿着朝向靶空间的轨迹释放当前靶，当前靶包括当被转换为等离子体时发射极紫外(EUV)光的组分；朝向靶空间引导初级辐射脉冲，以将能量传送给当前靶，从而修改当前靶的几何分布；朝向靶空间引导主辐射脉冲，主辐射脉冲和当前靶之间的相互作用将当前靶的至少部分转换成发射极紫外光的等离子体；在当前靶进入靶空间之前确定当前靶的一个或多个移动性质；以及基于所确定的当前靶的一个或多个移动性质，控制主辐射脉冲和目前靶之间的相对位置以及初级辐射脉冲和目前靶之间的相对位置中的一项或多项。目前靶是已经进入靶空间的当前靶或者是在当前靶已经与初级辐射脉冲和主辐射脉冲相互作用之后已经进入靶空间的另一靶。实现可以包括以下一个或多个特征。例如，可以通过测量当前靶的速度、当前靶的加速度和当前靶移动的方向中的一项或多项来确定当前靶的一个或多个移动性质。方法可以包括：检测在第一位置处的当前靶和第一诊断光束之间的第一相互作用；检测在第二位置处的当前靶和第二诊断光束之间的第二相互作用，该第二位置与第一位置不同。可以通过分析第一相互作用和第二相互作用的检测来确定当前靶的一个或多个移动性质。方法可以包括：朝向第一位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量当靶在激光等离子体极紫外光源中沿着所述靶的轨迹行进时所述靶的移动性质的方法，所述方法包括：形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体，所述剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体；沿着朝向所述靶空间的轨迹释放当前靶，所述轨迹与所述扩展的靶区域至少部分地重叠，所述当前靶包括当被转换为等离子体时发射极紫外(EUV)光的组分；当所述当前靶在所述扩展的靶区域内时，并且在先前且相邻的靶已经与所述靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后，确定所述当前靶的一个或多个移动性质；以及如果所确定的所述当前靶的一个或多个移动性质中的任何移动性质在可接受范围之外，则调节被引导朝向所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.14 US 15/265,3731.一种测量当靶在激光等离子体极紫外光源中沿着所述靶的轨迹行进时所述靶的移动性质的方法，所述方法包括：形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体，所述剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体；沿着朝向所述靶空间的轨迹释放当前靶，所述轨迹与所述扩展的靶区域至少部分地重叠，所述当前靶包括当被转换为等离子体时发射极紫外(EUV)光的组分；当所述当前靶在所述扩展的靶区域内时，并且在先前且相邻的靶已经与所述靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后，确定所述当前靶的一个或多个移动性质；以及如果所确定的所述当前靶的一个或多个移动性质中的任何移动性质在可接受范围之外，则调节被引导朝向所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。2.根据权利要求1所述的方法，还包括使所述辐射脉冲与所述靶空间中的目前靶相互作用，其中所述目前靶是已经进入所述靶空间的当前靶或者是已经进入所述靶空间的另一靶，其中所述另一靶在所述当前靶进入所述靶空间的时间之后的时间进入所述靶空间。3.根据权利要求2所述的方法，其中调节被引导朝向所述靶空间的所述辐射脉冲的所述一个或多个特性引起对所述辐射脉冲和所述目前靶之间的相对定位的调节。4.根据权利要求1所述的方法，其中当所述当前靶在所述扩展的靶区域内时确定所述当前靶的一个或多个移动性质包括：确定所述当前靶的速度、所述当前靶的所述轨迹的方向和所述当前靶的加速度中的一项或多项。5.根据权利要求2所述的方法，其中所述辐射脉冲将能量传送到所述目前靶以修改所述目前靶的几何分布，所述方法进一步包括：在朝向所述目前靶引导所述辐射脉冲之后，朝向所述目前靶引导主辐射脉冲，从而将所述目前靶的至少一部分转换成发射极紫外光的等离子体。6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括分析所确定的一个或多个移动性质，其中调节所述辐射脉冲的所述一个或多个特性是基于对所确定的所述当前靶的一个或多个移动性质的所述分析。7.根据权利要求1所述的方法，其中调节所述辐射脉冲的一个或多个特性包括：调节所述辐射脉冲的释放的定时和所述辐射脉冲行进的方向中的一项或多项。8.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质包括：检测在所述扩展的靶区域内在第一位置处的所述当前靶与第一诊断光束之间的第一相互作用；检测在所述扩展的靶区域内在第二位置处的所述当前靶与第二诊断光束之间的第二相互作用，所述第二位置与所述第一位置不同；以及基于所述第一相互作用和所述第二相互作用的检测来确定所述一个或多个移动性质。9.根据权利要求8所述的方法，其中确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质包括：朝向所述第一位置处的所述当前靶引导所述第一诊断光束；以及朝向所述第二位置处的所述当前靶引导所述第二诊断光束。10.根据权利要求9所述的方法，其中：朝向所述第一位置处的所述当前靶引导所述第一诊断光束包括：沿朝向所述当前靶的第一方向引导所述第一诊断光束；以及朝向所述第二位置处的所述当前靶引导所述第二诊断光束包括：沿朝向所述当前靶的第二方向引导所述第二诊断光束，所述第二方向与所述第一方向不平行。11.根据权利要求9所述的方法，其中：检测所述第一相互作用包括：检测在第一时间从所述当前靶和所述第一诊断光束之间的所述相互作用产生的光；检测所述第二相互作用包括：检测在第二时间从所述当前靶和所述第二诊断光束之间的所述相互作用产生的光，所述第二时间与所述第一时间不同；以及确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质是基于对所述光的所述检测的分析。12.根据权利要求11所述的方法，其中检测所...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·L·普赖斯，M·J·米特里，C·A·史汀生，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰,NL