检测设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种检测设备，涉及检测技术领域，所述检测设备包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕不平行的第一轴和第二轴旋转；和喷射装置，用于向所述待检测物体喷射气体。

Testing equipment

The utility model provides a detection device, which relates to the detection technology field. The detection device comprises a support platform for supporting the object to be detected, which is configured to rotate around the first and second axes that are not parallel, and a spraying device for spraying gas to the object to be detected.

【技术实现步骤摘要】
检测设备
本技术涉及检测
，尤其涉及一种检测设备。
技术介绍
随着集成电路制造技术的发展，芯片的特征尺寸越来越小，芯片上存在的缺陷对芯片性能的影响越来越大。因此，在芯片的制作工艺中加入了许多检测步骤，以便剔除不合格芯片，提高良率。颗粒污染是影响芯片良率的因素。尽管晶圆在工艺处理和传递过程中有严格的保护措施，但仍不可避免地会额外增加一些颗粒的污染。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种检测设备，能够利用喷射装置有效去除待检测物体表面的颗粒物。根据本技术实施例的一方面，提供一种检测设备，包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕不平行的第一轴和第二轴旋转；和喷射装置，用于向所述待检测物体喷射气体。在一些实施例中，所述支撑平台和所述喷射装置位于腔体中，所述腔体中的压强大于所述腔体外的压强。在一些实施例中，所述腔体具有进气口和出气口，从所述进气口进入所述腔体的气体流向所述出气口。在一些实施例中，所述喷射装置喷射所述气体的方向与所述待检测物体的表面之间的夹角的范围为10度至45度。在一些实施例中，所述第二轴被配置为绕所述第一轴旋转；所述检测设备还包括至少一个光源；其中，当所述支撑平台旋转到使得所述待检测物体的表面平行于所述第一轴时，与所述第一轴垂直、且经过所述支撑平台沿所述第一轴方向的边界点的平面为第一分界面；当所述第二轴与所述喷射装置喷射所述气体的方向垂直时，经过所述第一轴和第二轴的平面为第二分界面；其中，所述光源和所述喷射装置位于所述第一分界面远离所述支撑平台的一侧；或者，所述光源和所述喷射装置分别位于所述第二分界面的两侧。在一些实施例中，所述至少一个光源包括暗场光源，所述暗场光源和所述喷射装置分别位于所述第二分界面的两侧。在一些实施例中，所述至少一个光源包括明场光源，所述明场光源和所述喷射装置位于所述第一分界面远离所述支撑平台的一侧。在一些实施例中，所述检测设备还包括：包括镜头的照相装置，用于对所述待检测物体进行拍照；其中，所述镜头和所述喷射装置位于所述第一分界面远离所述支撑平台的一侧；或者，所述镜头和所述述喷射装置分别位于所述第二分界面的两侧。在一些实施例中，所述支撑平台包括：环状的第一转动机构，能够围绕所述第二轴旋转；多个支撑部，设置在所述第一转动机构上，用于放置所述待检测物体；旋转夹紧机构，设置在所述第一转动机构上，用于在旋转的情况下带动夹紧部运动；第二转动机构，用于带动所述第一转动机构围绕所述第一轴旋转。在一些实施例中，所述支撑平台还包括：第三转动机构，用于带动所述第二转动机构绕垂直于所述第一轴的轴进行俯仰运动；第四转动机构，用于带动所述第三转动机构围绕所述第一轴旋转。本技术实施例提供的检测设备中，支撑平台能够绕不平行的第一轴和第二轴旋转，在支撑平台旋转到不同位置的情况下，可以利用喷射装置向待检测物体喷射气体，以有效去除待检测物体表面的颗粒，从而减小待检测物体表面的污染。通过以下参照附图对本技术的示例性实施例的详细描述，本技术的其它特征、方面及其优点将会变得清楚。附图说明附图构成本说明书的一部分，其描述了本技术的示例性实施例，并且连同说明书一起用于解释本技术的原理，在附图中：图1是根据本技术一些实施例的检测设备的结构示意图；图2A是根据本技术另一些实施例的检测设备的结构示意图；图2B示出了根据本技术一些实施例的检测设备中的部分部件的投影位置的示意图；图3A是根据本技术一些实现方式的支撑平台的结构示意图；图3B是图3A所示支撑平台的部分结构的结构示意图；图3C是图3B的局部放大后的结构示意图；图3D是图3B的局部放大后的结构示意图。应当明白，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。此外，相同或类似的参考标号表示相同或类似的构件。具体实施方式现在将参照附图来详细描述本技术的各种示例性实施例。对示例性实施例的描述仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。本技术可以以许多不同的形式实现，不限于这里所述的实施例。提供这些实施例是为了使本技术透彻且完整，并且向本领域技术人员充分表达本技术的范围。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、材料的组分、数字表达式和数值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。“上”、“下”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。在本技术中，当描述到特定部件位于第一部件和第二部件之间时，在该特定部件与第一部件或第二部件之间可以存在居间部件，也可以不存在居间部件。当描述到特定部件连接其它部件时，该特定部件可以与所述其它部件直接连接而不具有居间部件，也可以不与所述其它部件直接连接而具有居间部件。本技术使用的所有术语(包括技术术语或者科学术语)与本技术所属领域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。图1是根据本技术一些实施例的检测设备的结构示意图。如图1所示，检测设备可以包括支撑平台101和喷射装置102，支撑平台101和喷射装置102例如可以位于腔体10中。支撑平台101用于支撑待检测物体100。待检测物体100例如可以包括但不限于晶圆。这里，待检测物体100的中心被示出为O1。支撑平台101被配置为绕不平行的第一轴A和第二轴B旋转，以带动待检测物体100旋转，从而使得观察者能够以合适的位置观察待检测物体100。例如，第一轴A可以与第二轴B垂直，例如第一轴A可以是经过待检测物体100的中心O1的竖直轴，第二轴B可以是径向轴。在一些实施例中，第二轴B可以被配置为绕第一轴A旋转。喷射装置102用于向待检测物体100喷射气体。这里，喷射装置102喷射气体的方向(箭头所示方向)与待检测物体100的表面之间的夹角为θ。为了更有效地去除待检测物体100表面的颗粒，优选地，θ的范围可以为10度至45度。更优选地，θ可以为25度。在一些实施例中，喷射装置102喷射的气体可以为空气，例如清洁后的空气，或者也可以为氮气，例如清洁后的氮气。优选地，气体的压强可以为0.3Mpa至0.6Mpa，例如0.4Mpa、0.5Mpa等。例如，在将待检测物体100置于支撑平台101上之后，可以调整支撑平台101沿着第一轴A和/或第二轴B转动，当观察者看到待检测物体100表面的颗粒时，可以控制喷射装置102向待检测物体100的表面的颗粒喷射气体，以减少待检测物体100的表面的颗粒。上述实施例中，支撑平台能够绕不平行的第一轴和第二轴转动，在支撑平台转动到不同位置的情况下，可以利用喷射装置向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕不平行的第一轴和第二轴旋转；和喷射装置，用于向所述待检测物体喷射气体。

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕不平行的第一轴和第二轴旋转；和喷射装置，用于向所述待检测物体喷射气体。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述支撑平台和所述喷射装置位于腔体中，所述腔体中的压强大于所述腔体外的压强。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述腔体具有进气口和出气口，从所述进气口进入所述腔体的气体流向所述出气口。4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述喷射装置喷射所述气体的方向与所述待检测物体的表面之间的夹角的范围为10度至45度。5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二轴被配置为绕所述第一轴旋转；所述检测设备还包括至少一个光源；其中，当所述支撑平台旋转到使得所述待检测物体的表面平行于所述第一轴时，与所述第一轴垂直、且经过所述支撑平台沿所述第一轴方向的边界点的平面为第一分界面；当所述第二轴与所述喷射装置喷射所述气体的方向垂直时，经过所述第一轴和第二轴的平面为第二分界面；其中，所述光源和所述喷射装置位于所述第一分界面远离所述支撑平台的一侧；或者，所述光源和所述喷射装置分别位于所述第二分界面的两侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：皮林立，马砚忠，杨乐，张朝前，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44