气液混合机构、工艺设备及气液混合方法技术

一种气液混合方法，包括以下步骤：输入氮气至药液；细化氮气为氮气气泡，并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为第一具氮气气泡之药液；以及蓄压第一具氮气气泡之药液。此外，一种气液混合机构与工艺设备亦被提出。

Gas-liquid mixing mechanism, process equipment and gas-liquid mixing method

A gas-liquid mixing method includes the following steps: input nitrogen gas to liquid medicine; refine nitrogen gas into nitrogen bubbles, and pressurize nitrogen bubbles so that nitrogen bubbles can be mixed into liquid medicine and become the first nitrogen bubbles; and store the liquid medicine with the first nitrogen bubbles. In addition, a gas-liquid mixing mechanism and process equipment have also been proposed.

【技术实现步骤摘要】
气液混合机构、工艺设备及气液混合方法
本专利技术是有关于一种气液混合机构、工艺设备与气液混合方法，且特别是有关于一种降低药液劣化情况的气液混合机构、工艺设备与气液混合方法。
技术介绍
于现代高科技产业的制造的过程中，基板需要经过多道加工程序，例如清洗、蚀刻、涂布、显影等制造程序，会采用特定药液去执行相对应的制造程序。由于药液无法避免在传输路径上接触大气，以显影设备为例，大气中的气体元素(如CO2)跟药液反应为碳酸水(H2CO3)而使药液有劣化的情况。针对此显影液劣化的问题，一般是在药液槽内灌入惰性气体，借由惰性气体不易反应的特性，避免药液与大气中的气体元素产生反应。然，由于惰性气体不容易溶解于药液内，导致防治显影液劣化的效果不佳。因此，如何提升药液寿命与良率，进而减少药液更换时间与降低制造成本，是为极重要的课题。
技术实现思路
本专利技术的一目的在于，解决药液劣化问题，延长药液使用寿命，进而减少药液更换时间与降低制造成本，并增加生产制造效能。本专利技术的一实施例提出一种气液混合机构，包括一第一氮气溶解装置以及一减压阀模组。第一氮气溶解装置包括一第一汇流管、一第一细化管以及一第一蓄压筒。第一细化管连通于第一汇流管，该第一细化管内设置一第一细化装置，一氮气与一药液由第一汇流管流入至第一细化管时，第一细化装置是细化氮气为一氮气气泡。第一蓄压筒连通于第一细化管，第一蓄压筒的管径大于第一细化管的管径，以降低药液的流速并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为一第一具氮气气泡之药液。减压阀模组连通于第一蓄压筒，减压阀模组用以调节并蓄压第一蓄压筒内第一具氮气气泡之药液之压力。本专利技术的一实施例提出一种工艺设备，包括一药液槽、处理装置以及一气液混合机构。药液槽存储一药液。处理装置是以药液槽提供之药液处理一基板。气液混合机构是接收药液槽之药液，气液混合机构包括一第一氮气溶解装置以及一减压阀模组。第一氮气溶解装置包括一第一汇流管、一第一细化管以及一第一蓄压筒。第一细化管连通于第一汇流管，该第一细化管内设置一第一细化装置，一氮气与一药液由第一汇流管流入至第一细化管时，第一细化装置是细化氮气为一氮气气泡。第一蓄压筒连通于第一细化管，第一蓄压筒的管径大于第一细化管的管径，以降低药液的流速并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为一第一具氮气气泡之药液。减压阀模组连通于第一蓄压筒，减压阀模组用以调节并蓄压第一蓄压筒内第一具氮气气泡之药液之压力。本专利技术的一实施例提出一种气液混合方法，包括以下步骤：输入一氮气至一药液；细化氮气为一氮气气泡，并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为一第一具氮气气泡之药液；以及蓄压第一具氮气气泡之药液。基于上述，在本专利技术的气液混合机构、工艺设备与气液混合方法中，借由氮气溶解于药液之内，可确实有效抑制药液中含二氧化碳量或含氧量的增加，达到防止药液劣化的功能。再者，经由上述管径不同的结构差异，以加压氮气气泡，除了提升氮气气泡之压力以外，也可提升总体气体压力之饱和度，提升氮气气泡之压力，亦可增加氮气气泡溶解于药液的含量，可使氮气气泡更能溶解于药液之内，延长药液使用寿命，进而减少药液更换时间与降低制造成本，并增加生产制造效能。此外，借由蓄压筒与减压阀模组的配置，以将压力蓄集到蓄压筒之内，故可维持氮气气泡溶解于药液的含量。附图说明图1为本专利技术之气液混合机构第一实施例的示意图。图2为本专利技术之第一氮气溶解装置的示意图。图3为本专利技术之第一细化装置的示意图。图4为图3之第一细化装置的平面示意图。图5A为本专利技术之气液混合机构第二实施例的示意图。图5B为本专利技术之气液混合机构第三实施例的示意图。图6为本专利技术之工艺设备的示意图。图7为本专利技术之气液混合方法第一实施例的示意图。图8为本专利技术之气液混合方法第二实施例的示意图。。图中标号说明：10、20、30气液混合机构11第一氮气溶解装置111、131氮气输入管1112喷管1114喷嘴112、132药液输入管113第一汇流管114第一细化管1142输入段1144输出段116、216第一蓄压筒1162第一部件1164第二部件1166第三部件118第一细化装置1182导流鳍片1184导流孔1186连接环12减压阀模组121管路121A一次侧管121B二次侧管122减压阀门123第一侧调压装置123A第一测压表123B第一调压元件124第二侧调压装置124A第二测压表124B第二调压元件13第二氮气溶解装置133第二汇流管134第二细化管136、236第二蓄压筒138第二细化装置50工艺设备51药液槽52处理装置521喷淋管522喷头53喷洒泵54循环泵55第一电导度计56第二电导度计57回收管58排液管D1、D2、D3、D4、D5、D6管径G氮气L药液R1、R2立体旋转S10、S20气液混合方法S110～S130步骤S210～S260步骤具体实施方式以下结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此限制本专利技术的保护范围。图1为本专利技术之气液混合机构第一实施例的示意图。图2为本专利技术之第一氮气溶解装置的示意图。图3为本专利技术之第一细化装置的示意图。图4为图3之第一细化装置的平面示意图。请先参阅图1。在本实施例中，气液混合机构10包含一第一氮气溶解装置11以及一减压阀模组12。第一氮气溶解装置11包括一氮气输入管111、一药液输入管112、一第一汇流管113、一第一细化管114以及一第一蓄压筒116。氮气输入管111连通于第一汇流管113，药液输入管112连通于第一汇流管113，第一汇流管113连通于第一细化管114，且第一细化管114连通于第一蓄压筒116，以构成第一氮气溶解装置11。第一汇流管113为氮气输入管111与药液输入管112的连通交接位置，药液输入管112用以输入药液L至第一汇流管113，氮气输入管111用以输入氮气G至第一汇流管113，使得氮气G与药液L于第一汇流管113交会，并流经第一细化管114与第一蓄压筒116而自减压阀模组12输出。在本实施例中，如图2所示，氮气输入管111包括一喷管1112与一喷嘴1114，喷管1112连通喷嘴1114，氮气G输入至喷管1112内，并由喷管1112输送氮气G至喷嘴1114，以将氮气G输送至第一汇流管113中的药液L。假设各个气体在常温下具相同分压，氮气G可较如二氧化碳或氧气等气体更溶解于药液L之内，借由氮气G溶解于药液L之内，可确实有效抑制药液L中含二氧化碳量或含氧量的增加，并使得药液L的电导度下降，达到防止药液L劣化的功能。在本实施例中，第一细化管114之两侧分别连通于第一汇流管113与第一蓄压筒116。第一细化管114内设置一第一细化装置118，使氮气G与药液L由第一汇流管113流入至第一细化管114时，第一细化装置118是细化氮气G为一氮气气泡，氮气气泡较能与药液L快速且均匀混合，以提高溶解速率，并且，本实施例的第一蓄压筒116的管径D3大于第一细化管114的管径D2，当药液L与氮气气泡由管径小之第一细化管114流入至管径大之第一蓄压筒116时，依据白努利原理(Bernoulli'sprinciple)，药液L的流速降低并借此加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液L而为一第一具氮气气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气液混合机构，包括：一第一氮气溶解装置，包括：一第一汇流管；一第一细化管，连通于该第一汇流管，该第一细化管内设置一第一细化装置，其中一氮气与一药液由该第一汇流管流入至该第一细化管时，该第一细化装置是细化该氮气为一氮气气泡；及一第一蓄压筒，连通于该第一细化管，其中该第一蓄压筒的管径大于该第一细化管的管径，以降低该药液的流速并加压该氮气气泡，使该氮气气泡混入至该药液而为一第一具氮气气泡之药液；以及一减压阀模组，连通于该第一蓄压筒，该减压阀模组用以调节并蓄压该第一蓄压筒内该第一具氮气气泡之药液之压力。

【技术特征摘要】
2017.11.14 TW 1061393491.一种气液混合机构，包括：一第一氮气溶解装置，包括：一第一汇流管；一第一细化管，连通于该第一汇流管，该第一细化管内设置一第一细化装置，其中一氮气与一药液由该第一汇流管流入至该第一细化管时，该第一细化装置是细化该氮气为一氮气气泡；及一第一蓄压筒，连通于该第一细化管，其中该第一蓄压筒的管径大于该第一细化管的管径，以降低该药液的流速并加压该氮气气泡，使该氮气气泡混入至该药液而为一第一具氮气气泡之药液；以及一减压阀模组，连通于该第一蓄压筒，该减压阀模组用以调节并蓄压该第一蓄压筒内该第一具氮气气泡之药液之压力。2.如权利要求1所述的气液混合机构，更包括：一第二氮气溶解装置，连通于该第一蓄压筒与该减压阀模组之间，该第二氮气溶解装置包括：一第二汇流管；一第二细化管，连通于该第二汇流管，该第二细化管内设置一第二细化装置，其中该氮气与该第一具氮气气泡之药液由该第二汇流管流入至该第二细化管时，该第二细化装置是细化该氮气为该氮气气泡；以及一第二蓄压筒，连通于该第二细化管，其中该第二蓄压筒的管径大于该第二细化管的该管径，以降低该第一具氮气气泡之药液的流速并加压该氮气气泡，使该氮气气泡混入至该第一具氮气气泡之药液而为一第二具氮气气泡之药液，该减压阀模组用以调节并蓄压该第二蓄压筒内该第二具氮气气泡之药液之压力。3.如权利要求2所述的气液混合机构，其中该第一汇流管输入该氮气之氮气量大于该第二汇流管输入该氮气之氮气量。4.如权利要求2所述的气液混合机构，其中该第二蓄压筒的管径大于该第一蓄压筒的管径。5.如权利要求2所述的气液混合机构，其中该第二蓄压筒的管径小于该第一蓄压筒的管径。6.如权利要求2所述的气液混合机构，其中该第二细化管的管径小于该第二汇流管的管径。7.如权利要求1所述的气液混合机构，其中该第一细化装置包含多个导流鳍片与多个导流孔，各该导流鳍片细化该氮气为该氮气气泡，该氮气气泡与该药液通过各该导流孔。8.如权利要求1所述的气液混合机构，其中该第一细化管的管径小于该第一汇流管的管径。9.一种工艺设备，包括：一药液槽，存储一药液；一处理装置，是以该药液槽提供之该药液处理一基板；以及一气液混合机构，是接收该药液槽之该药液，该气液混合机构包括：一第一氮气溶解装置，包括：一第一汇流管；一第一细化管，连通于该第一汇流管，该第一细化管内设置一第一细化装置，其中一氮气与该药液由该第一汇流管流入至该第一细化管时，该第一细化装置是细化该氮气为一氮气气泡；及一第一蓄压筒，连通于该第一细化管，其中该第一蓄压筒的管径大于该第一细化管的管径，以降低该药液的流速并加压该氮气气泡，使该氮气气泡混入至该药液而为一第一具氮气气泡之药液；以及一减压阀模组，连通于该第一蓄压筒，该减压阀模组用以调节并蓄压该第一蓄压筒内该第一具氮气气泡之药液之压力。10.如权利要求9所述的工艺设备，其中该工艺设备为一显影机。11.如权利要求9所述的工艺设备，更包括：一第二氮气溶解装置，连通于该第一蓄压筒与该减压阀模组之间，该第二氮气溶解装置包括：一第二汇流管；一第二细化管，连通于该第二汇流管，该第二细化管内设置一第二细化装置，其中该氮气与该第一具氮气气泡之药液由该第二汇流管流入至该第二细化管时，该第二细化装置是细化该氮气为该氮气气泡；以及一第二蓄压筒，连通于该第二细化管，其中该第二蓄压筒的管径大于该第二细化管的该管径，以降低该第一具氮气气泡之药液的流速并加压该氮气气泡，使该氮气...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜英哲，黄进堂，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71