材料清洗方法、装置及控制器制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种材料清洗方法、装置及控制器，涉及材料清洗的技术领域，能够在监测到待清洗材料固定到工作台时，获取工作台的运行参数，根据运行参数控制工作台带动待清洗材料水平旋转；获取IPA电机参数，其中，IPA电机参数包括：IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个运动分区的运行时间；根据IPA电机参数控制IPA电机在每个运动分区运行；获取IPA电机运行时的工作状态信息，其中，工作状态信息包括IPA电机的运动方向，以及当前IPA电机所处的运动分区；根据工作状态信息，控制开关阀的开关状态，有效缓解了因IPA工艺中N2和IPA抽出的位置为晶圆的中心，易造成边缘清洗不干净的技术问题。

Material cleaning methods, devices and controllers

【技术实现步骤摘要】
材料清洗方法、装置及控制器
本专利技术涉及材料清洗
，尤其是涉及一种材料清洗方法、装置及控制器。
技术介绍
IPA(IsopropylAlcohol，异丙醇)工艺，是指利用IPA蒸汽进行脱水干燥的清洗工艺。常规的IPA清洗晶圆的方法是利用IPA的低表面张力和易挥发性的特点，取代表面具有较高表面张力的水分，再用N2吹干，实现了晶圆的干燥甩干。目前，IPA工艺采用的是离心甩干的方法，在降低沾染物的引入和干燥速度方面有较好的效果，由于IPA工艺中氮气N2和IPA抽出的位置为晶圆的中心，所以容易造成边缘清洗不干净的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供材料清洗方法、装置及控制器，以缓解因IPA工艺中N2和IPA抽出的位置为晶圆的中心，易造成边缘清洗不干净的技术问题。第一方面，本专利技术实施例提供了一种材料清洗方法，其中，该方法应用于清洗台的平台，清洗台包括工作台和IPA电机，工作台上固定有待清洗材料，在垂直于IPA电机的下方设有IPA喷头，IPA喷头还设有开关阀，控制器与工作台、IPA电机以及开关阀通讯连接；方法包括：如果监测到待清洗材料固定到工作台，获取工作台的运行参数，根据运行参数控制工作台带动待清洗材料水平旋转；获取IPA电机参数，其中，IPA电机参数包括：IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个运动分区的运行时间；根据IPA电机参数控制IPA电机在每个运动分区运行；获取IPA电机运行时的工作状态信息，其中，工作状态信息包括IPA电机的运动方向，以及当前IPA电机所处的运动分区；根据工作状态信息，控制开关阀的开关状态。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，根据IPA电机参数控制IPA电机在每个运动分区运行的步骤包括：根据IPA电机参数绘制IPA电机在指定运动分区的运行曲线；控制IPA电机按照运动曲线对应的运动路径在每个运动分区运行。结合第一方面的第一种可能的实施方式，本专利技术实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，IPA电机在指定运动分区的运行曲线为基于时间位移关系的运动曲线，运动曲线为：Yn＝A[n]*(t-tn-1)3+B[n]*(t-tn-1)2+C[n]*(t-tn-1)+D[n]；其中，n表示运动分区的数量，A[n]表示第n个运动分区的三次系数，B[n]表示第n个运动分区的二次系数，C[n]表示第n个运动分区的一次系数，D[n]表示第n个运动分区的常数，t表示IPA电机运行的时间，tn-1表示IPA电机在第n-1个运动分区最后的运行时间。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，获取IPA电机参数之前，该方法还包括：将IPA电机的运动起点设置在有待清洗材料的中心，将IPA电机的运动终点设置在有待清洗材料的边缘。结合第一方面的第三种可能的实施方式，本专利技术实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，根据工作状态信息，控制开关阀打开或关闭的步骤包括：对每个运动分区进行标定，记录每个运动分区的标定号；获取每个运动分区的标定号以及运动分区对应的运行时间；当IPA电机从运动起点向运动终点运行，且，IPA电机到达待清洗的运行分区时，获取的IPA电机的工作状态信息，如果工作状态信息记载的运动方向为径向向外运动，控制开关阀打开，以使IPA从IPA喷头喷出；如果工作状态信息记载的运动方向为从运动终点向运动起点运行时，控制开关阀关闭。第二方面，本专利技术实施例还提供一种材料清洗装置，其中，该装置应用于清洗台的控制器，清洗台包括工作台和IPA电机，工作台上固定有待清洗材料，在垂直于IPA电机的下方设有IPA喷头，IPA喷头还设有开关阀，控制器与工作台、IPA电机以及开关阀通讯连接；该装置包括：第一获取模块，用于如果监测到待清洗材料固定到工作台，获取工作台的运行参数，根据运行参数控制工作台带动待清洗材料水平旋转；第二获取模块，用于获取IPA电机参数，其中，IPA电机参数包括：IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个运动分区的运行时间；第一控制模块，用于根据IPA电机参数控制IPA电机在每个运动分区运行；第三获取模块，用于获取IPA电机运行时的工作状态信息，其中，工作状态信息包括IPA电机的运动方向，以及当前IPA电机所处的运动分区；第二控制模块，用于根据工作状态信息，控制开关阀的开关状态。结合第二方面，本专利技术实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中，第一控制模块还用于：根据IPA电机参数绘制IPA电机在指定运动分区的运行曲线；控制IPA电机按照运动曲线对应的运动路径在每个运动分区运行。结合第二方面的第一种可能的实施方式，本专利技术实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中，IPA电机在指定运动分区的运行曲线为基于时间位移关系的运动曲线，运动曲线为：Yn＝A[n]*(t-tn-1)3+B[n]*(t-tn-1)2+C[n]*(t-tn-1)+D[n]；其中，n表示运动分区的数量，A[n]表示第n个运动分区的三次系数，B[n]表示第n个运动分区的二次系数，C[n]表示第n个运动分区的一次系数，D[n]表示第n个运动分区的常数，t表示IPA电机运行的时间，tn-1表示IPA电机在第n-1个运动分区最后的运行时间。结合第二方面，本专利技术实施例提供了第二方面的第三种可能的实施方式，其中，在第一获取模块之前，该装置还包括：设置模块，用于将IPA电机的运动起点设置在有待清洗材料的中心，将IPA电机的运动终点设置在有待清洗材料的边缘。第三方面，本专利技术实施例还提供一种控制器，该控制器包括：处理器和存储器；其中，存储器，用于存放计算机程序；处理器，用于执行存储器上所存放的程序时，实现上述的方法步骤。本专利技术实施例带来了以下有益效果：本专利技术实施例提供的一种材料清洗方法、装置及控制器，能够在监测到待清洗材料固定到工作台时，获取工作台的运行参数，根据运行参数控制工作台带动待清洗材料水平旋转；获取IPA电机参数，其中，IPA电机参数包括：IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个运动分区的运行时间；根据IPA电机参数控制IPA电机在每个运动分区运行；获取IPA电机运行时的工作状态信息，其中，工作状态信息包括IPA电机的运动方向，以及当前IPA电机所处的运动分区；根据工作状态信息，控制开关阀的开关状态，有效缓解了因IPA工艺中N2和IPA抽出的位置为晶圆的中心，易造成边缘清洗不干净的技术问题。本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种材料清洗方法的流程图；图2为本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种材料清洗方法，其特征在于，所述方法应用于清洗台的控制器，所述清洗台包括工作台和IPA电机，所述工作台上固定有待清洗材料，在垂直于所述IPA电机的下方设有IPA喷头，所述IPA喷头还设有开关阀，所述控制器与所述工作台、所述IPA电机以及所述开关阀通讯连接；所述方法包括：如果监测到所述待清洗材料固定到所述工作台，获取所述工作台的运行参数，根据所述运行参数控制所述工作台带动所述待清洗材料水平旋转；获取IPA电机参数，其中，所述IPA电机参数包括：所述IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个所述运动分区的运行时间；根据所述IPA电机参数控制所述IPA电机在每个所述运动分区运行；获取所述IPA电机运行时的工作状态信息，其中，所述工作状态信息包括所述IPA电机的运动方向，以及当前所述IPA电机所处的所述运动分区；根据所述工作状态信息，控制所述开关阀的开关状态。

【技术特征摘要】
1.一种材料清洗方法，其特征在于，所述方法应用于清洗台的控制器，所述清洗台包括工作台和IPA电机，所述工作台上固定有待清洗材料，在垂直于所述IPA电机的下方设有IPA喷头，所述IPA喷头还设有开关阀，所述控制器与所述工作台、所述IPA电机以及所述开关阀通讯连接；所述方法包括：如果监测到所述待清洗材料固定到所述工作台，获取所述工作台的运行参数，根据所述运行参数控制所述工作台带动所述待清洗材料水平旋转；获取IPA电机参数，其中，所述IPA电机参数包括：所述IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个所述运动分区的运行时间；根据所述IPA电机参数控制所述IPA电机在每个所述运动分区运行；获取所述IPA电机运行时的工作状态信息，其中，所述工作状态信息包括所述IPA电机的运动方向，以及当前所述IPA电机所处的所述运动分区；根据所述工作状态信息，控制所述开关阀的开关状态。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述IPA电机参数控制所述IPA电机在每个所述运动分区运行的步骤包括：根据所述IPA电机参数绘制所述IPA电机在指定所述运动分区的运行曲线；控制所述IPA电机按照所述运动曲线对应的运动路径在每个所述运动分区运行。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述IPA电机在指定所述运动分区的运行曲线为基于时间位移关系的运动曲线，所述运动曲线为：Yn＝A[n]*(t-tn-1)3+B[n]*(t-tn-1)2+C[n]*(t-tn-1)+D[n]；其中，n表示所述运动分区的数量，A[n]表示第n个运动分区的三次系数，B[n]表示第n个运动分区的二次系数，C[n]表示第n个运动分区的一次系数，D[n]表示第n个运动分区的常数，t表示所述IPA电机运行的时间，tn-1表示所述IPA电机在第n-1个运动分区最后的运行时间。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取IPA电机参数之前，所述方法还包括：将所述IPA电机的运动起点设置在所述有待清洗材料的中心，将所述IPA电机的运动终点设置在所述有待清洗材料的边缘。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述工作状态信息，控制所述开关阀打开或关闭的步骤包括：对每个所述运动分区进行标定，记录每个所述运动分区的标定号；获取每个所述运动分区的标定号以及所述运动分区对应的所述运行时间；当所述IPA电机从所述运动起点向所述运动终点运行，且，所述IPA电机到达待清洗的所述运行分区时，获取的所述IPA电机的工作状态信息，如果所述工作状态信息记载的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉浪，周庆亚，田洪涛，杨旭，张金环，蒋锡兵，王栋，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11