一种铜钛腐蚀液的制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种铜钛腐蚀液的制备装置，包括依次连接的双氧水储罐、混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述混合罐上还连接有去离子水储罐，所述双氧水储罐上还设有加液装置，所述加液装置包括用于向混合罐中输送双氧水的虹吸导液管，用于向双氧水储罐内输送气体的进气管和用于将虹吸导液管、进气管分别固定在双氧水储罐上的连接机构，所述的连接机构安装在双氧水储罐上，所述混合罐壁上还设有进料口。本实用新型专利技术通过进气管向双氧水储罐内通入气体，使双氧水通过虹吸导液管流入混合罐内，有效避免了液体溅出，还可避免双氧水与空气接触，减少污染，减少操作人员工作量，提高操作人员安全系数，从而实现降低了生产成本。

A Preparing Device for Copper-Titanium Corrosive Solution

The utility model discloses a preparation device for copper-titanium corrosive solution, which comprises a hydrogen peroxide tank, a mixing tank, a regulating valve, a filtering device and a finished product tank connected in turn. The mixing tank is also connected with a deionized water tank. The hydrogen peroxide tank is also provided with a liquid adding device. The liquid adding device includes a siphon liquid guiding pipe for transporting hydrogen peroxide to the mixing tank, and is used for transporting hydrogen peroxide to the mixing tank. The intake pipe for conveying gas in the water storage tank and the connecting mechanism for fixing the siphon liquid guide pipe and the intake pipe on the hydrogen peroxide storage tank respectively are installed on the hydrogen peroxide storage tank, and the wall of the mixed tank is also provided with an intake port. The utility model inflows gas into the hydrogen peroxide storage tank through the intake pipe, makes the hydrogen peroxide flow into the mixing tank through the siphon liquid guide pipe, effectively avoids liquid splashing, also avoids the contact between hydrogen peroxide and air, reduces pollution, reduces the workload of the operator, improves the safety factor of the operator, thereby realizing the reduction of production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种铜钛腐蚀液的制备装置
本技术涉及电子化学品生产设备
，具体涉及一种铜钛腐蚀液的制备装置，用于半导体行业的凸块制程。
技术介绍
近年来，人们对半导体装置、液晶显示器的需求量不断增加的同时，对于这些装置所具有的配线、电极等的微小化、高性能化的要求也越来越严格，而蚀刻的效果能直接导致电路板制造工艺的好坏，影响高密度细导线图像的精度和质量。目前，半导体行业凸块制程用铜钛腐蚀液的主要组分包括氢氧化钾、双氧水、络合剂、表面活性剂和水，而高浓度的双氧水具有强氧化性和一定的腐蚀性，同时双氧水储罐一般较庞大笨重，如果采用直接倾倒的方法加入混合罐内，可能会有大量双氧水飞溅与混合罐外，造成原料的损失，同时溅出的液体还存在危害设备及操作人员的安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种加液效率高，可有效避免加液时的浪费，提高作业人员加液时的安全系数，减少作业人员加液时的工作强度的半导体行业凸块制程用的铜钛腐蚀液的制备装置。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种铜钛腐蚀液的制备装置，包括依次连接的双氧水储罐、混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述混合罐上还连接有去离子水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铜钛腐蚀液的制备装置，包括依次连接的双氧水储罐、混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述混合罐上还连接有去离子水储罐，其特征在于，所述双氧水储罐上还设有加液装置，所述加液装置包括用于向混合罐中输送双氧水的虹吸导液管，用于向双氧水储罐内输送气体的进气管和用于将虹吸导液管、进气管分别固定在双氧水储罐上的连接机构，所述的连接机构安装在双氧水储罐上，所述混合罐壁上还设有进料口。

【技术特征摘要】
1.一种铜钛腐蚀液的制备装置，包括依次连接的双氧水储罐、混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述混合罐上还连接有去离子水储罐，其特征在于，所述双氧水储罐上还设有加液装置，所述加液装置包括用于向混合罐中输送双氧水的虹吸导液管，用于向双氧水储罐内输送气体的进气管和用于将虹吸导液管、进气管分别固定在双氧水储罐上的连接机构，所述的连接机构安装在双氧水储罐上，所述混合罐壁上还设有进料口。2.根据权利要求1所述的铜钛腐蚀液的制备装置，其特征在于，所述虹吸导液管为倒U型，由耐腐蚀的刚性材料制成，其包括连接第一纵臂和第二纵臂的第一横臂，所述第一纵臂插装固定在所述连接机构上，所述第二纵臂的下端与混...

【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，
申请(专利权)人：江阴润玛电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32