一种密封性检测设备制造技术

一种密封性检测设备，该装置包括气体存储装置、气体检测装置和至少两个背衬管连接器；每一所述背衬管连接器用于与一个背衬管密封相连，所述至少两个背衬管连接器依次串联设置，以在所述背衬管连接器连接有背衬管时，使至少两个背衬管相串联；所述气体存储装置与所述背衬管连接器的相连通，所述气体存储装置用于储存检测气体，以及将检测气体充入连接至所述背衬管连接器的背衬管。所述气体检测装置用于检测充入背衬管的检测气体是否从背衬管中溢出。通过将至少两个背衬管连接器串联设置，在检测时，将背衬管密封于背衬管连接器上，能够一次实现对多个背衬管连接器的检测，提高检测效率。

A Sealing Testing Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种密封性检测设备
本申请涉及检测
，尤其涉及一种密封性检测设备。
技术介绍
圆柱靶材为圆柱型背衬管上覆盖一定厚度金属。靶材在使用时，圆柱型背衬管内会通入冷却循环水，冷却循环水用来带走靶材在溅射时产生的热量，以保证靶材温度恒定，从而使溅射过程连续稳定，进而得到厚度均匀的溅射膜层。靶材的使用环境为高真空腔室，如果背衬管密封性能不好，冷却循环水会从背衬管内漏出，呈水汽或液体状态进入真空腔室。若冷却循环水呈水汽泄露，水汽会破坏真空腔室的真空度，从而影响靶材溅射的进行，甚至会导致靶材打火，中断靶材溅射过程等。现有的背衬管密封性检测通过对背衬管逐根检测实现，检测过程中需要不断拆装需要检测和检测完成的背衬管，检测效率较低。
技术实现思路
本申请提供一种密封性检测设备，以解决现有的背衬管密封性检测效率较低的问题。本技术实施例提供了一种密封性检测设备，包括气体存储装置、气体检测装置和至少两个背衬管连接器；每一所述背衬管连接器用于与一个背衬管密封相连，所述至少两个背衬管连接器依次串联设置，以在所述背衬管连接器连接有背衬管时，使至少两个背衬管相串联；所述气体存储装置与所述背衬管连接器的相连通，所述气体存储装置用于储存检测气体，以及将检测气体充入连接至所述背衬管连接器的背衬管。所述气体检测装置用于检测充入背衬管的检测气体是否从背衬管中溢出。可选的，每一所述背衬管连接器的两端各设有一个控制阀门。可选的，每一所述背衬管连接器还包括气压检测装置，所述气压检测装置用于测量与所述背衬管连接器相连的背衬管内的气压。可选的，所述气体存储装置的输出端设置有气体阀门。可选的，还包括盲板，所述盲板用于密封与最远离所述气体存储装置的背衬管连接器相连的背衬管。可选的，所述背衬管连接器包括法兰和与所述法兰相连的导气管，所述法兰用于和所述背衬管密封连接。本申请通过将至少两个背衬管连接器串联设置，在检测时，将背衬管密封于背衬管连接器上，能够一次实现对多个背衬管连接器的检测，提高检测效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。图1是本技术第一实施例提供的密封性检测设备的结构示意图；图2是本技术第二实施例提供的背衬管密封性检测方法的流程图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。第一实施例：图1为本申请实施例的一种密封性检测设备的结构示意图。在一个具体实施方式中，如图1所示，该密封性检测设备包括气体存储装置120、气体检测装置130和至少两个背衬管连接器140。气体存储装置120用于储存和提供检测气体，本实施例中的检测气体包括但不限于氦气、同位素标记的二氧化碳等检测气体，本实施例中对此不作进一步描述和限定。在检测过程中，气体存储装置120将检测气体充入连接至背衬管连接器140的背衬管200。为了便于控制检测气体的充入进程，还可以在气体存储装置120的输出端设置气体阀门150。气体检测装置130用于检测充入背衬管200的检测气体是否从背衬管200中溢出，气体检测装置130可以根据所使用的检测气体选择。例如，当以氦气作为检测气体时，则选用氦质谱检测仪作为气体检测装置130，以同位素标记的二氧化碳作为检测气体时，则选用相应的同位素检测装置作为气体检测装置130。气体检测装置130的具体结构和原理均可参考现有的检测装置，此处不作进一步限定和描述。气体检测装置130包括检测探头131，以采集可能存在的检测气体，从而判断检测背衬管200的密封性。当背衬管200内充入检测气体时，如果在背衬管200外侧检测到了检测气体，则证明背衬管200的密封性很可能存在缺陷，如果未在背衬管200外侧检测到检测气体，则可以认为背衬管200的密封性很可能不存在缺陷。背衬管连接器140用于与背衬管200密封相连，至少两个背衬管连接器140依次串联设置，这样，当需要检测的背衬管200与背衬管连接器140相连时，这些背衬管200也是串联设置的。在一个具体实施方式中，每一背衬管连接器140包括两个分离设置的法兰，法兰用于与背衬管200密封连接，在使用过程中，两个法兰分别与同一背衬管200的两端密封相连，以将多个背衬管200串联设置。本实施例中背衬管连接器140的数量根据待检测的背衬管200来设置，每一背衬管连接器140可以与一个背衬管200相连，使用时，可以根据待检测的背衬管200的数量设置相应数量的背衬管连接器140。进一步的，多个背衬管连接器140通过导气管180首尾依次连接。该导气管180可以是硬质管，也可以是软质管。在一个具体实施方式中，为了便于连接，导气管180包括与法兰相连的金属管和用于连通金属管的橡胶管，金属管与法兰可以通过焊接或一体成型等方式相连，而橡胶管则可以通过密封箍等密封结构与金属管的端部相连，有助于提高密封程度，降低检测气体由连接处泄漏的可能性。在需要检测背衬管200的密封性时，将待检测的背衬管200与背衬管连接器140相连，然后利用气体存储装置120向至少两个串联设置的背衬管200内充入检测气体，并利用气体检测装置130检测充入背衬管200内的检测气体是否溢出。如果气体检测装置130在背衬管200外侧检测到了检测气体，则证明可能存在溢出的检测气体，可以认为背衬管200的密封性很可能存在缺陷；如果气体检测装置130未在背衬管200外侧检测到了检测气体，则证明很可能不存在溢出的检测气体，可以认为背衬管200的密封性很可能不存缺陷。本申请通过将至少两个背衬管连接器140串联设置，在检测时，将背衬管200密封于背衬管连接器140上，能够一次实现对多个背衬管200的检测，提高检测效率。本实施例中密封性检测设备可以设置于壳体110内，也可以固定于一个支架上，以便于收纳和操作。其中，当设置于壳体110内时，该壳体110可以为非密封的壳体110，操作较为方便；也可以为密封的壳体110，检测结果更加准确。进一步的，在壳体110为密封的壳体110时，该壳体110还可以抽为真空或充入保护气体，以排除空气中存在的气体成分对检测结果可能带来的干扰。例如，以氦气作为检测气体或以同位素标记的二氧化碳作为检测气体进行密封性检测时，空气中可能含有微量的氦气或同位素标记的二氧化碳，对检测结果可能带来一定的干扰。进一步的，每一背衬管连接器140的两端各设有一个控制阀门160。控制阀门160可以设置于背衬管连接器140上，也可以设置于相邻两个背衬管连接器140之间的导气管180上。在一个具体实施方式中，相邻两个背衬管连接器140之间的导气管180上设置有一个控制阀门160，位于首端的背衬管连接器140的输入端处也设置有一个控制阀门160，这样，能够实现控制每一个背衬管连接器140上连接的背衬管200内的气体的通断。在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密封性检测设备，其特征在于，包括气体存储装置、气体检测装置和至少两个背衬管连接器；每一所述背衬管连接器用于与一个背衬管密封相连，所述至少两个背衬管连接器依次串联设置，以在所述背衬管连接器连接有背衬管时，使至少两个背衬管相串联；所述气体存储装置与所述背衬管连接器的相连通，所述气体存储装置用于储存检测气体，以及将检测气体充入连接至所述背衬管连接器的背衬管；所述气体检测装置用于检测充入背衬管的检测气体是否从背衬管中溢出。

【技术特征摘要】
1.一种密封性检测设备，其特征在于，包括气体存储装置、气体检测装置和至少两个背衬管连接器；每一所述背衬管连接器用于与一个背衬管密封相连，所述至少两个背衬管连接器依次串联设置，以在所述背衬管连接器连接有背衬管时，使至少两个背衬管相串联；所述气体存储装置与所述背衬管连接器的相连通，所述气体存储装置用于储存检测气体，以及将检测气体充入连接至所述背衬管连接器的背衬管；所述气体检测装置用于检测充入背衬管的检测气体是否从背衬管中溢出。2.如权利要求1所述的密封性检测设备，其特征在于，每一所述背衬管连接器的两端各设有一个控...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨锋锋，余腊锋，兰邦银，占光富，纪晓榕，吴福忠，
申请(专利权)人：米亚索乐装备集成福建有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35