一种气体混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及气体混合技术领域，公开一种气体混合装置。其中气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量。本实用新型专利技术能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。

A Gas Mixing Device

The utility model relates to the technical field of gas mixing, and discloses a gas mixing device. The gas mixing device comprises a cabinet body and a first gas intake pipeline, a second gas intake pipeline, a mixing pipeline, a mixing gas exhaust pipeline and an exhaust gas exhaust pipeline all arranged in the cabinet body. The first gas intake pipeline and the second gas intake pipeline are connected at one end, and the one end of the mixing pipeline is connected with the first gas intake pipeline and the second gas intake pipeline. The second gas intake pipeline is connected to one end, the other end of the mixed pipeline is respectively connected to the mixed gas discharge pipeline and the exhaust gas discharge pipeline; the first gas intake pipeline is provided with a flowmeter; the second gas intake pipeline is provided with a flow controller, and the flow controller adjusts the second gas intake according to the reading of the flowmeter. Gas flow in gas pipeline. The utility model can accurately control the proportion of mixed gases, has convenient operation and good safety performance.

【技术实现步骤摘要】
一种气体混合装置
本技术涉及气体混合
，尤其涉及一种气体混合装置。
技术介绍
在半导体行业作业过程中，通常需要使用保护气体确保作业过程中产品不发生氧化，随着行业的发展，对气体的需求量越来越大，传统的供应模式费用较高，交货周期长，需要空间大，人员操作频繁等，而气体混合装置可以减少这方面的问题，提供更加稳定安全的供应。企业一般选择使用混合气体作为保护气体，但是在使用时，气体混合容易发生意外，当混合比例超出一定范围时，可能影响作业过程中产品的品质，甚至可能引发一定的危险；在实际中，气体混合往往难以控制，混配比例难以控制在相对稳定的范围。
技术实现思路
基于以上所述，本技术的目的在于提供一种气体混合装置，能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。为达上述目的，本技术采用以下技术方案：一种气体混合装置，用于按一定比例混合不同的气体，所述气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置包括柜体(10)以及均设置于所述柜体(10)内部的第一气体进气管路(20)、第二气体进气管路(30)、混合管路(40)、混合气体排出管路(50)以及废气排出管路(60)，所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)的一端相连通，且所述混合管路(40)的一端连接所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)连通的一端，所述混合管路(40)的另一端分别连通于所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)，所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)上分别设置有混合气体气动阀(51)和废气气动阀(61)；所...

【技术特征摘要】
1.一种气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置包括柜体(10)以及均设置于所述柜体(10)内部的第一气体进气管路(20)、第二气体进气管路(30)、混合管路(40)、混合气体排出管路(50)以及废气排出管路(60)，所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)的一端相连通，且所述混合管路(40)的一端连接所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)连通的一端，所述混合管路(40)的另一端分别连通于所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)，所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)上分别设置有混合气体气动阀(51)和废气气动阀(61)；所述第一气体进气管路(20)上设置有流量计(21)；所述第二气体进气管路(30)上设置有流量控制器(31)，且所述流量控制器(31)根据所述流量计(21)的读数调节所述第二气体进气管路(30)内的气体流量。2.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述第一气体进气管路(20)上设有第一气体进气口(22)，在所述流量计(21)和所述第一气体进气口(22)之间设置有第一气动阀(23)和第一调压阀(24)。3.根据权利要求2所述的气体混合...

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫，
申请(专利权)人：上海正帆半导体设备有限公司，上海正帆科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31