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本实用新型涉及气体混合技术领域，公开一种气体混合装置。其中气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，...该专利属于上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司授权不得商用。