掺杂剂掺杂装置制造方法及图纸

一种掺杂剂掺杂装置，掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，本实用新型专利技术中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下，避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接，第五吊钩吊装于第二支撑杆上，掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装轻巧，使用方便。

Dopant Doping Device

The dopant doping device includes doping tooling and doping unit. In the utility model, the first support rod is inserted in the first through hole of the seed crystal chuck, and the whole doping tooling is suspended and fixed by the first support rod. When doping, it is no longer necessary to use the first support rod to suspend and fix the doping tooling. The removal of seed crystal avoids repetitive operation to load seed crystal on the seed crystal chuck, improves work efficiency and safety, and ensures that the seed crystal will not be worn by secondary loading; the two ends of the first support rod and the second support rod are hoisted and connected by the first connecting mechanism and the second connecting mechanism respectively, and the fifth hook is hoisted on the second support rod, which is a separate design of doping workpiece. It can also avoid the need for overall replacement after partial damage, and increase the cost. The environment of the drawing furnace is strict. The whole doping tooling is made of molybdenum material, which can prevent pollution. The whole doping tooling is lightweight and easy to use.

【技术实现步骤摘要】
掺杂剂掺杂装置
本技术涉及直拉法生产单晶硅设备
，特别涉及一种掺杂剂掺杂装置。
技术介绍
目前，拉单晶掺杂时需将整个装籽晶夹头取下，然后再将掺杂工装挂至重锤上，进行掺杂。因硅料化完后温度很高，籽晶夹头的温度随之很高，人员操作时需佩戴耐高温手套，很不方便，并且掺杂结束后，需重复操作将籽晶装入重锤上，二次反复操作对籽晶造成很大的破坏，增加了籽晶破裂的几率，从而影响拉晶。
技术实现思路
有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种操作安全、不需要反复拆卸掺杂工装的掺杂剂掺杂装置。一种掺杂剂掺杂装置，所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，籽晶夹头的另一端夹持有籽晶，重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，掺杂工装由钼材料制成，所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩，第一支撑杆穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定，第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环，第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩，第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接，第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩，第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接，第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环，第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段，在弯曲段钩挂第五吊钩，第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上，以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方，所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连接，以将掺杂单元吊装在第二支撑杆的下方。优选的，所述掺杂单元包括石英钟罩、第六吊钩、内筒，石英钟罩为圆顶状，石英钟罩中空，且底部开口，石英钟罩的外侧顶部中心安装有突出端，该突出端与第五吊钩的连接端铰接，第六吊钩的连接端与石英钟罩的内侧顶部中心固定连接，内筒的上端部具有一个吊耳，吊耳套入第六吊钩，以将内筒吊装在石英钟罩内腔中，内筒的内腔中盛装有掺杂元素。优选的，所述弯曲段包括左倾斜段、右倾斜段，所述左倾斜段、右倾斜段与水平面之间均成第一角度设置，所述第五吊钩包括吊钩本体，所述吊钩本体具有两个夹持部，以及连接连接两个夹持部的弯曲部，所述弯曲部由弹性材料制成，其中一个夹持部具有一个自由端，另一个夹持部具有一个与石英钟罩的突出端连接的连接端，在两个夹持部相向内侧个各设置有第一加紧棒、第二加紧棒、第三加紧棒、第四加紧棒，第一加紧棒、第二加紧棒相互平行设置，第一加紧棒、第二加紧之间的距离小于第二支撑杆的直径，第一加紧棒与水平面之间成第一角度设置，第一加紧棒、第二加紧棒与第三加紧棒、第四加紧棒相对对称设置。本技术中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下，避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接，第五吊钩吊装于第二支撑杆上，掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装轻巧，使用方便。附图说明图1为所述掺杂剂掺杂装置的主视图。图2为所述掺杂剂掺杂装置的右视图。图3为显示第五吊钩与第二支撑杆弯曲段连接关系的局部视图。图4为图3中第五吊钩与第二支撑杆弯曲段沿A-A方向剖视图。图中：掺杂剂掺杂装置10、掺杂工装11、第一支撑杆111、第一钩环112、第二钩环113、第一连接机构114、第一吊钩1141、第一钼绳1142、第二吊钩1143、第二连接机构115、第三吊钩1151、第二钼绳1152、第四吊钩1153、第三钩环116、第四钩环117、第二支撑杆118、弯曲段1181、左倾斜段11811、右倾斜段11812、第五吊钩119、吊钩本体1191、夹持部11911、弯曲部11912、第一加紧棒1192、第二加紧棒1193、第三加紧棒1194、第四加紧棒1195、掺杂单元12、石英钟罩121、第六吊钩122、内筒123、籽晶夹头20、重锤30、籽晶40。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。参见图1和图2，本技术实施例提供了一种掺杂剂掺杂装置，掺杂剂掺杂装置10与籽晶夹头20可拆卸连接，籽晶夹头20的一端与重锤30螺纹连接，籽晶夹头20的另一端夹持有籽晶40，重锤30通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头20的上设有水平的第一通孔，掺杂剂掺杂装置10包括掺杂工装11、掺杂单元12，掺杂工装11由钼材料制成，掺杂工装11包括第一支撑杆111、第一钩环112、第二钩环113、第一连接机构114、第二连接机构115、第三钩环116、第四钩环117、第二支撑杆118、第五吊钩119，第一支撑杆111穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆111相对籽晶夹头20位置固定，第一支撑杆111的两端分别固定安装有第一钩环112、第二钩环113，第一连接机构114包括第一吊钩1141、第一钼绳1142、第二吊钩1143，第一钼绳1142两端分别与第一吊钩1141、第二吊钩1143的连接端连接，第二连接机构115包括第三吊钩1151、第二钼绳1152、第四吊钩1153，第二钼绳1152两端分别与第三吊钩1151、第四吊钩1153的连接端连接，第二支撑杆118的两端分别固定安装有第三钩环116、第四钩环117，第二支撑杆118中部具有一个向下弯曲段1181，在弯曲段1181钩挂第五吊钩119，第一吊钩1141、第二吊钩1143、第三吊钩1151、第四吊钩1153分别钩挂第一钩环112、第三钩环116、第二钩环113、第四钩环117上，以将第二支撑杆118吊装在籽晶夹头20的下方，掺杂单元12的顶部与第五吊钩119的连接端连接，以将掺杂单元12吊装在第二支撑杆118的下方。本技术中，第一支撑杆111插装在籽晶夹头20的第一通孔中，整个掺杂工装11利用第一支撑杆111悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶40取下，避免了重复操作将籽晶40装入籽晶夹头20上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶40不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆111和第二支撑杆118的两端分别通过第一连接机构114、第二连接机构115吊装连接，第五吊钩119吊装于第二支撑杆118上，掺杂工装11这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，掺杂单元12通过第一连接机构114、第二连接机构115与第一支撑杆111连接，第一连接机构114中的第一钼绳1142、第二连接机构115中的第二钼绳1152根据需要调整长度，在保证掺杂正常进行的同时，避免了籽晶40距离溶液表面太近。拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掺杂剂掺杂装置，其特征在于：所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，籽晶夹头的另一端夹持有籽晶，重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，掺杂工装由钼材料制成，所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩，第一支撑杆穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定，第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环，第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩，第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接，第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩，第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接，第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环，第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段，在弯曲段钩挂第五吊钩，第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上，以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方，所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连接，以将掺杂单元吊装在第二支撑杆的下方。...

【技术特征摘要】
1.一种掺杂剂掺杂装置，其特征在于：所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，籽晶夹头的另一端夹持有籽晶，重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，掺杂工装由钼材料制成，所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩，第一支撑杆穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定，第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环，第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩，第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接，第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩，第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接，第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环，第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段，在弯曲段钩挂第五吊钩，第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上，以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方，所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连...

【专利技术属性】
技术研发人员：芮阳，
申请(专利权)人：宁夏银和半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64