一种供气可调的阴极平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种供气可调的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；供气装置包括底架，中架，左、右侧板，通气板和顶架；中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架的右侧面设有若干个独立的辅过气凹槽，辅过气凹槽经右侧板封闭形成若干个独立的辅供气管路，通气板内部设有若干个横截面呈Y字形的气道；所述Y字形气道的底部入口同时与主供气管路的出口以及辅供气管路的出口相连，所述主供气管路的入口与主进气管道相连，若干个辅供气管路的入口与若干个辅进气管道一一对应相连。该装置既可进行整体供气，又具有局部的供气可调功能。

A Cathode Platform with Adjustable Gas Supply

The utility model discloses a cathode platform with adjustable air supply, which comprises a base, a gas supply device fixed on the base and two cathode bodies symmetrically arranged on both sides of the gas supply device; the gas supply device comprises a bottom frame, a middle frame, a left and right side plates, an air ventilation plate and a top frame; the left side of the middle frame is provided with a main air passage groove, and the main air passage groove is closed by the left side plate to form a main air supply pipeline, and the middle frame is provided with a main air passage. A number of independent auxiliary air passage grooves are arranged on the right side, and the auxiliary air passage grooves are closed by the right side plate to form several independent auxiliary gas supply pipelines, and a number of Y-shaped airways with cross-section are arranged inside the ventilation plate; the bottom entrance of the Y-shaped airway is simultaneously connected with the outlet of the main gas supply pipeline and the outlet of the auxiliary gas supply pipeline, and the entrance of the main gas supply pipeline is connected with the main gas intake pipeline. The entrance of several auxiliary gas pipelines is connected with several auxiliary gas pipelines one by one. The device can not only supply gas as a whole, but also has the function of adjustable partial supply.

【技术实现步骤摘要】
一种供气可调的阴极平台
本技术涉及真空镀膜生产线
，具体来说，是涉及一种真空镀膜生产线用阴极平台。
技术介绍
真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，供气装置的设置及供气装置的优劣尤为重要，但目前的供气装置均是采用集中供气的方式或分开供气的形式进行阴极平台内部的供气。其中集中供气无法进行局部的供气调整，而现有的分开供气装置往往需要加装大量额外的零件来达成分开供气功能，会造成设备的臃肿。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足，提供一种将主供气与辅供气结合的阴极平台。一种供气可调的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的供气装置包括固定在底座上的底架、与底架相连的中架、设置在中架两侧的左、右侧板和横截面呈工字形的顶架；所述中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供气可调的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的供气装置包括固定在底座上的底架、与底架相连的中架、设置在中架两侧的左、右侧板和横截面呈工字形的顶架；所述中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架的右侧面设有若干个独立的辅过气凹槽，辅过气凹槽经右侧板封闭形成若干个独立的辅供气管路；所述顶架与中架通过通气板相连，所述的通气板内部设有若干个横截面呈Y字形的气道；所述Y字形气道的底部入口同时与主供气管路的出口以及辅供气管路的出口相连，所述主供气管路的入口与主进气管道相连，若干个辅供气管路的入口与若干个辅进气...

【技术特征摘要】
1.一种供气可调的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的供气装置包括固定在底座上的底架、与底架相连的中架、设置在中架两侧的左、右侧板和横截面呈工字形的顶架；所述中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架的右侧面设有若干个独立的辅过气凹槽，辅过气凹槽经右侧板封闭形成若干个独立的辅供气管路；所述顶架与中架通过通气板相连，所述的通气板内部设有若干个横截面呈Y字形的气道；所述Y字形气道的底部入口同时与主供气管路的出口以及辅供...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32