温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种供气可调的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；供气装置包括底架，中架，左、右侧板，通气板和顶架；中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架的右侧面设...
该专利属于镇江市德利克真空设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江市德利克真空设备科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。