The utility model discloses a cathode platform with a copper cooling device, which comprises a base, a gas supply device fixed on the base and two cathodes symmetrically arranged on both sides of the gas supply device; the cathode body comprises a bottom plate with an annular groove and several insulating brackets; the annular groove is equipped with magnetic boots; the bottom plate is sequentially provided with a liquid cooling plate and a copper back plate from bottom to top. The surface of the liquid cooling plate and the corresponding position of the annular groove are provided with an annular convex groove, which extends into the annular groove, and the shape of the annular convex groove matches the shape of the inner part of the annular groove. The back surface of the annular convex groove is closed by a copper back plate to form a cooling cavity; and the bottom of the cooling cavity body is provided with a ring convex groove. The outlet and entrance of coolant. The device has a cooling system with a cathode body, which can conduct all-round cooling treatment of the cathode body.
【技术实现步骤摘要】
一种带有铜冷却装置的阴极平台
本技术涉及真空镀膜生产线
,具体来说,是涉及一种真空镀膜生产线用阴极平台。
技术介绍
真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术,有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法,该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中,对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高,而在磁控溅射镀膜设备中,温度的控制尤为重要。目前的平面磁控溅射阴极(简称“平面阴极”)均是对磁靴和靶材进行分开冷却的方式,其冷却结构复杂,冷却系统的泄漏风险大,且造价昂贵。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足,提供一种可同时冷却磁靴、靶材,且冷却液与磁铁互不接触的阴极平台。一种带有铜冷却装置的阴极平台,包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体;所述的阴极体包括带有环形凹槽的底板和设置在底板下部的若干个绝缘支架,所述的绝缘支架固定于底座上;所述的环形凹槽内装有磁靴;所述的底板上由下至上依次设置有液冷板、铜背板、用于压紧铜背板的第二压板、靶材和用于压紧靶材的第一压板;所述的液冷板上表面与所述的环形凹槽相对应位置处设置有环形凸槽,所述的环形凸槽伸入环形凹槽内,且该环形凸槽的外形与环形凹槽内部的形状相匹配,所述的环形凸槽背面经铜背板封闭形成冷却腔体;所述冷却腔体的底部设有冷却液的出、入口。为了更好的安装磁靴,放置磁靴晃动,所述的磁靴的外表面与环形凹槽的内壁间还依次设有环形不锈钢垫圈和环形铝合金垫圈。为了更好的向装置内输送气体,并将集中主供气与分别辅供气的 ...
【技术保护点】
1.一种带有铜冷却装置的阴极平台,其特征在于,包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体;所述的阴极体包括带有环形凹槽的底板和设置在底板下部的若干个绝缘支架,所述的绝缘支架固定于底座上;所述的环形凹槽内装有磁靴;所述的底板上由下至上依次设置有液冷板、铜背板、用于压紧铜背板的第二压板、靶材和用于压紧靶材的第一压板;所述的液冷板上表面与所述的环形凹槽相对应位置处设置有环形凸槽,所述的环形凸槽伸入环形凹槽内,且该环形凸槽的外形与环形凹槽内部的形状相匹配,所述的环形凸槽背面经铜背板封闭形成冷却腔体;所述冷却腔体的底部设有冷却液的出、入口。
【技术特征摘要】
1.一种带有铜冷却装置的阴极平台,其特征在于,包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体;所述的阴极体包括带有环形凹槽的底板和设置在底板下部的若干个绝缘支架,所述的绝缘支架固定于底座上;所述的环形凹槽内装有磁靴;所述的底板上由下至上依次设置有液冷板、铜背板、用于压紧铜背板的第二压板、靶材和用于压紧靶材的第一压板;所述的液冷板上表面与所述的环形凹槽相对应位置处设置有环形凸槽,所述的环形凸槽伸入环形凹槽内,且该环形凸槽的外形与环形凹槽内部的形状相匹配,所述的环形凸槽背面经铜背板封闭形成冷却腔体;所述冷却腔体的底部设有冷却液的出、入口。2.根据权利要求1所述的一种带有铜冷却装置的阴极平台,其特征在于,所述的磁靴的外表面与环形凹槽的内壁间还依次设有环形不锈钢垫圈和环形铝合金垫圈。3.根据权利要求1所述的一种带有铜冷却装置的阴极平台,其特征在于,所述的供气装置包括固定在底座...
【专利技术属性】
技术研发人员:匡国庆,
申请(专利权)人:镇江市德利克真空设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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