下载一种带有铜冷却装置的阴极平台的技术资料

文档序号:21085180

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本实用新型公开了一种带有铜冷却装置的阴极平台,包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体;阴极体包括带有环形凹槽的底板和若干个绝缘支架,所述的环形凹槽内装有磁靴;所述的底板上由下至上依次设置有液冷板、铜背板、第二压...
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