一种磁场可调的磁棒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁场可调的磁棒，包括磁棒体，所述的磁棒体上部沿轴向设有贯穿磁棒体两端的凹槽，凹槽内装有磁铁座，所述的磁棒体下部设置有导套座，所述的磁铁座与导套座之间通过多个导柱进行连接，所述的导柱上端与磁铁座螺纹相连，导柱下端伸入导套座上的导套内实现导柱与导套座连接，所述的导柱下端与导套底部之间还设置有若干个垫片，可通过加减垫片的方式改变磁铁座的上下位置，进而提升镀膜的均匀性。

A magnetic rod with adjustable magnetic field

The utility model discloses a magnetic rod with adjustable magnetic field, which comprises a magnet rod body. The upper part of the magnet rod body is provided with grooves through both ends of the magnet rod body along the axis, and a magnet seat is arranged in the groove. The lower part of the magnet rod body is provided with a guide sleeve seat. The magnet seat and the guide sleeve seat are connected by a plurality of guide pillars, and the upper end of the guide pillar is connected with the magnet seat threads, and the lower end of the guide pillar extends. In the guide sleeve on the guide sleeve, the guide pillar is connected with the guide sleeve. A number of gaskets are arranged between the lower end of the guide pillar and the bottom of the guide sleeve. The upper and lower position of the magnet base can be changed by adding or subtracting gaskets, thereby improving the uniformity of the coating.

【技术实现步骤摘要】
一种磁场可调的磁棒
本技术涉及磁控镀膜领域，具体涉及一种磁场可调的磁棒。
技术介绍
磁控溅射镀膜工艺所使用的阴极按结构形状分成平面阴极和旋转阴极，由于旋转阴极的靶材利用率高、可加载的电功率大等优点，旋转阴极的使用越来越广泛。但现有的旋转阴极的磁场存在不可调的缺陷，使用时，无法根据具体加工条件从而选择合理的磁场分布。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足，提供一种可自由调节磁场分布的磁棒。一种磁场可调的磁棒，包括磁棒体，所述的磁棒体上部沿轴向设有贯穿磁棒体两端的凹槽，凹槽内装有磁铁座，所述的磁棒体下部设置有导套座，所述的磁铁座与导套座之间通过多个导柱进行连接，所述的导柱上端与磁铁座螺纹相连，导柱下端伸入导套座上的导套内实现导柱与导套座连接，所述的导柱下端与导套底部之间还设置有若干个垫片。优选的，所述的导柱下端的外形为阶梯状，导套内部形状与导柱外形相适配。优选的，所述的导柱为精密不锈钢螺栓。优选的，所述的磁棒体的外圆轴向设有四个横截面为燕尾形的缺口，所述缺口内套设有与燕尾形缺口相配的加强杆。优选的，所述的磁棒体的内部设有四个贯穿磁棒体轴向的液冷管路，液冷管路的两端设有左、右挡板，其中左挡板上设有液冷管路的入口，右挡板上设有液冷管路的出口。优选的，所述的磁棒体的材质为不锈钢或铝合金。有益效果：将磁铁座通过导柱与导套座连接，当发现由于镀膜不均匀时，可以通过增减导柱与导套座之间的垫片，调节磁铁座的位置，从而调节溅射用磁场的分布情况，保证靶材上受到的磁场强度是均匀的，最终提高靶材的利用率，并提升整体镀膜的均匀性。附图说明图1是本技术的剖视图；图2是本技术的主视图；1.磁铁座2.磁棒体3.导柱4.液冷管路5.垫片6.加强杆7.导套座8.左挡板9.右挡板具体实施方式为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例和附图对本技术作进一步详述，该实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。如图1-2所示，一种磁场可调的磁棒，包括磁棒体2，如图1所示，所述的磁棒体上部沿轴向设有贯穿磁棒体两端的凹槽，凹槽内装有磁铁座1，所述的磁棒体下部设置有导套座7，所述的磁铁座1与导套座7之间通过多个导柱3进行连接，所述的导柱3上端与磁铁座螺纹相连，导柱3下端伸入导套座7上的导套内实现导柱与导套座连接，所述的导柱3下端与导套底部之间还设置有若干个垫片5。所述的导柱3下端的外形为阶梯状，导套内部形状与导柱3外形相适配，所述的导柱3为精密不锈钢螺栓，所述的磁棒体2的外圆轴向设有四个横截面为燕尾形的缺口，所述缺口内套设有与燕尾形缺口相配的加强杆6。所述的磁棒体的内部设有四个贯穿磁棒体轴向的液冷管路4，如图2所示，液冷管路4的两端设有左、右挡板，其中左挡板8上设有液冷管路的入口，右挡板9上设有液冷管路的出口。所述的磁棒体2的材质为不锈钢或铝合金。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁场可调的磁棒，其特征在于，包括磁棒体，所述的磁棒体上部沿轴向设有贯穿磁棒体两端的凹槽，凹槽内装有磁铁座，所述的磁棒体下部设置有导套座，所述的磁铁座与导套座之间通过多个导柱进行连接，所述的导柱上端与磁铁座螺纹相连，导柱下端伸入导套座上的导套内实现导柱与导套座连接，所述的导柱下端与导套底部之间还设置有若干个垫片。

【技术特征摘要】
1.一种磁场可调的磁棒，其特征在于，包括磁棒体，所述的磁棒体上部沿轴向设有贯穿磁棒体两端的凹槽，凹槽内装有磁铁座，所述的磁棒体下部设置有导套座，所述的磁铁座与导套座之间通过多个导柱进行连接，所述的导柱上端与磁铁座螺纹相连，导柱下端伸入导套座上的导套内实现导柱与导套座连接，所述的导柱下端与导套底部之间还设置有若干个垫片。2.根据权利要求1所述的一种磁场可调的磁棒，其特征在于，所述的导柱下端的外形为阶梯状，导套内部形状与导柱外形相适配。3.根据权利要求1所述的一种磁场可调的磁棒，...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32