一种管式PECVD电极杆制造技术

本实用新型专利技术属于太阳能电池片技术领域，公开了一种管式PECVD电极杆，其包括电极杆本体及电极头，电极杆本体用于连接射频电源，电极头的一端弹性连接于电极杆本体，电极头的另一端设有若干锥状凸起，用于与石墨舟抵接。通过设置电极杆本体及可相对电极杆本体伸缩的电极头，能够在石墨舟由浆推送到电极头处时，电极头随石墨舟弹性移动，避免与石墨舟硬接触而损坏电极头或石墨舟；电极头的端部设置有若干锥状凸起，锥状凸起用于直接与石墨舟抵接，保证了电极头与石墨舟之间有效接触传导，降低电极头在大电流时的损耗，节约成本；同时，使用该管式PECVD电极杆后，石墨舟上无需设置电极孔，因此生产过程中无需区分左右手设备，使用方便。

A tubular PECVD electrode rod

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD电极杆
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种管式PECVD电极杆。
技术介绍
等离子体增强化学气相沉积法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，简称PECVD)是电池片背钝化生产过程中重要环节，其原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。随着太阳能市场的变化，降本增效将成为行业内具有竞争及生产规则。管式PECVD作为电池片背钝化生产过程中重要环节，量化指标表现为背镀膜膜厚和折射率，石墨舟内的硅片在高温情况下，射频电源(RF)通过电极杆产生大电流放电，高温及电离SiH4、NH3等特殊工艺气体，产生离子附着于硅片表面，通过改变SiH4与NH3的比例调节折射率，通过改变镀膜时间及RF功率有效值调节膜层厚度。因此，电极杆是否与石墨舟有效接触，尤为重要。现有的管式PECVD电极杆与石墨舟接触采用硬接触，导致产生以下异常状况：1、石墨舟上的电极孔与电极杆硬接触，容易产生石墨舟电极孔与电极杆接触不良，工艺过程中放电电流偏差报警，从而导致硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管式PECVD电极杆，其特征在于，包括电极杆本体(1)及电极头(2)，所述电极杆本体(1)用于连接射频电源，所述电极头(2)的一端弹性连接于所述电极杆本体(1)，所述电极头(2)的另一端设有若干锥状凸起(21)，用于与石墨舟抵接。

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD电极杆，其特征在于，包括电极杆本体(1)及电极头(2)，所述电极杆本体(1)用于连接射频电源，所述电极头(2)的一端弹性连接于所述电极杆本体(1)，所述电极头(2)的另一端设有若干锥状凸起(21)，用于与石墨舟抵接。2.根据权利要求1所述的管式PECVD电极杆，其特征在于，所述电极杆本体(1)与所述电极头(2)之间通过弹簧(3)连接。3.根据权利要求2所述的管式PECVD电极杆，其特征在于，所述弹簧(3)由不锈钢制成。4.根据权利要求2所述的管式PECVD电极杆，其特征在于，所述电极头(2)包括抵接段(22)及伸缩段(23)，所述锥状凸起(21)设置于所述抵接段(22)的端面上；所述电极杆本体(1)的一端开设有容纳腔，所述伸缩段(23)伸入所述容纳腔内且与所述电极杆本体(1)滑动连接。5.根据权利要求4所述的管式PECVD电...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，孙贤，乔勇，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32